JPH0259420A - 化学気相反応による金属ほう化物繊維の製造装置 - Google Patents

化学気相反応による金属ほう化物繊維の製造装置

Info

Publication number
JPH0259420A
JPH0259420A JP21058188A JP21058188A JPH0259420A JP H0259420 A JPH0259420 A JP H0259420A JP 21058188 A JP21058188 A JP 21058188A JP 21058188 A JP21058188 A JP 21058188A JP H0259420 A JPH0259420 A JP H0259420A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
reaction tube
chemical vapor
vapor phase
reaction
metal boride
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP21058188A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0643250B2 (ja
Inventor
Isao Nakatani
功 中谷
Kiyoshi Ozawa
清 小澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute for Materials Science
Original Assignee
National Research Institute for Metals
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by National Research Institute for Metals filed Critical National Research Institute for Metals
Priority to JP63210581A priority Critical patent/JPH0643250B2/ja
Publication of JPH0259420A publication Critical patent/JPH0259420A/ja
Publication of JPH0643250B2 publication Critical patent/JPH0643250B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Inorganic Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は化学気相反応による金属ほう化物繊維の製造装
置に関する。金属ほう化物繊維は耐熱性高強度の繊維材
料、繊維分散強化耐熱合金用繊維、さらに導電材料とし
て有用なものである。
従来技術 従来、化学気相反応による金属ほう化物繊維の製造装置
としては、第3図に示すような装置が知られている。
該装fは透明石英製の反応管2の中に金属触媒を担持し
た下地6を反応管壁に接して置き、反応管外周に設は良
電気抵抗加熱炉8によりて反応管2を加熱し、熱電対4
により温度を測定し加熱温度を制御していた。
この装置によると、反応管の内壁に反応生成物が膜状と
なって析出しやすく、そのため、下地上に効率よく繊維
を育成させることが困難で、収率が悪く、かつ反応管内
の析出物除去を必要とし、生産能率も悪いという問題点
があった。
発明の目的 本発明は従来装置における問題点を解消すべくなされた
もので、その目的は反応管内壁に反応生成物の析出をな
くシ、高収率・高能率で金属ほう化物繊維を製造し得ら
れる装置を提供しようとするものである。
発明の構成 本発明者らは従来装置における反応管内壁に反応生成物
の析出を防止すべく鋭意研究の結果。
金属触媒を担持した下地を反応管と熱的に絶縁して設置
し、下地のみを選択的に加熱するようにし、かつ反応管
外壁全強制的に冷却することが反応管内壁に反応生成物
の析出を防止するのに極めて有効であるという知見を得
念。この知見に基づいて本発明を完成し良。
本発明の要旨は、 気化し得るほり素化合物と金属化合物の蒸気を金属触媒
を設置した反応管中に導き化学気相反応により金属ほう
化物繊維全製造する装置において、金属触媒を担持した
下地を反応管と熱的に絶縁して設置し、下地のみを選択
的に加熱する加熱源を設け、かつ反応管を強制的に冷却
する冷却装置を設は九ことを特徴とする化学気相反応に
よる金属ほう化物繊維の製造装置にある。
本発明の装置を図面に基づいて説明すると、第1図は本
発明の一実施態様装置の全体見取りえば赤外線加熱炉、
電磁誘導加熱炉、及び下地への直接通電法が挙げられる
。しかし、下地のみを選択的に加熱し得る方法であれば
これらに限定されるものではない。2は反応管で、その
材質は加熱方式により異なる。すなわち、赤外線加熱方
式では赤外線をよく透過する例えば透明石英音用い、電
磁誘導加熱方式では電磁波をよく透過する例えば透明石
英、アルミナを用いる。また直接通電法であれば、絶縁
体、例えば透明石英、アルミナ管用いる。
反応q!2の形状は通常円筒中空管が好ましいが、ペル
ジャー型であってもよく、その形状は限定されない。
3は金属触媒を担持する下地で、これは反応管2と熱的
に絶縁して設置する。その方法としては、下地3を熱伝
導率の小さい物質例えば石英やアルミナの支持台7上に
置く方法。反応管2から熱伝導率の小さい物質からなる
棒を出し下地3を支持する方法、または熱電対4を支持
棒とする方法が挙げられる。しかし、これらの方法に限
らず熱的に絶縁する方法であればよい。
反応管2は外側から冷却装置5より冷却する。
冷却方式としては、例えば水冷式、ガスジェット式が挙
げられる。
なお、赤外線加熱方式及び電磁誘導加熱式では、赤外線
や電磁波の熱エネルギーの入射を妨げない方式であるこ
とが必要である。
6Fi金属触媒で、例えばPtb Cut Au、Pd
等の金属粉末が挙げられる。
実施例 第1図及び第2図に示す装置を用い、加熱装置1として
加熱長265+aI、全長361fiの楕円反射形管状
集光の赤外線イメージ炉を用い、反応管2は内径42■
、長さ1000■の透明石英管を用いた。グラファイト
製の下地3を透明石英製の支持台7により支持して反応
管2と熱的に絶縁し念。下地3の上にpt微粒子触媒6
を置いた。反応温度の測定及び温度制御は下地3にうが
っ九穴に熱電対4をうめこんで行い1反応管の外側を低
温のN、ガスジェット5で冷却した。
この装置を用い、Tic14とB Brsの蒸気を。
H,ガスをキャリアーとして用い900℃で還元反応を
行わせた。各原料の分圧はそれぞれPBBrs=89゜
ITorr%Pr+cxn = 15.8Torr、 
PH1−655Torrで、全ガス流量を200mL/
minとし穴。
この時の赤外線イメージ炉の電力は3.8 KWであっ
た。低温歯ガスジェットの入口圧2.i、okf/dと
した。
以上の条件で50分間化学気相反応を行ツft結果、下
地上に約0.2f/cd、時のT I Bt織繊維得ら
れた。これは従来装置(第3図)で同一条件で行った場
合における収量の約5倍である。
また反応終了後、反応管内壁にはTtB*膜及び4゜ 反応生成物の付着は見られなかった。
発明の効果 本発明の装置によると、次のような効果が得られる。
U) 反応管内壁に反応生成物が付着堆積することがな
く、原料の歩走シがよい。
■ 金属ほう化物繊維を従来装置に比べ約5倍の高収率
で製造することができる。
(2)反応管内壁に反応生成物が付着堆積しないので、
清掃を必要とせず長時間にわたって操業することができ
、高能率に金属ほう化物繊維を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施態様装置の全体見取シ図、第2
図はその反応管中心部の拡大見取シ図、第3図は従来装
置の断面図を示す。 1:加熱装置    2:反応管 3:下地      4:熱電対 5:低温N!ガスジェット流 6:金属触媒    7:支持台 8 : 電気抵抗加熱炉

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 気化し得るほり素化合物と金属化合物の蒸気を反応管に
    導き化学気相反応により金属ほう化物繊維を製造する装
    置において、反応管内部に金属触媒を担持した下地を反
    応管と熱的に絶縁して設置し、下地のみを選択的に加熱
    する加熱源を設け、かつ反応管を強制的に冷却する冷却
    装置を設けたことを特徴とする化学気相反応による金属
    ほう化物繊維の製造装置。
JP63210581A 1988-08-26 1988-08-26 化学気相反応による金属ほう化物繊維の製造装置 Expired - Lifetime JPH0643250B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63210581A JPH0643250B2 (ja) 1988-08-26 1988-08-26 化学気相反応による金属ほう化物繊維の製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63210581A JPH0643250B2 (ja) 1988-08-26 1988-08-26 化学気相反応による金属ほう化物繊維の製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0259420A true JPH0259420A (ja) 1990-02-28
JPH0643250B2 JPH0643250B2 (ja) 1994-06-08

Family

ID=16591685

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63210581A Expired - Lifetime JPH0643250B2 (ja) 1988-08-26 1988-08-26 化学気相反応による金属ほう化物繊維の製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0643250B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0643250B2 (ja) 1994-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4866527B2 (ja) 昇華精製方法
WO2000049199A1 (en) Method and apparatus for chemical vapor deposition of polysilicon
EP1257684A1 (en) Method and apparatus for chemical vapor deposition of polysilicon
JP2001032071A (ja) 熱化学気相蒸着装置及びこれを用いたカーボンナノチューブの低温合成方法
JP2005508097A5 (ja)
TW200302290A (en) Induction heating devices and methods for controllably heating an article
KR20180013966A (ko) 직접 유도를 통한 질화붕소 나노튜브 합성
US3665139A (en) Device for epitactic precipitation of semiconductor material
JPH03285075A (ja) タングステンルツボの製造方法
JP4374786B2 (ja) Cvd装置および薄膜製造方法
US3051555A (en) Crucible for melting silicon of highest purity and method of making it
JP2001023759A (ja) 熱分解窒化ホウ素放射ヒーター
JP3206375B2 (ja) 単結晶薄膜の製造方法
CA2082775C (en) Process for the preparation of fullerenes and heterofullerenes
JP3602678B2 (ja) キャリア体の加熱方法及び装置
JP2005243667A (ja) 熱処理装置
JPS6374909A (ja) 大直径多結晶シリコン棒の製造方法
JPH0643250B2 (ja) 化学気相反応による金属ほう化物繊維の製造装置
JP2007112691A (ja) シリコンの製造装置及び方法
JPS61227169A (ja) スパツタリング装置
CN201890953U (zh) 扩散炉装置
JPS60131969A (ja) 化学気相成長処理装置
RU222432U1 (ru) Реактор для получения эпитаксиальных слоев карбида кремния на кремниевой подложке
JPH0543378A (ja) 単結晶製造装置
JPH0713289B2 (ja) インダクションプラズマ溶射方法

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term