JPH0262553U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0262553U JPH0262553U JP1988141002U JP14100288U JPH0262553U JP H0262553 U JPH0262553 U JP H0262553U JP 1988141002 U JP1988141002 U JP 1988141002U JP 14100288 U JP14100288 U JP 14100288U JP H0262553 U JPH0262553 U JP H0262553U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- workpiece
- lamp
- processing chamber
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例である光処理装置の
概略説明図、第２図は、光拡散板を使用した場合
と使用しない場合の照度分布を比較データとして
示した図で、そのうち同図イは、光拡散板を使用
しない場合の照度分布を示す図、同図ロは、光拡
散板を使用した場合の照度分布を示す図である。 図中、１……ランプ、２……平板状ミラー、１
４……第一の処理室側壁、５……第二の処理室側
壁、Ａ……処理室のガスフロー領域、Ｂ……処理
室の処理領域、４……光拡散板、１２……光透過
板、１３……透光性多孔板、１５……ガス導入孔
、６……処理ステージ、Ｗ……被処理物としての
レジストが塗布された半導体ウエハ、９……排気
孔。
概略説明図、第２図は、光拡散板を使用した場合
と使用しない場合の照度分布を比較データとして
示した図で、そのうち同図イは、光拡散板を使用
しない場合の照度分布を示す図、同図ロは、光拡
散板を使用した場合の照度分布を示す図である。 図中、１……ランプ、２……平板状ミラー、１
４……第一の処理室側壁、５……第二の処理室側
壁、Ａ……処理室のガスフロー領域、Ｂ……処理
室の処理領域、４……光拡散板、１２……光透過
板、１３……透光性多孔板、１５……ガス導入孔
、６……処理ステージ、Ｗ……被処理物としての
レジストが塗布された半導体ウエハ、９……排気
孔。
Claims (1)
- 棒状のランプと、このランプからの光により処
理される被処理物が配置される処理室を有する光
処理装置において、前記ランプと被処理物の間に
光拡散板が被処理物を覆うように設けられたこと
を特徴とする光処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988141002U JPH0262553U (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988141002U JPH0262553U (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0262553U true JPH0262553U (ja) | 1990-05-10 |
Family
ID=31405682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988141002U Pending JPH0262553U (ja) | 1988-10-31 | 1988-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0262553U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6236666A (ja) * | 1985-08-10 | 1987-02-17 | Fujitsu Ltd | アツシング方法 |
| JPS63271933A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-09 | Tokyo Electron Ltd | アツシング方法 |
-
1988
- 1988-10-31 JP JP1988141002U patent/JPH0262553U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6236666A (ja) * | 1985-08-10 | 1987-02-17 | Fujitsu Ltd | アツシング方法 |
| JPS63271933A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-09 | Tokyo Electron Ltd | アツシング方法 |