JPH0260392A - 固体撮像装置の試験方法 - Google Patents
固体撮像装置の試験方法Info
- Publication number
- JPH0260392A JPH0260392A JP63212017A JP21201788A JPH0260392A JP H0260392 A JPH0260392 A JP H0260392A JP 63212017 A JP63212017 A JP 63212017A JP 21201788 A JP21201788 A JP 21201788A JP H0260392 A JPH0260392 A JP H0260392A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- solid
- sampling
- imaging device
- captured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、固体撮像装置の試験方法に関し、特に、撮像
信号（画像信号）が適正に出力されるか否かの機能試験
に用いられる固体撮像装置の試験方法に関する。
信号（画像信号）が適正に出力されるか否かの機能試験
に用いられる固体撮像装置の試験方法に関する。
（従来の技術）
一般に、固体撮像装置の機能試験は、それぞれ異なる複
数種の条件において行われる。即ち、入力としての光の
光学条件と、光により生成された信号を出力させるため
の駆動条件が種々変えられ、それにより機能試験として
の全体的な条件が種々設定される。それらの各機能試験
の条件毎に、画素信号読出信号により固体撮像装置から
信号を出力させ、その出力信号をアナログ／デジタル変
換してメモリに取り込む。そのメモリ内に取り込んだデ
ジタル化したデータ（信号）に種々の処理を加えて、固
体撮像素子の良否判定を行う。
数種の条件において行われる。即ち、入力としての光の
光学条件と、光により生成された信号を出力させるため
の駆動条件が種々変えられ、それにより機能試験として
の全体的な条件が種々設定される。それらの各機能試験
の条件毎に、画素信号読出信号により固体撮像装置から
信号を出力させ、その出力信号をアナログ／デジタル変
換してメモリに取り込む。そのメモリ内に取り込んだデ
ジタル化したデータ（信号）に種々の処理を加えて、固
体撮像素子の良否判定を行う。
その良否判定を行うには、微小信号差を正確に把握する
必要がある。その差を正確に把握するには、固体撮像素
子から信号を取り込む際にランダムノイズを除去しなけ
ればならない。ランダムノイズを除去するため、従来は
以下のようにしていた。即ち、撮像装置を繰り返して起
動し、信号を取り込む。取り込んだ各起動時毎の信号を
加算、平均する。その加算、平均により画素信号読出信
号の周波数よりも高い周波数成分のランダムノイズを除
去していた。
必要がある。その差を正確に把握するには、固体撮像素
子から信号を取り込む際にランダムノイズを除去しなけ
ればならない。ランダムノイズを除去するため、従来は
以下のようにしていた。即ち、撮像装置を繰り返して起
動し、信号を取り込む。取り込んだ各起動時毎の信号を
加算、平均する。その加算、平均により画素信号読出信
号の周波数よりも高い周波数成分のランダムノイズを除
去していた。
（発明が解決しようとする課題）
上記従来方法においては、信号取り込み時間か総試験時
間に占める割合は小さく、総試験時間は短かかった。し
かしながら、上記従来方法において、ランダムノイズに
よるばらつきを１／ｋにするには、理論上、信号の取り
込み回数をに２倍にする必要かある。このように、取り
込み回数を多くすると、当然信号取り込みのための時間
が長くなる。取り込み時間が長くなると、その時間が総
試験時間に占める割合が大きくなる。それにより、総試
験時間が長くなるという難点が生じる。
間に占める割合は小さく、総試験時間は短かかった。し
かしながら、上記従来方法において、ランダムノイズに
よるばらつきを１／ｋにするには、理論上、信号の取り
込み回数をに２倍にする必要かある。このように、取り
込み回数を多くすると、当然信号取り込みのための時間
が長くなる。取り込み時間が長くなると、その時間が総
試験時間に占める割合が大きくなる。それにより、総試
験時間が長くなるという難点が生じる。
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的は、
信号の取り込み回数を増加させることなく、ランダムノ
イズによるばらつきを抑制可能な固体撮像装置の試験方
法を提供することにある。
信号の取り込み回数を増加させることなく、ランダムノ
イズによるばらつきを抑制可能な固体撮像装置の試験方
法を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明の固体撮像装置の試験方法は、固体撮像装置のあ
る画素からデータ読出信号により撮像信号を読み出し、
読み出した撮像信号をそのデータ読出信号よりも周期の
短かいサンプリングパルスによって取り込み、以上の動
作を各画素について繰り返えし、このようにして取り込
んだ各撮像信号に基づいて前記固体撮像装置の良否を判
定する固体撮像装置の試験方法において、前記サンプリ
ングパルスとして前記撮像信号の読出期間中に発生させ
た複数のサンプリングパルスを用い、それらのサンプリ
ングパルスにより前記各画素について多点サンプリング
を行ってその各画素からそれぞれ複数の撮像信号を取り
込むようにしたものとして構成される。
る画素からデータ読出信号により撮像信号を読み出し、
読み出した撮像信号をそのデータ読出信号よりも周期の
短かいサンプリングパルスによって取り込み、以上の動
作を各画素について繰り返えし、このようにして取り込
んだ各撮像信号に基づいて前記固体撮像装置の良否を判
定する固体撮像装置の試験方法において、前記サンプリ
ングパルスとして前記撮像信号の読出期間中に発生させ
た複数のサンプリングパルスを用い、それらのサンプリ
ングパルスにより前記各画素について多点サンプリング
を行ってその各画素からそれぞれ複数の撮像信号を取り
込むようにしたものとして構成される。
（作 用）
固体撮像装置のある画素からデータ読出信号により撮像
信号が読み出される。その読み出しの期間中に複数のサ
ンプリングパルスが発生させられる。それらの複数のサ
ンプリングパルスによって上記ある画素から多点サンプ
リングによって複数の撮像信号が取り込まれる。以上の
動作が各画素について繰り返えされる。このようにする
ことにより、各画素についてみれば、１回のデータ取り
込みが従来の複数回のデータ取り込みに相当する。
信号が読み出される。その読み出しの期間中に複数のサ
ンプリングパルスが発生させられる。それらの複数のサ
ンプリングパルスによって上記ある画素から多点サンプ
リングによって複数の撮像信号が取り込まれる。以上の
動作が各画素について繰り返えされる。このようにする
ことにより、各画素についてみれば、１回のデータ取り
込みが従来の複数回のデータ取り込みに相当する。
このようにして取り込まれた各撮像信号に基づいて固体
撮像装置の良否が判定される。
撮像装置の良否が判定される。
（実施例）
本発明の一実施例を第１図及び第２図を参照して従来の
方法と比較しながら説明する。
方法と比較しながら説明する。
第１図は、固体撮像装置からの信号のサンプリング方法
を示す。同図において、（１）は固体撮像装置からの出
力信号のうち３つの画素からの出力信号部分を示す。各
画素からの出力信号のうち、１０１はリセット期間、１
０２は黒基準レベル期間、１０３は撮像信号出力期間を
示す。
を示す。同図において、（１）は固体撮像装置からの出
力信号のうち３つの画素からの出力信号部分を示す。各
画素からの出力信号のうち、１０１はリセット期間、１
０２は黒基準レベル期間、１０３は撮像信号出力期間を
示す。
このような、各画素からの出力信号をサンプリングする
に際し、従来は、同図（２）に示す、相関二重サンプリ
ングパルスを用いていた。即ち、同図（２）において、
２０１は黒基準値をサンプリングするパルスであり、２
０２は撮像信号値をサンプリングするパルスである。
に際し、従来は、同図（２）に示す、相関二重サンプリ
ングパルスを用いていた。即ち、同図（２）において、
２０１は黒基準値をサンプリングするパルスであり、２
０２は撮像信号値をサンプリングするパルスである。
これに対し、同図（３）に示すパルスが本発明の実施に
使用するパルスである。そのパルスのうち、３０１が黒
基準サンプリング期間、３０２は撮像信号サンプリング
期間を示す。その黒基準サンプリング期間３０１には８
個のパルスが含まれている。その８個のパルスにより黒
基準値を８回サンプリングする。また、上記撮像信号サ
ンプリング期間３０２には６４個のパルスが含まれてい
る。その６４個のパルスで撮像信号値を６４回サンプリ
ングする。このようなサンプリングによる信号の取り込
みは、１回乃至任意複数回行われる。
使用するパルスである。そのパルスのうち、３０１が黒
基準サンプリング期間、３０２は撮像信号サンプリング
期間を示す。その黒基準サンプリング期間３０１には８
個のパルスが含まれている。その８個のパルスにより黒
基準値を８回サンプリングする。また、上記撮像信号サ
ンプリング期間３０２には６４個のパルスが含まれてい
る。その６４個のパルスで撮像信号値を６４回サンプリ
ングする。このようなサンプリングによる信号の取り込
みは、１回乃至任意複数回行われる。
このようにしてサンプリングした値に基づき、従来と同
様にして半導体装置の良否判定を行う。即ち、サンプリ
ングした信号をＡ／Ｄ変換してメモリに取り込み、取り
込んだ信号に種々の画像処理を加え、処理後の信号に基
づいて良否判定を行う。
様にして半導体装置の良否判定を行う。即ち、サンプリ
ングした信号をＡ／Ｄ変換してメモリに取り込み、取り
込んだ信号に種々の画像処理を加え、処理後の信号に基
づいて良否判定を行う。
上記の如く、１回の信号の取り込みに際して、黒基準値
を８回、撮像信号値を６４回それぞれサンプリングした
場合には、１回の信号出力に対するサンプリングのばら
つきは、理論上、黒基準値で６５％、撮像信号値で８８
２６だけそれぞれ減少する。即ち、０回サンプリングし
た場合には減少する。そして、上記の如くサンプリング
を複数回行う信号の取込回数を１．２，４．８回とし且
つ前記の信号処理を施した場合に、総合的にどの程度ば
らつきが低下するかを示したものが第２図（ａ）〜（ｄ
）である。
を８回、撮像信号値を６４回それぞれサンプリングした
場合には、１回の信号出力に対するサンプリングのばら
つきは、理論上、黒基準値で６５％、撮像信号値で８８
２６だけそれぞれ減少する。即ち、０回サンプリングし
た場合には減少する。そして、上記の如くサンプリング
を複数回行う信号の取込回数を１．２，４．８回とし且
つ前記の信号処理を施した場合に、総合的にどの程度ば
らつきが低下するかを示したものが第２図（ａ）〜（ｄ
）である。
以下に第２図（ａ）〜（ｄ）を参照して本発明の詳細な
説明する。
説明する。
即ち、第２図（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ異なる項目に
ついて試験するため、それぞれ異なる実験条件において
、本発明及び従来の方法を実施し、それによって得た出
力信号を処理した後におけるばらつきを示すものである
。同図（ａ）〜（ｄ）において、Ａは本発明による結果
を示し、Ａ′は従来方法による結果を示し、Ｃは各試験
項目についての許容し得る最大のばらつき値を示す。
ついて試験するため、それぞれ異なる実験条件において
、本発明及び従来の方法を実施し、それによって得た出
力信号を処理した後におけるばらつきを示すものである
。同図（ａ）〜（ｄ）において、Ａは本発明による結果
を示し、Ａ′は従来方法による結果を示し、Ｃは各試験
項目についての許容し得る最大のばらつき値を示す。
第２図（ａ）は、従来は４回データを取り込んでもばら
つきを最大のばらつき値Ｃよりも低く抑えることができ
なかったのに対し、本発明の場合には１回だけデータを
取り込めば、従来の場合よりもはるかにばらつきを抑え
ることができる場合を示している。
つきを最大のばらつき値Ｃよりも低く抑えることができ
なかったのに対し、本発明の場合には１回だけデータを
取り込めば、従来の場合よりもはるかにばらつきを抑え
ることができる場合を示している。
同図（ｂ）、 （ｃ）は、従来は８回データを取り込
んでいたのに対し、本発明によれば１回もしくは２回デ
ータを取り込めばよい場合を示している。
んでいたのに対し、本発明によれば１回もしくは２回デ
ータを取り込めばよい場合を示している。
同図（ｄ）は、従来は８回データを取り込んでもばらつ
きを最大のばらつき値Ｃよりも低く抑えることができな
かったのに対し、本発明によれば、１回又は２回の取り
込みでは不十分なものの、４回もしくは８回の取り込み
でばらつきを十分低く抑えることかできる場合を示して
いる。
きを最大のばらつき値Ｃよりも低く抑えることができな
かったのに対し、本発明によれば、１回又は２回の取り
込みでは不十分なものの、４回もしくは８回の取り込み
でばらつきを十分低く抑えることかできる場合を示して
いる。
つまり、同図（ａ）〜（ｄ）から以下のことがわかる。
即ち、同図（ａ）、 （ｄ）に示す項目試験において
は、従来はばらつきの抑制が十分てない状態において精
度の低い試験をしていた。しかしながら、本発明によれ
ば、従来よりも信号の取り込みの回数を少なくしつつも
、許容し得る最大ばらつき値Ｃよりもばらつきを抑える
ことができる。また、同図（ｂ）、 （Ｃ）のように
、従来も上記ばらつき値Ｃよりも低くばらつきを抑える
ことができる場合にあっても、本発明によれば取り込み
回数を少なくしつつもばらつきを上記ばらつき値Ｃより
も低く抑えることができる。
は、従来はばらつきの抑制が十分てない状態において精
度の低い試験をしていた。しかしながら、本発明によれ
ば、従来よりも信号の取り込みの回数を少なくしつつも
、許容し得る最大ばらつき値Ｃよりもばらつきを抑える
ことができる。また、同図（ｂ）、 （Ｃ）のように
、従来も上記ばらつき値Ｃよりも低くばらつきを抑える
ことができる場合にあっても、本発明によれば取り込み
回数を少なくしつつもばらつきを上記ばらつき値Ｃより
も低く抑えることができる。
このように、信号の取り込み回数を減少すれば当然信号
取込時間も減少する。それにより、総試験時間も減少す
る。例えば、従来総試験時間が１２．６秒であったのを
、９．５秒にてき、３．１秒、割合にして２４．６％も
総試験時間を減少することができた。
取込時間も減少する。それにより、総試験時間も減少す
る。例えば、従来総試験時間が１２．６秒であったのを
、９．５秒にてき、３．１秒、割合にして２４．６％も
総試験時間を減少することができた。
本発明によれば、固体撮像装置の各画素について、１回
の読み出し期間中に多点サンプリングを行うようにした
ので、各画素についての撮像信号データの取り込みの回
数を減少しつつもばらつきを抑制することができ、これ
によりデータ取り込みのための時間を少なくして総試験
時間を短縮することができる。
の読み出し期間中に多点サンプリングを行うようにした
ので、各画素についての撮像信号データの取り込みの回
数を減少しつつもばらつきを抑制することができ、これ
によりデータ取り込みのための時間を少なくして総試験
時間を短縮することができる。
第１図は固体撮像装置の画素からの信号をサンプリング
するタイミングを示す本発明及び従来方法のサンプリン
グタイミング図、第２図は信号（データ）取込回数とば
らつきとの関係を示す本発明及び従来方法のグラフであ
る。
するタイミングを示す本発明及び従来方法のサンプリン
グタイミング図、第２図は信号（データ）取込回数とば
らつきとの関係を示す本発明及び従来方法のグラフであ
る。
Claims (1)
- 固体撮像装置のある画素からデータ読出信号により撮
像信号を読み出し、読み出した撮像信号をそのデータ読
出信号よりも周期の短かいサンプリングパルスによって
取り込み、以上の動作を各画素について繰り返えし、こ
のようにして取り込んだ各撮像信号に基づいて前記固体
撮像装置の良否を判定する固体撮像装置の試験方法にお
いて、前記サンプリングパルスとして前記撮像信号の読
出期間中に発生させた複数のサンプリングパルスを用い
、それらのサンプリングパルスにより前記各画素につい
て多点サンプリングを行ってその各画素からそれぞれ複
数の撮像信号を取り込むようにしたことを特徴とする固
体撮像装置の試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63212017A JPH0260392A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | 固体撮像装置の試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63212017A JPH0260392A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | 固体撮像装置の試験方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0260392A true JPH0260392A (ja) | 1990-02-28 |
Family
ID=16615499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63212017A Pending JPH0260392A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | 固体撮像装置の試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0260392A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010141924A (ja) * | 2010-03-04 | 2010-06-24 | Advantest Corp | 信号読出装置及び試験装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5970089A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-20 | Advantest Corp | 撮像装置試験器 |
| JPS6386976A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-18 | Nec Corp | 雑音除去回路 |
-
1988
- 1988-08-26 JP JP63212017A patent/JPH0260392A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5970089A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-20 | Advantest Corp | 撮像装置試験器 |
| JPS6386976A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-18 | Nec Corp | 雑音除去回路 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010141924A (ja) * | 2010-03-04 | 2010-06-24 | Advantest Corp | 信号読出装置及び試験装置 |
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