JPH0256730A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0256730A JPH0256730A JP20718188A JP20718188A JPH0256730A JP H0256730 A JPH0256730 A JP H0256730A JP 20718188 A JP20718188 A JP 20718188A JP 20718188 A JP20718188 A JP 20718188A JP H0256730 A JPH0256730 A JP H0256730A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wall surface
- control cylinder
- vapor flow
- vapor
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 22
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 17
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 5
- 239000013528 metallic particle Substances 0.000 abstract 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 22
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 10
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 4
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は蒸着効率を高め得る磁気記録媒体の製造方法に
関するものである。
関するものである。
（従来の技術）
磁気記録媒体の製造においては、いかにして蒸着効率を
高めるかが大きな技術的課題とされており、このような
蒸着効率を高める一つの方法として蒸発源と被蒸着体と
の間に制御筒を配し、この制御筒内に蒸発源からの蒸気
流を通すことでこの蒸気流の指向性を高めて被蒸着体へ
の蒸着効率を高めるようにしたものが知られている（特
開昭５７−１３４５５５号公報）。このように制御筒は
その内壁面によって蒸気流の拡散を防止するものである
が、反面蒸気流がこの内壁面に接触し、この蒸気流形成
金属がこの内壁面に付着、固化するおそれがある。金属
粒子が内壁面に付着、固化すると、意図していた蒸気流
分布とは異なった蒸気流分布となってしまい、また堆積
した付着金属の回収作業等のメンテナンスも必要とな・
る。そこで上記方法においては上記制御筒に加熱源を付
加し、この制御筒の内壁面を蒸気流構成金属の沸点以上
の温度とし、この制御筒内壁面に衝突してこの内壁面に
付着した金属粒子を再蒸発せしめて他の蒸気流と合流し
得るようにしている。
高めるかが大きな技術的課題とされており、このような
蒸着効率を高める一つの方法として蒸発源と被蒸着体と
の間に制御筒を配し、この制御筒内に蒸発源からの蒸気
流を通すことでこの蒸気流の指向性を高めて被蒸着体へ
の蒸着効率を高めるようにしたものが知られている（特
開昭５７−１３４５５５号公報）。このように制御筒は
その内壁面によって蒸気流の拡散を防止するものである
が、反面蒸気流がこの内壁面に接触し、この蒸気流形成
金属がこの内壁面に付着、固化するおそれがある。金属
粒子が内壁面に付着、固化すると、意図していた蒸気流
分布とは異なった蒸気流分布となってしまい、また堆積
した付着金属の回収作業等のメンテナンスも必要とな・
る。そこで上記方法においては上記制御筒に加熱源を付
加し、この制御筒の内壁面を蒸気流構成金属の沸点以上
の温度とし、この制御筒内壁面に衝突してこの内壁面に
付着した金属粒子を再蒸発せしめて他の蒸気流と合流し
得るようにしている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記制御筒内壁面から再蒸発した金属粒
子の飛散方向はその他の蒸気流金属粒子の飛散方向と異
なるため当初意図していた蒸気流分布が得られず蒸着効
率の低下を招くおそれがあった。
子の飛散方向はその他の蒸気流金属粒子の飛散方向と異
なるため当初意図していた蒸気流分布が得られず蒸着効
率の低下を招くおそれがあった。
本発明はこのような問題を解決するためになされたもの
であり、蒸着効率を低下せしめることなく制御筒の内壁
面への蒸気流金属粒子の付着、固化を防止し得る磁気記
録媒体の製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
であり、蒸着効率を低下せしめることなく制御筒の内壁
面への蒸気流金属粒子の付着、固化を防止し得る磁気記
録媒体の製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
（課題を解決するための手段）
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、蒸気流の飛散方向
を制御する制御筒の内壁面の温度を蒸気流構成金属の融
点以上であって沸点よりも低い温度に調節することを特
徴とするものである。
を制御する制御筒の内壁面の温度を蒸気流構成金属の融
点以上であって沸点よりも低い温度に調節することを特
徴とするものである。
（作 用）
上記構成によれば、制御筒内壁面の温度を蒸気流構成金
属の融点以上であって沸点よりも低い温度に調節してい
るのでこの制御筒内壁面に付着した蒸気流金属粒子は再
蒸発せず液状となりこの内壁面をつたわって下降する。
属の融点以上であって沸点よりも低い温度に調節してい
るのでこの制御筒内壁面に付着した蒸気流金属粒子は再
蒸発せず液状となりこの内壁面をつたわって下降する。
これにより、制御筒上部開口からの蒸気流には制御筒内
壁面から再蒸発した金属粒子が含まれず、したがって蒸
気流分布は再蒸発金属の蒸気流により乱されることなく
高い蒸着効率を維持することが可能となる。
壁面から再蒸発した金属粒子が含まれず、したがって蒸
気流分布は再蒸発金属の蒸気流により乱されることなく
高い蒸着効率を維持することが可能となる。
また、制御筒内壁面に付着し、液状となってこの内壁面
をつたわり落ちる金属粒子はこの制御筒の下方に配設さ
れている蒸発源の容器（ルツボ）に回収することが可能
で、上記内壁面に付着した金属等を除去する作業が不要
となる。
をつたわり落ちる金属粒子はこの制御筒の下方に配設さ
れている蒸発源の容器（ルツボ）に回収することが可能
で、上記内壁面に付着した金属等を除去する作業が不要
となる。
（実 施 例）
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
第１図は本発明の方法を実施するための装置の一例を示
すものであり、チェンバ１内に、蒸発源２を溶融せしめ
る容器としてのルツボ３と、このルツボ３内の蒸発源２
を蒸気流とすべくこの蒸発源形成材料を加熱する高周波
誘導加熱手段４と、このルツボ３からの蒸気流が蒸着さ
れる被蒸着体５を支持する被蒸着体支持手段としての蒸
着ドラム６と、上記ルツボ３と上記被蒸着体５の間に配
され、内部にルツボ３からの蒸気流を通過させてこの蒸
気流の飛散方向を制御する制御筒７を備えてなる。
すものであり、チェンバ１内に、蒸発源２を溶融せしめ
る容器としてのルツボ３と、このルツボ３内の蒸発源２
を蒸気流とすべくこの蒸発源形成材料を加熱する高周波
誘導加熱手段４と、このルツボ３からの蒸気流が蒸着さ
れる被蒸着体５を支持する被蒸着体支持手段としての蒸
着ドラム６と、上記ルツボ３と上記被蒸着体５の間に配
され、内部にルツボ３からの蒸気流を通過させてこの蒸
気流の飛散方向を制御する制御筒７を備えてなる。
上記チェンバ１は適当な真空排気系１２と接続されてお
り、内部圧力は１０−２〜ｌＯ’Ｔ。７．程度に調節さ
れている。また、上記ルツボ３としては内径５０調程度
の開放端面を有し、例えばマグネシア、あるいはＷ、Ｔ
ａ、Ｃ，Ｃｕ、ＭＯ，Ａ、Ｑ、２０３゜ＢＮ等の既知の
材料からなるものであり、このルツボ３の回りに配され
た高周波誘導加熱手段４には交流電源８から例えば周波
数２００ＫＨｚ、出力２０ＫＷの電力が供給される。ま
た上記蒸着ドラム６は内部に冷媒流路を形成され、図示
する位置に回転自在に支持された直径３００ｍ、表面温
度０℃のクーリングキャンであり、その下方外周面に、
送出しロール９から巻取りロール１０に向けて走行する
長尺の被蒸着体５を湾曲状に支持するものである。また
、上記制御筒７はセラミック材料からなり、略円筒形状
に形成されている。セラミック材料により形成したのは
蒸気流を形成する金属材料として強磁性金属材料が用い
られる場合に、この強磁性金属材料による腐食を防止す
るためであるが、例えばＷ等の他の材料によっても形成
することが可能である。また、この制御筒７は例えば内
径５０＃、外径７２ｍ、高さ７５ｍｍに形成される。ま
た、この制御筒側壁の外周にはカーボン繊維からなる熱
伝導媒体１３が配され、さらにこの熱伝導媒体１３の外
周には制御筒７を冷却する冷却手段としての水冷却式シ
リンダ１４が配されている。熱伝導媒体１３としてはカ
ーボン繊維に限られるものではないが制御筒７と水冷却
式シリンダ１４との間の熱伝導接触抵抗を低くし得る密
着性の良好な材料により形成することが望ましい。また
、水冷却式シリンダ１４は例えば内径８４ｍｍ５外径１
２０ｒｒＭ１１肉厚３ｍの円筒状の銅製シリンダからな
り、この内部に水源からの水を流水路１５を介して循環
せしめられるものである。これにより制御筒７の内壁面
の温度が蒸気流金属の融点と沸点の間の温度に設定され
るようになっており、制御筒内壁面に付着した蒸気流金
属粒子の再蒸発を防止することが可能となる。なお、制
御筒７の壁部に温度検出手段を配しておき、この検出手
段からの温度情報に応じて水冷却式シリンダ１４に送出
する水の循環速度や水温を制御して制御筒７の内壁面を
所望の温度に調節することも可能である。なお、上記冷
却手段と共にもしくは冷却手段に代え、この制御筒７に
加熱手段を付加して制御筒７の内壁面を所望の温度に調
節することも可能である。
り、内部圧力は１０−２〜ｌＯ’Ｔ。７．程度に調節さ
れている。また、上記ルツボ３としては内径５０調程度
の開放端面を有し、例えばマグネシア、あるいはＷ、Ｔ
ａ、Ｃ，Ｃｕ、ＭＯ，Ａ、Ｑ、２０３゜ＢＮ等の既知の
材料からなるものであり、このルツボ３の回りに配され
た高周波誘導加熱手段４には交流電源８から例えば周波
数２００ＫＨｚ、出力２０ＫＷの電力が供給される。ま
た上記蒸着ドラム６は内部に冷媒流路を形成され、図示
する位置に回転自在に支持された直径３００ｍ、表面温
度０℃のクーリングキャンであり、その下方外周面に、
送出しロール９から巻取りロール１０に向けて走行する
長尺の被蒸着体５を湾曲状に支持するものである。また
、上記制御筒７はセラミック材料からなり、略円筒形状
に形成されている。セラミック材料により形成したのは
蒸気流を形成する金属材料として強磁性金属材料が用い
られる場合に、この強磁性金属材料による腐食を防止す
るためであるが、例えばＷ等の他の材料によっても形成
することが可能である。また、この制御筒７は例えば内
径５０＃、外径７２ｍ、高さ７５ｍｍに形成される。ま
た、この制御筒側壁の外周にはカーボン繊維からなる熱
伝導媒体１３が配され、さらにこの熱伝導媒体１３の外
周には制御筒７を冷却する冷却手段としての水冷却式シ
リンダ１４が配されている。熱伝導媒体１３としてはカ
ーボン繊維に限られるものではないが制御筒７と水冷却
式シリンダ１４との間の熱伝導接触抵抗を低くし得る密
着性の良好な材料により形成することが望ましい。また
、水冷却式シリンダ１４は例えば内径８４ｍｍ５外径１
２０ｒｒＭ１１肉厚３ｍの円筒状の銅製シリンダからな
り、この内部に水源からの水を流水路１５を介して循環
せしめられるものである。これにより制御筒７の内壁面
の温度が蒸気流金属の融点と沸点の間の温度に設定され
るようになっており、制御筒内壁面に付着した蒸気流金
属粒子の再蒸発を防止することが可能となる。なお、制
御筒７の壁部に温度検出手段を配しておき、この検出手
段からの温度情報に応じて水冷却式シリンダ１４に送出
する水の循環速度や水温を制御して制御筒７の内壁面を
所望の温度に調節することも可能である。なお、上記冷
却手段と共にもしくは冷却手段に代え、この制御筒７に
加熱手段を付加して制御筒７の内壁面を所望の温度に調
節することも可能である。
さらに、被蒸着体５としてはＰＥＴ （ポリエチレンテ
レフタレート）製の長尺フィルム（１００ａｒｍ幅、１
３μｍ厚）が使用され、蒸発源形成金属材料としてはＦ
ｅ 、 Ｆｅ −Ｎｉ 、 Ｇｄ −Ｔｂ −Ｆｅ 。
レフタレート）製の長尺フィルム（１００ａｒｍ幅、１
３μｍ厚）が使用され、蒸発源形成金属材料としてはＦ
ｅ 、 Ｆｅ −Ｎｉ 、 Ｇｄ −Ｔｂ −Ｆｅ 。
Ｃｒ等の磁性体金属が使用されているが、被蒸着体５お
よび上記金属材料としてはこれに限られるものではなく
用途に応じて適当な材料のものを選択すればよい。
よび上記金属材料としてはこれに限られるものではなく
用途に応じて適当な材料のものを選択すればよい。
上述したように構成された装置を作動するには、まず真
空排気系１２を介して上記チェンバ１内を１０−２〜１
０”ｔａｒ＋の範囲内の所望する圧力に保ちながら、高
周波誘導加熱手段４に通電してルツボ３内の蒸発源２を
連続的に加熱する。これにより蒸発源２はその蒸発面か
ら金属粒子の蒸気流となって次第に蒸発していく。なお
、その蒸発の際、前記金属粒子の極く一部はイオン化し
て他の金属粒子とともに所定の分布をもって発散、上昇
する。
空排気系１２を介して上記チェンバ１内を１０−２〜１
０”ｔａｒ＋の範囲内の所望する圧力に保ちながら、高
周波誘導加熱手段４に通電してルツボ３内の蒸発源２を
連続的に加熱する。これにより蒸発源２はその蒸発面か
ら金属粒子の蒸気流となって次第に蒸発していく。なお
、その蒸発の際、前記金属粒子の極く一部はイオン化し
て他の金属粒子とともに所定の分布をもって発散、上昇
する。
この蒸気流の全ては、その蒸発分布が比較的拡大化され
ていないルツボ３の開口端面近傍で、制御筒７の下方開
口からこの制御筒７の内部に進入していく。
ていないルツボ３の開口端面近傍で、制御筒７の下方開
口からこの制御筒７の内部に進入していく。
水冷却式シリンダ１４には流水路１５を通じて水源から
の水を流し制御筒７の内壁面の温度が蒸気流形成金属の
融点と沸点の間の温度となるように設定しておく。この
ように制御筒７の内壁面の温度が調節されているため、
この制御筒内壁面を通過する蒸気流金属粒子のうちこの
内壁面に衝突して付着するものは再蒸発もしくは固化す
ることがなく、液状態を維持し、この内壁面をつたわっ
て下降し、制御筒７の下部端面からルツボ３内に落下す
る。したがって、制御筒７の上方開口から射出される蒸
気流には制御筒内壁面から再蒸発する金属粒子は含まれ
ず、したがって高い蒸着効率を維持することが可能とな
る。
の水を流し制御筒７の内壁面の温度が蒸気流形成金属の
融点と沸点の間の温度となるように設定しておく。この
ように制御筒７の内壁面の温度が調節されているため、
この制御筒内壁面を通過する蒸気流金属粒子のうちこの
内壁面に衝突して付着するものは再蒸発もしくは固化す
ることがなく、液状態を維持し、この内壁面をつたわっ
て下降し、制御筒７の下部端面からルツボ３内に落下す
る。したがって、制御筒７の上方開口から射出される蒸
気流には制御筒内壁面から再蒸発する金属粒子は含まれ
ず、したがって高い蒸着効率を維持することが可能とな
る。
一方、被蒸着体５である長尺フィルムを蒸着ドラム６の
下方周面に沿わせ、送出しロール９から巻取りロールｌ
Ｏに向けて６０ｍ／１Ｉ１１ｎの一定速度で走行させる
。なお、前述した制御筒７を断面楕円状に形成し、この
制御筒７の上部端面の長軸方向とこの被蒸着体５の幅方
向とが一致するように制御筒７を配しておき、制御筒７
の上方開口から射出される蒸気流が被蒸着体５の幅方向
に広く、長さ方向に狭い分布をなして、この被蒸着体５
の表面に衝突するように形成することも可能である。
下方周面に沿わせ、送出しロール９から巻取りロールｌ
Ｏに向けて６０ｍ／１Ｉ１１ｎの一定速度で走行させる
。なお、前述した制御筒７を断面楕円状に形成し、この
制御筒７の上部端面の長軸方向とこの被蒸着体５の幅方
向とが一致するように制御筒７を配しておき、制御筒７
の上方開口から射出される蒸気流が被蒸着体５の幅方向
に広く、長さ方向に狭い分布をなして、この被蒸着体５
の表面に衝突するように形成することも可能である。
これにより、被蒸着体５の幅方向に−様な膜厚分布をな
す蒸着膜を形成し得るとともに、被蒸着体５の長さ方向
には、被蒸着体表面への金属粒子の入射角度を略−様の
値とすることで磁気異方性を高めることが可能となる。
す蒸着膜を形成し得るとともに、被蒸着体５の長さ方向
には、被蒸着体表面への金属粒子の入射角度を略−様の
値とすることで磁気異方性を高めることが可能となる。
なお、この被蒸着体５への蒸着膜の膜厚は例えば１５０
０人とする。なお、目的に応じて制御筒７と蒸着ドラム
６との間にマスク１１、さらには蒸着金属加速電極等を
設けることも可能である。
０人とする。なお、目的に応じて制御筒７と蒸着ドラム
６との間にマスク１１、さらには蒸着金属加速電極等を
設けることも可能である。
なお、上記実施例方法によりＣｏの蒸着膜を形成した場
合、制御筒７の内壁面に衝突した金属粒子の約７０％が
溶解し、蒸着効率が２７％という結果が得られた。一方
、上記装置において、水冷却式シリンダ１４および熱伝
導媒体１３を除去し、その他は上記と同様にして蒸着を
行なった場合には制御筒７の内壁面に衝突した金属粒子
の約１０％が溶解し、蒸着効率は１４％という結果であ
った。
合、制御筒７の内壁面に衝突した金属粒子の約７０％が
溶解し、蒸着効率が２７％という結果が得られた。一方
、上記装置において、水冷却式シリンダ１４および熱伝
導媒体１３を除去し、その他は上記と同様にして蒸着を
行なった場合には制御筒７の内壁面に衝突した金属粒子
の約１０％が溶解し、蒸着効率は１４％という結果であ
った。
なお、本発明の方法としては上述した実施例のものに限
られるものではなく、例えば蒸発源の加熱方法や制御筒
内壁面の温度調整方法としては目的に応じた最適な方法
を選択することが可能である。
られるものではなく、例えば蒸発源の加熱方法や制御筒
内壁面の温度調整方法としては目的に応じた最適な方法
を選択することが可能である。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明の磁気記録媒体の製造方法
によれば制御筒の内壁面の温度を蒸気流金属粒子の融点
と沸点との間に設定しているので、制御筒を通過する蒸
気流金属粒子のうちこの制御筒内壁面に衝突して付着す
るものは、再蒸発せず、液状のまま、この内壁面を伝わ
って下降する。これにより、蒸気流分布が制御筒内壁面
からの再蒸発金属粒子により乱されることがなく高い蒸
着効率を維持することが可能となる。
によれば制御筒の内壁面の温度を蒸気流金属粒子の融点
と沸点との間に設定しているので、制御筒を通過する蒸
気流金属粒子のうちこの制御筒内壁面に衝突して付着す
るものは、再蒸発せず、液状のまま、この内壁面を伝わ
って下降する。これにより、蒸気流分布が制御筒内壁面
からの再蒸発金属粒子により乱されることがなく高い蒸
着効率を維持することが可能となる。
また、内壁面を伝わって下降する金属粒子は、この制御
筒の下部端面から、この制御筒の直下に配したルツボ内
に落下せしめて、蒸着時に回収することが可能であり、
制御筒内壁に堆積した金属粒子の除去等の作業が不要と
なる。
筒の下部端面から、この制御筒の直下に配したルツボ内
に落下せしめて、蒸着時に回収することが可能であり、
制御筒内壁に堆積した金属粒子の除去等の作業が不要と
なる。
図面は本発明に係る磁気記録媒体の製造方法を実施する
ための装置の一例を示す概略図である。 ２・・・蒸発源 ３・・・ルツボ４・・・高周
波誘導加熱手段 ５・・・被蒸着体 ７・・・制御筒 ６・・・蒸着ドラム １４・・・水冷却式シリンダ
ための装置の一例を示す概略図である。 ２・・・蒸発源 ３・・・ルツボ４・・・高周
波誘導加熱手段 ５・・・被蒸着体 ７・・・制御筒 ６・・・蒸着ドラム １４・・・水冷却式シリンダ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 真空雰囲気中で蒸発源を加熱し、この加熱により得られ
た蒸気流がこの蒸発源と被蒸着体の間に配した制御筒内
を通過するようになしてこの蒸気流の飛散方向を制御し
、前記被蒸着体上に所望の蒸着膜を形成する磁気記録媒
体の製造方法において、 前記制御筒の内壁面の温度を前記蒸気流構成金属の融点
以上であって沸点よりも低い温度に調節することを特徴
とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63207181A JP2618695B2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63207181A JP2618695B2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0256730A true JPH0256730A (ja) | 1990-02-26 |
| JP2618695B2 JP2618695B2 (ja) | 1997-06-11 |
Family
ID=16535587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63207181A Expired - Fee Related JP2618695B2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2618695B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105316627A (zh) * | 2015-11-20 | 2016-02-10 | 苏州赛森电子科技有限公司 | 半导体加工用蒸发台的自清洁装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57155369A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | High vacuum ion plating method and apparatus |
| JPS5826733U (ja) * | 1981-08-12 | 1983-02-21 | ソニー株式会社 | 金属薄膜磁気記録媒体の製造装置 |
-
1988
- 1988-08-19 JP JP63207181A patent/JP2618695B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57155369A (en) * | 1981-03-20 | 1982-09-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | High vacuum ion plating method and apparatus |
| JPS5826733U (ja) * | 1981-08-12 | 1983-02-21 | ソニー株式会社 | 金属薄膜磁気記録媒体の製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2618695B2 (ja) | 1997-06-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1636077A (zh) | 衬底镀膜的方法和设备 | |
| JPH0256730A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH06299353A (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| JPH01285023A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH04214860A (ja) | 多成分固体材料の製造方法 | |
| JPS63277752A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JP3877178B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH09143694A (ja) | 真空蒸着装置のルツボ加熱方法 | |
| US5122392A (en) | Method and apparatus for manufacturing magnetic recording medium | |
| JP3409874B2 (ja) | イオンプレーティング装置 | |
| JPH0673543A (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| JP3566825B2 (ja) | 熱プラズマによる加熱処理粒体及び加熱処理方法 | |
| JP3735846B2 (ja) | 連続真空蒸着装置における鋼板の予備加熱方法及び装置 | |
| JPH0798861A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JP2554488B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH09165674A (ja) | 真空被覆装置 | |
| JPS58150424A (ja) | 微粒子の表面を被覆処理する方法 | |
| JPS63204513A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH0313566A (ja) | 薄膜製造方法 | |
| JP3781154B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH0382756A (ja) | イオンビームアシスト蒸着方法 | |
| JPS63259832A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JP2898652B2 (ja) | イオンプレーティング用蒸発装置 | |
| JPS63259836A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH06172984A (ja) | 蒸着方法および装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080311 Year of fee payment: 11 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |