JPH025873U - - Google Patents

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JPH025873U
JPH025873U JP8427888U JP8427888U JPH025873U JP H025873 U JPH025873 U JP H025873U JP 8427888 U JP8427888 U JP 8427888U JP 8427888 U JP8427888 U JP 8427888U JP H025873 U JPH025873 U JP H025873U
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cooling medium
attached
disk
cooling
pipe
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案の一実施例に係るウエハデ
イスクを部分的に示す平面図である。第２図は、
第１図の線−に概ね沿う拡大断面図である。
第３図は、従来のウエハデイスクの一例を示す平
面図である。第４図は、第３図の線−に概ね
沿う断面図である。 １２……円板部、１４……ウエハ取付座、１６
……冷却媒体の通路、２０……ボス部、２２……
冷却媒体の往路、２４……冷却媒体の復路、２６
……冷却パイプ、２８……パツキン、３０，３２
……ボルト（締結手段）、４０……実施例に係る
ウエハデイスク。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 冷却媒体の往路および復路を有するボス部に締
    結手段によつて円板部を取り付け、この円板部に
    締結手段によつて複数のウエハ取付座であつて冷
    却媒体の通路をそれぞれ有するものを取り付け、
    かつこの円板部に、冷却媒体を通す冷却パイプを
    取り付けてこれで各ウエハ取付座の冷却媒体の通
    路間を直列に接続すると共にその両端をボス部の
    冷却媒体の往路および復路にそれぞれ接続し、そ
    して冷却パイプと他との接続部をパツキンでシー
    ルした構造のウエハデイスク。
JP1988084278U 1988-06-25 1988-06-25 ウエハディスク Expired - Lifetime JPH0728692Y2 (ja)

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JP1988084278U JPH0728692Y2 (ja) 1988-06-25 1988-06-25 ウエハディスク

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Publication Number Publication Date
JPH025873U true JPH025873U (ja) 1990-01-16
JPH0728692Y2 JPH0728692Y2 (ja) 1995-06-28

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ID=31308974

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4919518U (ja) * 1972-05-18 1974-02-19
JP2009266391A (ja) * 2008-04-22 2009-11-12 Sumco Corp 酸素イオン注入装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61116746A (ja) * 1984-09-19 1986-06-04 アプライド　マテリアルズ　インコ−ポレ−テツド 半導体ウエハをイオンインプランテ−シヨンする装置及び方法

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61116746A (ja) * 1984-09-19 1986-06-04 アプライド　マテリアルズ　インコ−ポレ−テツド 半導体ウエハをイオンインプランテ−シヨンする装置及び方法

Cited By (2)

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Also Published As

Publication number Publication date
JPH0728692Y2 (ja) 1995-06-28

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