JPH0260837U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は第１図の要部構成説明図、第３図乃至第
５図は第１図の動作説明図、第６図に本半導体差
圧測定装置を自動校正出来るように構成する場合
の一システム例、第７図は従来より一般に使用さ
れている従来例の構成説明図である。 １……センサチツプ、１１……凹部、１２……
ダイアフラム、１３……半導体歪みゲージ、２…
…基板、２１……第１測定室、２２……貫通孔、
３……パイプ、４……ベース、５……ボデイ、５
１……第２測定室、５２……凹部、５３……連通
孔、６……接液ダイアフラム、６１……接液室、
６２……カバー、８１……内部空所、８２……圧
電ダイアフラム、８３……連結孔、８４……封入
液、９１……本半導体差圧測定装置、９２……圧
電ダイアフラム駆動部、９３……圧力変換部、９
４……制御部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体よりなるセンサチツプと、該センサチツ
   プに設けられセンサチツプにダイアフラムを形成
   する凹部と、前記ダイアフラムに設けられた半導
   体歪みゲージと、前記センサチツプに一面が固定
   され前記凹部と第１測定室を構成する基板と、該
   基板を貫通し前記第１測定室に連通する貫通孔と
   、前記基板の他面に一端が接続され前記貫通孔と
   連通し他端から一方の測定圧が導入されるパイプ
   と、該パイプが固定されるベースと、該ベースに
   一端が固定され該ベースと前記センサチツプと第
   ２測定室を構成するボデイと、該ボデイの他端に
   設けられた凹部と、前記ボデイに設けられ該凹部
   と接液室を構成し他方の測定圧を受圧する接液ダ
   イアフラムと、前記ボデイに設けられ前記第２測
   定室と前記接液室とを連通する連通孔と、前記ボ
   デイに設けられた内部空所、該内部空所を２個の
   室に分けるバイモルフ型の圧電ダイアフラムと、
   前記内部空所と前記第２測定室と前記接液室とを
   連結する連結孔と、前記内部空所と前記第２測定
   室と前記接液室と前記連通孔と前記連通孔とを満
   たす封入液とを具備してなる半導体差圧測定装置
   。