JPH026207U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の具体的一実施例の光マイクロ
測定干渉部を示す縦断面図、第２図および第３図
は本考案の実施例による測定結果を示す図表であ
る。 １……筐体、２……支持筒、３……マイクロレ
ンズ、４……セラミツクフエルール、５……偏波
面保存フアイバ、６……基板、７……偏光ビーム
スプリツタ、８……無偏光ビームスプリツタ、９
……１／４波長板、１０……偏光ビームスプリツ
タ、１１……偏光ビームスプリツタ、１２，１２
……受光素子、１６……シリンダ、１７……移動
円筒支持体、１８……直角プリズム、１９……触
針、２０……支持板、２１……コイルスプリング
、２２……カバー。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 測定端子内に投光光学素子と、受光素子と
   、投光光学素子の光軸方向に進退する触針と、投
   光光学素子からの投光を触針方向と受光素子方向
   へ２分割する無偏光ビームスプリツタと、触針と
   一体的に移動し２分割されて触針方向へ向う光を
   反射する直角プリズムと、直角プリズムから反射
   された光と前記２分割された光とを通す偏光ビー
   ムスプリツタを備え、被測定物の移動に伴い触針
   が変位し、その変位量を光の干渉を利用して測定
   することを特徴とした光マイクロメータ。 (2) 光源から導かれたコヒーレント光が光路長
   が不変な基準光と、被測定物の移動に伴い光路長
   が変化する測定光の二つに分け両者を円偏光と直
   線偏光にし干渉させ、干渉光の光強度を測定して
   変位量を検出することを特徴とする光マイクロメ
   ータ。