JPH0263277A - 電荷転送撮像素子およびその駆動方法 - Google Patents
電荷転送撮像素子およびその駆動方法Info
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- JPH0263277A JPH0263277A JP63215538A JP21553888A JPH0263277A JP H0263277 A JPH0263277 A JP H0263277A JP 63215538 A JP63215538 A JP 63215538A JP 21553888 A JP21553888 A JP 21553888A JP H0263277 A JPH0263277 A JP H0263277A
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
- H10F39/12—Image sensors
- H10F39/15—Charge-coupled device [CCD] image sensors
- H10F39/153—Two-dimensional or three-dimensional array CCD image sensors
- H10F39/1534—Interline transfer
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D44/00—Charge transfer devices
- H10D44/40—Charge-coupled devices [CCD]
- H10D44/45—Charge-coupled devices [CCD] having field effect produced by insulated gate electrodes
- H10D44/452—Input structures
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電荷転送撮像素子、特にインターライン転送型
電荷転送撮像素子およびその駆動方法に関する。
電荷転送撮像素子およびその駆動方法に関する。
第５図は、インターライン転送型電荷転送撮像素子の一
例（特願昭５５−５１２７１および特願昭５５−１３０
５１７）を示すブロック図であり、光電変換素子（以下
フォトダイオードと記す）５０１、トランスファゲート
５０２、垂直レジスタ５０３、水平レジスタ５０４、電
荷検出部５０５を備えている。
例（特願昭５５−５１２７１および特願昭５５−１３０
５１７）を示すブロック図であり、光電変換素子（以下
フォトダイオードと記す）５０１、トランスファゲート
５０２、垂直レジスタ５０３、水平レジスタ５０４、電
荷検出部５０５を備えている。
第６図（ａ）〜（ｃ）は、第５図に示した撮像素子にお
けるフィールド蓄積モードによるインク−レース動作の
駆動例（公告昭６０−４６５９４＞を示す。
けるフィールド蓄積モードによるインク−レース動作の
駆動例（公告昭６０−４６５９４＞を示す。
同図の例では、隣り合う２個のフォトダイオードに対応
して４電極で１段が構成されている４相駆動の垂直レジ
スタを仮定し、また、トランスファゲート電極は垂直レ
ジスタの転送電極φｖ１およびφν３が兼ねているもの
とする。
して４電極で１段が構成されている４相駆動の垂直レジ
スタを仮定し、また、トランスファゲート電極は垂直レ
ジスタの転送電極φｖ１およびφν３が兼ねているもの
とする。
第６図（ａ）はφｖ１〜φ■４の各転送電極に印加する
駆動パルス波形、第６図（ｂ）および（ｃ）は第６図（
ａ）の駆動パルスによる素子の動作を示す模式図である
。
駆動パルス波形、第６図（ｂ）および（ｃ）は第６図（
ａ）の駆動パルスによる素子の動作を示す模式図である
。
第１フイールドでは、垂直ブランキング期間中の期間■
にφＶｌを■Ｈレベルにすることによって、フォトダイ
オード６０１，６０３に蓄積された信号電荷を対応する
垂直レジスタに読み出す。次に、期間■で前記信号電荷
を１／２段垂直転送しφＶ２１φｖ３に電極下に蓄積す
る。その後、期間■でφｖＳを■Ｈレベルにすることに
よりフォトダイオード６０２．６０４に蓄積されている
信号電荷を読み出して、それぞれフォトダイオード６０
１，６０３の信号電荷と混合し、前記混合電荷を第１フ
イールドの単位画素６０７，６０８の信号として出力す
る。
にφＶｌを■Ｈレベルにすることによって、フォトダイ
オード６０１，６０３に蓄積された信号電荷を対応する
垂直レジスタに読み出す。次に、期間■で前記信号電荷
を１／２段垂直転送しφＶ２１φｖ３に電極下に蓄積す
る。その後、期間■でφｖＳを■Ｈレベルにすることに
よりフォトダイオード６０２．６０４に蓄積されている
信号電荷を読み出して、それぞれフォトダイオード６０
１，６０３の信号電荷と混合し、前記混合電荷を第１フ
イールドの単位画素６０７，６０８の信号として出力す
る。
また、第２フイールドでは、期間■でφｖ３を■８レベ
ルにすることによってフォトダイオード６０２に蓄積さ
れている信号電荷を対応する垂直レジスタに読み出し、
期間■で１／２段垂直転送しφｖ４．φｖ１電極下に蓄
積する。次に期間■でφｖ１をＶＨレベルにすることに
よりフォトダイオード６０３に蓄積されている信号電荷
を読み出して、前記信号電荷と混合し、第２フイールド
の単位画素６０９の信号として出力する。以上のように
して、フィールド蓄積モードによる２：１インタ一レー
ス動作が実現できる。
ルにすることによってフォトダイオード６０２に蓄積さ
れている信号電荷を対応する垂直レジスタに読み出し、
期間■で１／２段垂直転送しφｖ４．φｖ１電極下に蓄
積する。次に期間■でφｖ１をＶＨレベルにすることに
よりフォトダイオード６０３に蓄積されている信号電荷
を読み出して、前記信号電荷と混合し、第２フイールド
の単位画素６０９の信号として出力する。以上のように
して、フィールド蓄積モードによる２：１インタ一レー
ス動作が実現できる。
第７図（ａ）、（ｂ）は、第５図に示した撮像素子を順
次走査動作（以下ノンインターレース動作と記す）させ
た例を示す。同図の例では、各フォトダイオードに対応
して３電極で１段が構成されている３相駆動の垂直レジ
スタを仮定し、また、トランスファゲート電極は垂直レ
ジスタの転送電極φｖ２が兼ねているものとする。
次走査動作（以下ノンインターレース動作と記す）させ
た例を示す。同図の例では、各フォトダイオードに対応
して３電極で１段が構成されている３相駆動の垂直レジ
スタを仮定し、また、トランスファゲート電極は垂直レ
ジスタの転送電極φｖ２が兼ねているものとする。
第７図（ａ）は、１フレームの期間にφＶ２１φｖ３の
各転送電極に印加する駆動パルス波形、第７図（ｂ）は
第７図（ａ）の駆動パルスによる素子の動作を示す模式
図である。
各転送電極に印加する駆動パルス波形、第７図（ｂ）は
第７図（ａ）の駆動パルスによる素子の動作を示す模式
図である。
垂直ブランキング期間中の期間■にφ９□をＶＨレベル
にすることによって、フォトダイオード７０１〜７０３
に蓄積された信号電荷をすべて同時に対応する垂直レジ
スタに読み出して、これらの電荷を単位画素の信号とし
て独立に出力する。
にすることによって、フォトダイオード７０１〜７０３
に蓄積された信号電荷をすべて同時に対応する垂直レジ
スタに読み出して、これらの電荷を単位画素の信号とし
て独立に出力する。
第６図（ａ）〜（ｃ）の例では、標準テレビジョン方式
に適合した２：１インタ一レース動作が可能であるが、
隣り合う２個のフォトダイオードに対応して垂直レジス
タ１段の転送電極が形成されているために、すべてのフ
ォトダイオードの信号電荷を同時に独立に出力すること
は不可能である。
に適合した２：１インタ一レース動作が可能であるが、
隣り合う２個のフォトダイオードに対応して垂直レジス
タ１段の転送電極が形成されているために、すべてのフ
ォトダイオードの信号電荷を同時に独立に出力すること
は不可能である。
一方、第７図（ａ）、（ｂ）の例では、各フォトダイオ
ードに対応して垂直レジスタ１段の転送電極が形成され
ており、すべてのフォトダイオードの信号電荷を同時に
独立に出力できるなめ、ノンインターレース動作による
高品質な再生画像を得ることができる。しかし、第６図
に示したような、隣り合う２個のフォトダイオードの信
号電荷を垂直レジスタ内で混合して単位画素の信号とし
て出力するインターレース動作を行なうことは不可能で
ある。
ードに対応して垂直レジスタ１段の転送電極が形成され
ており、すべてのフォトダイオードの信号電荷を同時に
独立に出力できるなめ、ノンインターレース動作による
高品質な再生画像を得ることができる。しかし、第６図
に示したような、隣り合う２個のフォトダイオードの信
号電荷を垂直レジスタ内で混合して単位画素の信号とし
て出力するインターレース動作を行なうことは不可能で
ある。
以上のように、従来の撮像素子では同一素子でインター
レース動作駆動とノンインターレース動作駆動を行なう
ことは不可能であるという欠点があった。
レース動作駆動とノンインターレース動作駆動を行なう
ことは不可能であるという欠点があった。
本発明の目的は、このような従来の欠点を除去した新し
い電荷転送撮像素子およびその駆動方法を提供すること
にある。
い電荷転送撮像素子およびその駆動方法を提供すること
にある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明によれば、半導体基板上に二次元的に配列された
複数個の光電変換素子と、該光電変換素子に蓄積された
信号電荷を並列に転送する垂直レジスタと、前記各光電
変換素子から垂直レジスタへ電荷を転送するトランスフ
ァゲートを少なくとも備えており、前記垂直レジスタに
は前記各光電変換素子に対応してＮ個（Ｎは３以上の整
数）の転送電極が形成され、かつ（２Ｎ−１）個おきの
転送電極が共通に接続されていることを特徴とする電荷
転送撮像素子が得られる。
複数個の光電変換素子と、該光電変換素子に蓄積された
信号電荷を並列に転送する垂直レジスタと、前記各光電
変換素子から垂直レジスタへ電荷を転送するトランスフ
ァゲートを少なくとも備えており、前記垂直レジスタに
は前記各光電変換素子に対応してＮ個（Ｎは３以上の整
数）の転送電極が形成され、かつ（２Ｎ−１）個おきの
転送電極が共通に接続されていることを特徴とする電荷
転送撮像素子が得られる。
さらに本発明によれば、前記の電荷転送撮像素子の駆動
方法において、１個の光電変換素子に対応するＮ電極で
１段が構成される駆動パルスを垂直レジスタの転送電極
に印加することを特徴とする電荷転送撮像素子の駆動方
法、ならびに前記の電荷転送撮像素子の駆動方法におい
て、垂直方向に隣り合う２個の光電変換素子に対応する
２Ｎ電極で１段が構成される駆動パルスを垂直レジスタ
の転送電極に印加することを特徴とする電荷転送撮像素
子の駆動方法が得られる。
方法において、１個の光電変換素子に対応するＮ電極で
１段が構成される駆動パルスを垂直レジスタの転送電極
に印加することを特徴とする電荷転送撮像素子の駆動方
法、ならびに前記の電荷転送撮像素子の駆動方法におい
て、垂直方向に隣り合う２個の光電変換素子に対応する
２Ｎ電極で１段が構成される駆動パルスを垂直レジスタ
の転送電極に印加することを特徴とする電荷転送撮像素
子の駆動方法が得られる。
本発明では、１個のフォトダイオードに対応してＮ個（
Ｎは３以上の整数）の転送電極が形成され、かつ（２Ｎ
−１）個おきの転送電極が共通に接続された垂直レジス
タを備えているため、１個のフォトダイオードに対応し
て１段を構成する駆動パルス、あるいは２個のフォトダ
イオードに対応して１段を構成する駆動パルスを印加す
ることによって、同一の撮像素子においてインターレー
スおよびノンインターレースの２種類の動作を実現する
ことが可能である。
Ｎは３以上の整数）の転送電極が形成され、かつ（２Ｎ
−１）個おきの転送電極が共通に接続された垂直レジス
タを備えているため、１個のフォトダイオードに対応し
て１段を構成する駆動パルス、あるいは２個のフォトダ
イオードに対応して１段を構成する駆動パルスを印加す
ることによって、同一の撮像素子においてインターレー
スおよびノンインターレースの２種類の動作を実現する
ことが可能である。
第１図は、本発明の一実施例を示す模式図である。
本素子の垂直レジスタ１０３では、各フォトダイオード
１０１に対応して３個の転送電極が形成されている。ま
た、トランスファゲート１０２の電極は垂直レジスタの
転送電極が兼ねている。転送電極はフォトダイオード２
個を繰り返しの単位として５個おきに共通に接続され、
駆動パルスを印加する６個の端子Ａ〜Ｆを備えている。
１０１に対応して３個の転送電極が形成されている。ま
た、トランスファゲート１０２の電極は垂直レジスタの
転送電極が兼ねている。転送電極はフォトダイオード２
個を繰り返しの単位として５個おきに共通に接続され、
駆動パルスを印加する６個の端子Ａ〜Ｆを備えている。
第２図は、第１図に示した撮像素子をノンインターレー
ス動作させる駆動方法の一実施例を示す模式図である。
ス動作させる駆動方法の一実施例を示す模式図である。
本実施例では、第１図における端子ＡおよびＤにφＶ１
、ＢおよびＥにφ９□、ＣおよびＦにφｓｊ３の駆動パ
ルスを印加する。すなわち、各フォトダイオードに対応
して３電極で１段が構成された３相駆動の垂直レジスタ
として機能し、その動作は第７図に示した例と同一であ
る。
、ＢおよびＥにφ９□、ＣおよびＦにφｓｊ３の駆動パ
ルスを印加する。すなわち、各フォトダイオードに対応
して３電極で１段が構成された３相駆動の垂直レジスタ
として機能し、その動作は第７図に示した例と同一であ
る。
第３図は、第１図に示した撮像素子をフィールド蓄積モ
ードによるインターレース動作の駆動例を示す。
ードによるインターレース動作の駆動例を示す。
同図の例では、第１図における端子ＡおよびＢにφＶ１
、ＣおよびＤにφＶ２、ＥおよびＦにφＶ３の駆動パル
スを印加する。すなわち、２個のフォトダイオードに対
応して３電極で１段が構成された３相駆動の垂直レジス
タとして機能する。
、ＣおよびＤにφＶ２、ＥおよびＦにφＶ３の駆動パル
スを印加する。すなわち、２個のフォトダイオードに対
応して３電極で１段が構成された３相駆動の垂直レジス
タとして機能する。
第３図（ａ）および（ｂ）は、それぞれ第１フイールド
、第２フイールドの垂直ブランキング期間における素子
の動作を示す模式図、第３図（Ｃ）および（ｄ）は駆動
パルス波形を表わす波形図である。
、第２フイールドの垂直ブランキング期間における素子
の動作を示す模式図、第３図（Ｃ）および（ｄ）は駆動
パルス波形を表わす波形図である。
第１フイールドでは、期間■にφＶｌをＶＨレベルにす
ることによって、フォトダイオード３０１．３０３に蓄
積された信号電荷を対応する垂直レジスタに読み出す。
ることによって、フォトダイオード３０１．３０３に蓄
積された信号電荷を対応する垂直レジスタに読み出す。
次に、期間■■で前記信号電荷を２／３段垂直転送しφ
Ｖ３電極下に蓄積する。その後、期間■でφＶ３をＶＨ
レベルにすることによりフォトダイオード３０２，３０
３に蓄積されている信号電荷を読み出して、それぞれフ
ォトダイオード３０１．３０３の信号電荷を混合し、前
記混合電荷を第１フイールドの単位画素３０７．３０８
の信号として出力する。また、第２フイールドでは、期
間■でφＶ３で■Ｈレベルにすることによってフォトダ
イオード３０２に蓄積されている信号電荷を読み出し、
期間■で１／３段垂直転送しφＶｌ電極下に蓄積する。
Ｖ３電極下に蓄積する。その後、期間■でφＶ３をＶＨ
レベルにすることによりフォトダイオード３０２，３０
３に蓄積されている信号電荷を読み出して、それぞれフ
ォトダイオード３０１．３０３の信号電荷を混合し、前
記混合電荷を第１フイールドの単位画素３０７．３０８
の信号として出力する。また、第２フイールドでは、期
間■でφＶ３で■Ｈレベルにすることによってフォトダ
イオード３０２に蓄積されている信号電荷を読み出し、
期間■で１／３段垂直転送しφＶｌ電極下に蓄積する。
次に期間■でφ９、を■Ｈレベルにすることによりフォ
トダイオード３０３に蓄積されている信号電荷を読み出
して、前記信号電荷と混合し、第２フイールドの単位画
素３０９の信号として出力する０以上のようにして、第
６図に示した従来例と同様にフィールド蓄積モードによ
る２：１インタ一レース動作が実現できる。
トダイオード３０３に蓄積されている信号電荷を読み出
して、前記信号電荷と混合し、第２フイールドの単位画
素３０９の信号として出力する０以上のようにして、第
６図に示した従来例と同様にフィールド蓄積モードによ
る２：１インタ一レース動作が実現できる。
第４図は、第１図に示した撮像素子を第３・図とは異な
るフィールド蓄積モードによるインターレース動作の駆
動例を示す、同図の例では、第１図における端子Ａ〜Ｆ
にφＶｌ〜φｖ６の駆動パルスを印加する。すなわち、
２個のフォトダイオードに対応して６電極で１段が構成
された６相駆動の垂直レジスタとして機能する。
るフィールド蓄積モードによるインターレース動作の駆
動例を示す、同図の例では、第１図における端子Ａ〜Ｆ
にφＶｌ〜φｖ６の駆動パルスを印加する。すなわち、
２個のフォトダイオードに対応して６電極で１段が構成
された６相駆動の垂直レジスタとして機能する。
第４図（ａ）および（ｂ）は、それぞれ第１フイールド
、第２フイールドの垂直ブランキング期間における素子
の動作を示す模式図、第４図（Ｃ）および（ｄ）は駆動
パルス波形を表わす波形図である。
、第２フイールドの垂直ブランキング期間における素子
の動作を示す模式図、第４図（Ｃ）および（ｄ）は駆動
パルス波形を表わす波形図である。
転送電極が蓄積領域のみでバリア領域を備えていない電
荷転送素子では、電荷転送中に隣り合う信号電荷を分離
するために２相分の転送電極がオフ状態となる期間があ
り、最大信号電荷量はこの状態で制限される。
荷転送素子では、電荷転送中に隣り合う信号電荷を分離
するために２相分の転送電極がオフ状態となる期間があ
り、最大信号電荷量はこの状態で制限される。
第３図の例では、２個のフォトダイオードに対応して１
段を構成する６個の電極に２電極毎に同相のパルスを印
加しているために、すべての電極長が同一と仮定すると
、１段あたりの２／６電極に蓄積できる電荷量で最大信
号量が規定される。
段を構成する６個の電極に２電極毎に同相のパルスを印
加しているために、すべての電極長が同一と仮定すると
、１段あたりの２／６電極に蓄積できる電荷量で最大信
号量が規定される。
一方、第４図の例では、２個のフォトダイオードに対応
して１段を構成する６個の電極にそれぞれ異なる相のパ
ルスを印加しており、１段あたりの４／６電極に蓄積で
きる電荷量で最大信号量が規定されるために、第３図の
例の２倍となる。
して１段を構成する６個の電極にそれぞれ異なる相のパ
ルスを印加しており、１段あたりの４／６電極に蓄積で
きる電荷量で最大信号量が規定されるために、第３図の
例の２倍となる。
第１フイールドでは、φｖ１〜φｖ４がオン状態になっ
ている期間■にφＶ２を■Ｈレベルにすることによって
、フォトダイオード４０１，４０３に蓄積された信号電
荷を対応する垂直レジスタに読み出す。
ている期間■にφＶ２を■Ｈレベルにすることによって
、フォトダイオード４０１，４０３に蓄積された信号電
荷を対応する垂直レジスタに読み出す。
次に、期間■で前記信号電荷を１／２段垂直転送しφｖ
４〜φｖ１電極下に蓄積する。その後、期間■でφＶ５
をＶＨレベルにすることによりフォトダイオード４０２
，４０４に蓄積されている信号電荷を読み出して、それ
ぞれフォトダイオード４０１．４０３の信号電荷と混合
し、前記混合電荷を第１フイールドの単位画素４０７，
４０８信号として出力する。
４〜φｖ１電極下に蓄積する。その後、期間■でφＶ５
をＶＨレベルにすることによりフォトダイオード４０２
，４０４に蓄積されている信号電荷を読み出して、それ
ぞれフォトダイオード４０１．４０３の信号電荷と混合
し、前記混合電荷を第１フイールドの単位画素４０７，
４０８信号として出力する。
また、第２フイールドでは、φＶ４〜φＶｌがオン状態
になっている期間■でφＶ、を■□レベルにすることに
よってフォトダイオード４０２，４０４に蓄積されてい
る信号電荷を読み出し、期間■で１／２段垂直転送しφ
ｖ１〜φｖ４電極下に蓄積する。次に期間■でφＶ１を
ＶＨレベルにすることによりフォトダイオード４０３に
蓄積されている信号電荷を読み出して前記信号電荷と混
合し、第２フイールドの単位画素４０９の信号として出
力する。
になっている期間■でφＶ、を■□レベルにすることに
よってフォトダイオード４０２，４０４に蓄積されてい
る信号電荷を読み出し、期間■で１／２段垂直転送しφ
ｖ１〜φｖ４電極下に蓄積する。次に期間■でφＶ１を
ＶＨレベルにすることによりフォトダイオード４０３に
蓄積されている信号電荷を読み出して前記信号電荷と混
合し、第２フイールドの単位画素４０９の信号として出
力する。
以上のようにして、本実施例においても第６図に示した
従来例と同様にフィールド蓄積モードによる２：１イン
タ一レース動作が実現できる。
従来例と同様にフィールド蓄積モードによる２：１イン
タ一レース動作が実現できる。
なお、ここで説明した実施例では１個のフォトダイオー
ドに対して３電極が形成されている例について述べたが
、４電極以上が形成されている場合にも本発明を適用で
きることは明らかである。
ドに対して３電極が形成されている例について述べたが
、４電極以上が形成されている場合にも本発明を適用で
きることは明らかである。
また、実施例で述べたフィールド蓄積モードによる２：
１インタ一レース動作だけではなく、フレーム蓄積モー
ドによる２：１インタ一レース動作も可能である。
１インタ一レース動作だけではなく、フレーム蓄積モー
ドによる２：１インタ一レース動作も可能である。
さらに、本実施例では、垂直レジスタの転送電極がトラ
ンスファゲート電極の機能を兼ねた例を示したが、トラ
ンスファゲート電極が独立した構成となっていても本発
明を適用できる。
ンスファゲート電極の機能を兼ねた例を示したが、トラ
ンスファゲート電極が独立した構成となっていても本発
明を適用できる。
以上説明したように、本発明によれば、１個のフォトダ
イオードに対応してＮ個（Ｎは３以上の整数）の転送電
極が形成され、かつ（２Ｎ−１）個おきの転送電極が共
通に接続された垂直レジスタを備えた電荷転送撮像素子
において、１個のフォトダイオードに対応して１段を構
成する駆動パルスを印加することによってノンインター
レース動作が、また２個のフォトダイオードに対応して
１段を構成する駆動パルスを印加することによってイン
ターレース動作が実現できる。すなわち、同一の撮像素
子にお））てノンインターレースとインターレースの２
種類の動作が可能となるという効果がある。
イオードに対応してＮ個（Ｎは３以上の整数）の転送電
極が形成され、かつ（２Ｎ−１）個おきの転送電極が共
通に接続された垂直レジスタを備えた電荷転送撮像素子
において、１個のフォトダイオードに対応して１段を構
成する駆動パルスを印加することによってノンインター
レース動作が、また２個のフォトダイオードに対応して
１段を構成する駆動パルスを印加することによってイン
ターレース動作が実現できる。すなわち、同一の撮像素
子にお））てノンインターレースとインターレースの２
種類の動作が可能となるという効果がある。
第１図は本発明によるインターライン転送型電荷転送撮
像素子の模式図、第２図は本発明によるノンインターレ
ース動作を示す模式図、第３図（ａ）〜（ｄ）は本発明
によるフィールド蓄積モードによるインターレース動作
を示す模式図および波形図、第４図（ａ）〜（ｄ）は本
発明による第３図とは異なうフィールド蓄積モードによ
るインターレース動作を示す模式図および波形図、第５
図は従来のインターライン転送型電荷転送撮像素子の模
式図、第６図（ａ）〜（ｃ）は従来素子におけるフィー
ルド蓄積モードによるインターレース動作を示す波形図
および模式図、第７図（ａ）。 （ｂ）は従来素子におけるノンインターレース動作を示
す波形図および模式図である。 １０１．２０１〜２０４，３０１〜３０４゜４０１〜４
０４，５０１，６０１〜６０４，７０１〜７０３・・・
フォトダイオード、１０２，２０５．３０５，４０５，
５０２，６０５，７０４・・・トランスファゲート、１
０３，２０６，３０６゜４０６．５０３，６０６，７０
５・・・垂直レジスタ、３０７、 ３０８． ４０７．
４０８． ６０７． ６０８・・・第１フイールドの
単位画素、３０９．４０９６０９・・・第２フイールド
の単位画素、５０４・・・水平レジスタ、５０５・・電
荷検出部。
像素子の模式図、第２図は本発明によるノンインターレ
ース動作を示す模式図、第３図（ａ）〜（ｄ）は本発明
によるフィールド蓄積モードによるインターレース動作
を示す模式図および波形図、第４図（ａ）〜（ｄ）は本
発明による第３図とは異なうフィールド蓄積モードによ
るインターレース動作を示す模式図および波形図、第５
図は従来のインターライン転送型電荷転送撮像素子の模
式図、第６図（ａ）〜（ｃ）は従来素子におけるフィー
ルド蓄積モードによるインターレース動作を示す波形図
および模式図、第７図（ａ）。 （ｂ）は従来素子におけるノンインターレース動作を示
す波形図および模式図である。 １０１．２０１〜２０４，３０１〜３０４゜４０１〜４
０４，５０１，６０１〜６０４，７０１〜７０３・・・
フォトダイオード、１０２，２０５．３０５，４０５，
５０２，６０５，７０４・・・トランスファゲート、１
０３，２０６，３０６゜４０６．５０３，６０６，７０
５・・・垂直レジスタ、３０７、 ３０８． ４０７．
４０８． ６０７． ６０８・・・第１フイールドの
単位画素、３０９．４０９６０９・・・第２フイールド
の単位画素、５０４・・・水平レジスタ、５０５・・電
荷検出部。
Claims (3)
- （１）半導体基板上に二次元的に配列された複数個の光
電変換素子と、該光電変換素子に蓄積された信号電荷を
並列に転送する垂直レジスタと、前記各光電変換素子か
ら垂直レジスタへ電荷を転送するトランスファゲートを
少なくとも備えており、前記垂直レジスタには前記各光
電変換素子に対応してＮ個（Ｎは３以上の整数）の転送
電極が形成され、かつ（２Ｎ−１）個おきの転送電極が
共通に接続されていることを特徴とする電荷転送撮像素
子。 - （２）１個の光電変換素子に対応するＮ電極で１段が構
成される駆動パルスを垂直レジスタの転送電極に印加す
ることを特徴とする請求項（１）記載の電荷転送撮像素
子の駆動方法。 - （３）垂直方向に隣り合う２個の光電変換素子に対応す
る２Ｎ電極で１段が構成される駆動パルスを垂直レジス
タの転送電極に印加することを特徴とする請求項（１）
記載の電荷転送撮像素子の駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63215538A JP2658247B2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 電荷転送撮像素子およびその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63215538A JP2658247B2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 電荷転送撮像素子およびその駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0263277A true JPH0263277A (ja) | 1990-03-02 |
| JP2658247B2 JP2658247B2 (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=16674087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63215538A Expired - Fee Related JP2658247B2 (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 | 電荷転送撮像素子およびその駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2658247B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002354345A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-06 | Sony Corp | 固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法 |
| US7038723B1 (en) | 1999-04-26 | 2006-05-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Solid state imaging device, method for driving the same and camera using the same |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP63215538A patent/JP2658247B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7038723B1 (en) | 1999-04-26 | 2006-05-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Solid state imaging device, method for driving the same and camera using the same |
| JP2002354345A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-06 | Sony Corp | 固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2658247B2 (ja) | 1997-09-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |