JPH0257721A - 真空用エアーベアリング - Google Patents
真空用エアーベアリングInfo
- Publication number
- JPH0257721A JPH0257721A JP63206259A JP20625988A JPH0257721A JP H0257721 A JPH0257721 A JP H0257721A JP 63206259 A JP63206259 A JP 63206259A JP 20625988 A JP20625988 A JP 20625988A JP H0257721 A JPH0257721 A JP H0257721A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- labyrinth
- guide bar
- pad
- exhausted
- Prior art date
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- Pending
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/72—Sealings
- F16C33/74—Sealings of sliding-contact bearings
- F16C33/741—Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid
- F16C33/748—Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid flowing to or from the sealing gap, e.g. vacuum seals with differential exhaust
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
- F16C2300/62—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions low pressure, e.g. elements operating under vacuum conditions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体焼付装置あるいは電子ビーム加工装置
等の構成要素の一つとして、真空内において使用される
エアーベアリングに関するものである。
等の構成要素の一つとして、真空内において使用される
エアーベアリングに関するものである。
［従来の技術］
第２図は、従来より用いられている真空内で使用するエ
アーベアリングの構成を示す、同図において、１０１は
ガイドバー １０２はハウジング、１０３は多孔質パッ
ド、１０４，１０５はガイドバー１０１との間に間隙を
形成するラビリンス壁である。
アーベアリングの構成を示す、同図において、１０１は
ガイドバー １０２はハウジング、１０３は多孔質パッ
ド、１０４，１０５はガイドバー１０１との間に間隙を
形成するラビリンス壁である。
このような構成において、給気用通路１０６を通じて供
給された空気は、空気の絞りとなっている多孔質バッド
１０３において絞られ、ポケット部１０９に排出される
。ポケット部１０９に排出された空気は、その大部分が
、排気用通路１０７を通って真空チャンバ外部（大気）
に排気される。排気されなかった微量の空気は、ガイド
バー１０１とラビリンス壁１０４によって形成されるわ
ずかな間隙を通過し、ポケット部１１０に到達する。そ
して、この空気はロータリポンプ１１１によって強制的
に排気される。
給された空気は、空気の絞りとなっている多孔質バッド
１０３において絞られ、ポケット部１０９に排出される
。ポケット部１０９に排出された空気は、その大部分が
、排気用通路１０７を通って真空チャンバ外部（大気）
に排気される。排気されなかった微量の空気は、ガイド
バー１０１とラビリンス壁１０４によって形成されるわ
ずかな間隙を通過し、ポケット部１１０に到達する。そ
して、この空気はロータリポンプ１１１によって強制的
に排気される。
上記の構成で、ラビリンス壁１０４および１０５とガイ
ドバー１０１との間隙（ラビリンス機構部分）は、これ
らが接触しないように、多孔質バッド１０３とガイドバ
ーｔｏｉとの間ＩＩ！ （約５μｍ）より、やや大きめ
（約８μｍ位）になっている。
ドバー１０１との間隙（ラビリンス機構部分）は、これ
らが接触しないように、多孔質バッド１０３とガイドバ
ーｔｏｉとの間ＩＩ！ （約５μｍ）より、やや大きめ
（約８μｍ位）になっている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、従来例においては次のような問題点があ
った。
った。
すなわち、ラビリンスの効果をより大きくするには第２
図においてガイドバー１０１とラビリンス壁１０４，１
０５で構成される間隙が小さいほど良い、しかし、この
間隙が約８μｍ以下になると、エアーベアリングを作動
させた時にガイドバー１０１とラビリンス壁１０４また
は１０５との間で金属同士の接触が生じ、焼き付きやカ
ジリ等が発生してしまう。
図においてガイドバー１０１とラビリンス壁１０４，１
０５で構成される間隙が小さいほど良い、しかし、この
間隙が約８μｍ以下になると、エアーベアリングを作動
させた時にガイドバー１０１とラビリンス壁１０４また
は１０５との間で金属同士の接触が生じ、焼き付きやカ
ジリ等が発生してしまう。
本発明は、上述の従来例における問題点に鑑み、ガイド
バーとラビリンス壁との間の接触による焼き付きやカジ
リ等の発生を無くシ、より大きなラビリンス効果を有す
る真空用エアーベアリングを提供することを目的とする
。
バーとラビリンス壁との間の接触による焼き付きやカジ
リ等の発生を無くシ、より大きなラビリンス効果を有す
る真空用エアーベアリングを提供することを目的とする
。
［ｉ１題を解決するための手段および作用１上記の目的
を達成するため、本発明に係る真空用エアーベアリング
は、自己潤滑性を持った耐摩耗性多孔質部材で、供給空
気の絞り部分である多孔質パッドとラビリンス壁とを一
体成形することを特徴としている。
を達成するため、本発明に係る真空用エアーベアリング
は、自己潤滑性を持った耐摩耗性多孔質部材で、供給空
気の絞り部分である多孔質パッドとラビリンス壁とを一
体成形することを特徴としている。
かかる構成によれば、金属同士の接触が無くなるので、
焼きつきおよびカジリ等の発生が無くなる。従って、ラ
ビリンス部分の間隙をより小さくすることを可能とし、
より大きなラビリンス効果を持たせることができる。
焼きつきおよびカジリ等の発生が無くなる。従って、ラ
ビリンス部分の間隙をより小さくすることを可能とし、
より大きなラビリンス効果を持たせることができる。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る真空用エアーベアリ
ングの構成図である。同図において、１はエアーベアリ
ングが動く際のガイドバー ２はエアーベアリングを構
成しているハウジング、３．４．５は一体成形された多
孔質材で例えば多孔性グラファイト等からなるパッドお
よびラビリンス壁を構成している。６は給気用通路、７
は空気を大気圧下に排出するための通路、８は強制排気
するための通路、９．１０は前記ガイドバー１と前記一
体成形された多孔質材３〜５との間で形成されるポケッ
ト部である。さらに、１１は前記排気通路８を通して、
前記ポケット部１０の空気を強制排気するためのロータ
リポンプである。
ングの構成図である。同図において、１はエアーベアリ
ングが動く際のガイドバー ２はエアーベアリングを構
成しているハウジング、３．４．５は一体成形された多
孔質材で例えば多孔性グラファイト等からなるパッドお
よびラビリンス壁を構成している。６は給気用通路、７
は空気を大気圧下に排出するための通路、８は強制排気
するための通路、９．１０は前記ガイドバー１と前記一
体成形された多孔質材３〜５との間で形成されるポケッ
ト部である。さらに、１１は前記排気通路８を通して、
前記ポケット部１０の空気を強制排気するためのロータ
リポンプである。
上記構成において、給気用通路６を通って供給された空
気は、パッド３で絞られ、ガイドバー１とパッド３で形
成される間隙を通ってポケット部９に排出される。この
排出された空気は、排気通路７を通過し大部分大気中に
排気される。ここで排気されなかった残りの微量な空気
は、ガイドバー１とラビリンス壁４で形成される間隙を
通過しポケット部１０に達する。ポケット部１０の微量
な空気は、排気通路８を経由しロータリポンプ１１で強
制的に排気される。このため、ガイドバー１とラビリン
ス壁５によって形−成される間隙を通って真空チャンバ
内にリークする空気は、極めて微量なものとなる。空気
が真空チャンバ内にリークする量を極力微量にするため
、ラビリンス壁４および５とガイドバー１で形成される
間隙は、パッド３とガイドバー１で形成される間ｆｌｉ
！（約５μｍ）とほぼ同程度になっている。
気は、パッド３で絞られ、ガイドバー１とパッド３で形
成される間隙を通ってポケット部９に排出される。この
排出された空気は、排気通路７を通過し大部分大気中に
排気される。ここで排気されなかった残りの微量な空気
は、ガイドバー１とラビリンス壁４で形成される間隙を
通過しポケット部１０に達する。ポケット部１０の微量
な空気は、排気通路８を経由しロータリポンプ１１で強
制的に排気される。このため、ガイドバー１とラビリン
ス壁５によって形−成される間隙を通って真空チャンバ
内にリークする空気は、極めて微量なものとなる。空気
が真空チャンバ内にリークする量を極力微量にするため
、ラビリンス壁４および５とガイドバー１で形成される
間隙は、パッド３とガイドバー１で形成される間ｆｌｉ
！（約５μｍ）とほぼ同程度になっている。
なお、ここでは第１図に示したようなラジアル軸受に本
発明を適用した例を説明したが、これに限らず、アキシ
ャル軸受またはラジアルとアキシャルとを組み合わせた
軸受等においても同様に適用することができる。
発明を適用した例を説明したが、これに限らず、アキシ
ャル軸受またはラジアルとアキシャルとを組み合わせた
軸受等においても同様に適用することができる。
また、パッドおよびラビリンスの構成に関しては多孔質
材に限らず固体潤滑性の材料を使用してもよい、さらに
、エアーベアリングの絞り方式としては、自戒絞り、オ
リフィス絞りあるいは表面絞り等にしてもよい。
材に限らず固体潤滑性の材料を使用してもよい、さらに
、エアーベアリングの絞り方式としては、自戒絞り、オ
リフィス絞りあるいは表面絞り等にしてもよい。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、真空内で使用さ
れるエアーベアリングにおいて、パッドを形成する固体
潤滑材料の多孔質材と、ラビリンス部分を構成するラビ
リンス壁とを一体化しているので、ガイドバーとラビリ
ンス壁との間の接触による焼き付きおよびカジリ等を防
止することができる。また、ラビリンス部分の間隙を小
さくできるため、より大きなラビリンスの効果が得られ
る。さらに、ラビリンス部分とバッド部分を一体で加工
することができるため、エアーベアリングの製作が容易
になる。
れるエアーベアリングにおいて、パッドを形成する固体
潤滑材料の多孔質材と、ラビリンス部分を構成するラビ
リンス壁とを一体化しているので、ガイドバーとラビリ
ンス壁との間の接触による焼き付きおよびカジリ等を防
止することができる。また、ラビリンス部分の間隙を小
さくできるため、より大きなラビリンスの効果が得られ
る。さらに、ラビリンス部分とバッド部分を一体で加工
することができるため、エアーベアリングの製作が容易
になる。
第１図は、本発明の一実施例に係る真空用エアーベアリ
ングの構成図、 第２図は、従来より用いられている真空内で使用するエ
アーベアリングの構成図である。 １、 １０１ ２．１０２ ３．１０３ ４、 ５． １ ６．１０６ ７．１０７ ａ、ｔｏａ ９．１０゜ １１．１１ ニガイドバー ：ハウジング、 ：パッド、 ０４．１０５：ラビリンス壁、 ：給気用通路、 ：大気開放用通路、 二強制排気用通路、 １０９．１１０：ポケット、 １：ロータリーポンプ。
ングの構成図、 第２図は、従来より用いられている真空内で使用するエ
アーベアリングの構成図である。 １、 １０１ ２．１０２ ３．１０３ ４、 ５． １ ６．１０６ ７．１０７ ａ、ｔｏａ ９．１０゜ １１．１１ ニガイドバー ：ハウジング、 ：パッド、 ０４．１０５：ラビリンス壁、 ：給気用通路、 ：大気開放用通路、 二強制排気用通路、 １０９．１１０：ポケット、 １：ロータリーポンプ。
Claims (1)
- （１）真空内で使用するエアーベアリングにおいて、供
給空気の絞り部分である多孔質パッドとラビリンス部分
とを一体化して耐摩耗性多孔質材で構成したことを特徴
とする真空用エアーベアリング。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63206259A JPH0257721A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 真空用エアーベアリング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63206259A JPH0257721A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 真空用エアーベアリング |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0257721A true JPH0257721A (ja) | 1990-02-27 |
Family
ID=16520370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63206259A Pending JPH0257721A (ja) | 1988-08-22 | 1988-08-22 | 真空用エアーベアリング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0257721A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2360332A (en) * | 2000-03-16 | 2001-09-19 | Applied Materials Inc | Vacuum bearing structure and a method of supporting a movable member |
| US10267360B2 (en) | 2010-06-23 | 2019-04-23 | Asml Holding N.V. | Pneumatic bearing with bonded polymer film wear surface and production method thereof |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62141309A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-24 | Canon Inc | 多孔質静圧気体軸受 |
| JPS62218889A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | 日本精工株式会社 | 真空吸着機構付き静圧気体軸受スピンドル |
-
1988
- 1988-08-22 JP JP63206259A patent/JPH0257721A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62141309A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-24 | Canon Inc | 多孔質静圧気体軸受 |
| JPS62218889A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | 日本精工株式会社 | 真空吸着機構付き静圧気体軸受スピンドル |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2360332A (en) * | 2000-03-16 | 2001-09-19 | Applied Materials Inc | Vacuum bearing structure and a method of supporting a movable member |
| US6515288B1 (en) | 2000-03-16 | 2003-02-04 | Applied Materials, Inc. | Vacuum bearing structure and a method of supporting a movable member |
| GB2360332B (en) * | 2000-03-16 | 2004-05-05 | Applied Materials Inc | Vacuum bearing structure and a method of supporting a movable member |
| US10267360B2 (en) | 2010-06-23 | 2019-04-23 | Asml Holding N.V. | Pneumatic bearing with bonded polymer film wear surface and production method thereof |
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