JPH026332A - 酸化インジウム―酸化スズ粉末の製造方法 - Google Patents
酸化インジウム―酸化スズ粉末の製造方法Info
- Publication number
- JPH026332A JPH026332A JP63236294A JP23629488A JPH026332A JP H026332 A JPH026332 A JP H026332A JP 63236294 A JP63236294 A JP 63236294A JP 23629488 A JP23629488 A JP 23629488A JP H026332 A JPH026332 A JP H026332A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ito
- powder
- indium
- tin
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Conductive Materials (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は酸化インジウム−酸化スズ（以下、ＩＴＯとい
う）粉末の製造方法に関し、さらに詳しくは均一・微細
な一次粒子を有するＩＴＯ粉末の製造方法に関するもの
である。
う）粉末の製造方法に関し、さらに詳しくは均一・微細
な一次粒子を有するＩＴＯ粉末の製造方法に関するもの
である。
本発明は、スパッタリング法により透明導電性膜を作成
するときに用いるＩＴＯターゲットの原料として、また
塗イ「法により透明導電性膜を作成する時に用いるＩＴ
Ｏ塗料の原料として、極めて適したＩＴＯ粉末の製造方
法を提供する乙のである。
するときに用いるＩＴＯターゲットの原料として、また
塗イ「法により透明導電性膜を作成する時に用いるＩＴ
Ｏ塗料の原料として、極めて適したＩＴＯ粉末の製造方
法を提供する乙のである。
近年、太陽電池や液晶デイスプレィの透明型（−やタッ
チパネル等に用いる透明導電性膜としてＩＴＯ薄膜の需
要か急増している。これらのＩＴＯ薄膜は主にＩ丁Ｏタ
ーゲットからスパッタリング法によってガラスやＰＥＴ
フィルム上に形成されている。
チパネル等に用いる透明導電性膜としてＩＴＯ薄膜の需
要か急増している。これらのＩＴＯ薄膜は主にＩ丁Ｏタ
ーゲットからスパッタリング法によってガラスやＰＥＴ
フィルム上に形成されている。
従来、ＩＴＯターゲットは、
（１）インジウムとスズの各々の水酸化物を仮焼後混合
して得たＩＴＯ粉末 （２）共沈法などで調製したインジウムとスズの混合水
酸化物を仮焼して１ｑたＩＴＯ粉末（特開昭６２−７６
２７号公報） （３）インジウムとスズの混合有機酸塩を熱分解して１
ｑだＩＴＯ粉末（特開昭６０−１８６４１６号公報） へどを加圧成形後、焼成することにより作製されている
。しかしながら、いずれの方法でも得られるＩＴＯ粉末
は一次粒子が０．１μｍ程度てあり、これらの１ＴＯ粉
末を用いて作製したＩＴｏターゲツｌへは、焼結密度が
理論密度の６５％程度（〜４．６ ’Ｊ／ｃｔｔｌ）
シか達成されず非常に割れ易いものとなっていた。この
ように強度の低いターゲットはスパッタ時に割れを生じ
易く、薄膜製造の連続運転において重大な支障をきたし
ていた。
して得たＩＴＯ粉末 （２）共沈法などで調製したインジウムとスズの混合水
酸化物を仮焼して１ｑたＩＴＯ粉末（特開昭６２−７６
２７号公報） （３）インジウムとスズの混合有機酸塩を熱分解して１
ｑだＩＴＯ粉末（特開昭６０−１８６４１６号公報） へどを加圧成形後、焼成することにより作製されている
。しかしながら、いずれの方法でも得られるＩＴＯ粉末
は一次粒子が０．１μｍ程度てあり、これらの１ＴＯ粉
末を用いて作製したＩＴｏターゲツｌへは、焼結密度が
理論密度の６５％程度（〜４．６ ’Ｊ／ｃｔｔｌ）
シか達成されず非常に割れ易いものとなっていた。この
ように強度の低いターゲットはスパッタ時に割れを生じ
易く、薄膜製造の連続運転において重大な支障をきたし
ていた。
また、これらのＩＴＯ粉末を塗布することによりＩＴＯ
ｊ９膜を形成することもできる。しかし従来のＩＴＯ粉
末ではＩＴＯ粒子が微細でないため、特に透明性にａ５
いて不十分な薄膜しか得られなかった。
ｊ９膜を形成することもできる。しかし従来のＩＴＯ粉
末ではＩＴＯ粒子が微細でないため、特に透明性にａ５
いて不十分な薄膜しか得られなかった。
（発明か解決しようとする課題）
本発明の目的は、極めて焼結密度が高く機械的強度の大
きいＩＴＯ焼結体の形成が可能であり、なおかつ塗イ５
することによって極めて透明性に優れたＲ ｔＦＪを形
成し１昇る均一・微細な一次粒子からなるＩＴＯ粉末の
製造方法を提供するものである。
きいＩＴＯ焼結体の形成が可能であり、なおかつ塗イ５
することによって極めて透明性に優れたＲ ｔＦＪを形
成し１昇る均一・微細な一次粒子からなるＩＴＯ粉末の
製造方法を提供するものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明者らは均一・微細な一次粒径を有する１丁０ ）
１６＞末の製造に関して鋭意検討を行った結末、インジ
ウムとスズの混合水酸化物を有機溶媒中に分散して共沸
脱水した後、乾燥後仮焼することにより極めて均一で微
細なＩＴＯ粉末がられることを児い出し、本発明を完成
するに至ったものである。
１６＞末の製造に関して鋭意検討を行った結末、インジ
ウムとスズの混合水酸化物を有機溶媒中に分散して共沸
脱水した後、乾燥後仮焼することにより極めて均一で微
細なＩＴＯ粉末がられることを児い出し、本発明を完成
するに至ったものである。
当該粉末からは極めて焼結密度の高い焼結体を１ｑるこ
とが出来、加えて該粉末を粉砕して１ｑられた粉末塗料
からは極めて透明性に優れた塗イ５膜が形成可能である
。
とが出来、加えて該粉末を粉砕して１ｑられた粉末塗料
からは極めて透明性に優れた塗イ５膜が形成可能である
。
本発明において、出発物質として用いるインジウムとス
ズの混合水酸化物の制限は特にないが、１１−０ターゲ
ツ１〜並びにＩＴＯ塗おｌの原料となる粉末を得るため
には均一組成となっていることが望ましい。このような
混合水酸化物は例えば、硝酸インジウム、５Ａｍインジ
ウムあるいは塩化インジウムなどの水溶性インジウム塩
と硝酸スズ、硫酸スズあるいは塩化スズなどの水溶性ス
ズ塩の混合溶液に沈澱剤を添加し、混合水酸化物を共沈
させ、これを炉別することにより得ることができる。こ
のとき、添加する沈澱剤としては水酸化物沈澱が得られ
るものであれば如何なるものでも良いが、アン［ニアの
様に金属元素を含まないものを用いることが好ましい。
ズの混合水酸化物の制限は特にないが、１１−０ターゲ
ツ１〜並びにＩＴＯ塗おｌの原料となる粉末を得るため
には均一組成となっていることが望ましい。このような
混合水酸化物は例えば、硝酸インジウム、５Ａｍインジ
ウムあるいは塩化インジウムなどの水溶性インジウム塩
と硝酸スズ、硫酸スズあるいは塩化スズなどの水溶性ス
ズ塩の混合溶液に沈澱剤を添加し、混合水酸化物を共沈
させ、これを炉別することにより得ることができる。こ
のとき、添加する沈澱剤としては水酸化物沈澱が得られ
るものであれば如何なるものでも良いが、アン［ニアの
様に金属元素を含まないものを用いることが好ましい。
また、比抵抗の低いＩＴＯ粉末を得るためには、混合水
酸化物中のインジウムに対するスズの割合を３〜２５モ
ル％とすることが好ましく、ざらに好ましくは５〜１５
シル％であることが望ましい。本発明は、以上の方法な
どで得られるインジウムとスズの混合水酸化物を有機溶
媒中に分散し、該混合溶液を蒸溜して水酸化物の脱水を
行なうが、この操作によりア［ルノ７ス状の酸化物水和
物が得られる。このとき、ターゲラ１〜用原料として用
いる場合など焼結体を製造する場合においては蒸留は溶
液中の水が完全に脱水するまで行なう必要はない。しか
し、ＩＴＯ塗料用の原料粉末として用いる場合など特に
微細な粉末が必要な場合には、蒸留は溶液中の水ができ
るだけ完全に脱水するまで行なうことが好ましい。
酸化物中のインジウムに対するスズの割合を３〜２５モ
ル％とすることが好ましく、ざらに好ましくは５〜１５
シル％であることが望ましい。本発明は、以上の方法な
どで得られるインジウムとスズの混合水酸化物を有機溶
媒中に分散し、該混合溶液を蒸溜して水酸化物の脱水を
行なうが、この操作によりア［ルノ７ス状の酸化物水和
物が得られる。このとき、ターゲラ１〜用原料として用
いる場合など焼結体を製造する場合においては蒸留は溶
液中の水が完全に脱水するまで行なう必要はない。しか
し、ＩＴＯ塗料用の原料粉末として用いる場合など特に
微細な粉末が必要な場合には、蒸留は溶液中の水ができ
るだけ完全に脱水するまで行なうことが好ましい。
蒸溜の際に用いられる有機溶媒としては、水と共沸脱水
できるものであれば良く、ベンピン。
できるものであれば良く、ベンピン。
１〜ルＴン、キシレン、炭素数１０以下のアルコール、
安息香酸エヂルの如き有機酸ニスデルを挙げることがで
き、これらの１種または２種以上を使用することが出来
る。このときの蒸溜温度は通常６０’Ｃ以上溶媒の沸点
までの範囲で行なう。
安息香酸エヂルの如き有機酸ニスデルを挙げることがで
き、これらの１種または２種以上を使用することが出来
る。このときの蒸溜温度は通常６０’Ｃ以上溶媒の沸点
までの範囲で行なう。
特に塗料用原料粉末として使用する場合には溶媒の沸点
まで蒸留を行なうことが好ましい。
まで蒸留を行なうことが好ましい。
１ｑられた酸化物水和物は枦取、スプレードライなどの
方法で回収することが出来る。
方法で回収することが出来る。
次に、共沸脱水により得られた酸化物水和物を乾燥する
が、この乾燥は５０℃から１５０℃の範囲で行うことか
できる。またこのときに減圧下で行えば効率がよい。
が、この乾燥は５０℃から１５０℃の範囲で行うことか
できる。またこのときに減圧下で行えば効率がよい。
乾燥後の仮焼は温度が高い場合には、１ｑられるＩＴＯ
粉末が凝集してしまうおそれがあるので、３５０〜８０
０ ’Ｃで行なうことが好ましく、さらに好ましい仮焼
温度は４００〜６００°Ｃである。
粉末が凝集してしまうおそれがあるので、３５０〜８０
０ ’Ｃで行なうことが好ましく、さらに好ましい仮焼
温度は４００〜６００°Ｃである。
以上のように得られたＩＴＯ粉末をＩ−「０ターゲツト
用原料として用いる場合、そのままでも用いることが出
来るか、ざらに焼結密度の高い焼結体を得るためには、
この粉末をボールミル等一般的な方法で粉砕して用いる
ことができる。
用原料として用いる場合、そのままでも用いることが出
来るか、ざらに焼結密度の高い焼結体を得るためには、
この粉末をボールミル等一般的な方法で粉砕して用いる
ことができる。
またＩＴＯ塗利の原料として用いる場合には、ペイント
ン１−力等の湿式粉砕を行なうことにより溶媒中に分散
して用いることかでさる。
ン１−力等の湿式粉砕を行なうことにより溶媒中に分散
して用いることかでさる。
以下、本発明を実施例に基づき説明するか、本発明はこ
れらに何ら限定されるものではない。
れらに何ら限定されるものではない。
第１図に本発明を実施するためのフ「」−ブ！・−トの
一例を示し、本実施例はこれに基づき説明リ−る。
一例を示し、本実施例はこれに基づき説明リ−る。
実施例１
６０％硝酸水溶液に金属インジウムを）ｄ解し１．０
ｍｏｌ＃！となるように調製したものに、硫酸第一スズ
を溶解し、インジウムとスズの混合水溶液（１）とした
。該水溶液（１）はインジウムに対り−るスズの割合が
１０−［ル％となるようにした。
ｍｏｌ＃！となるように調製したものに、硫酸第一スズ
を溶解し、インジウムとスズの混合水溶液（１）とした
。該水溶液（１）はインジウムに対り−るスズの割合が
１０−［ル％となるようにした。
かくはん下の混合水溶液（１）に沈澱剤（２）として１
４％アンモニア水をｐＨ６となるまで滴下し、インジウ
ムとスズの混合水酸化物沈ｖｉ（３）をｊ″１だ。
４％アンモニア水をｐＨ６となるまで滴下し、インジウ
ムとスズの混合水酸化物沈ｖｉ（３）をｊ″１だ。
該含水水酸化物沈澱２００ ｇをデカンテーション（４
）により分離し、これを約４１のｎ−ブタノールにゾル
状に分散（５）シた後、常圧下、１ノ［１然蒸溜（６）
シた。水とブタノールの共沸中は溶液の温度は９２°Ｃ
で必るか、脱水の進行に伴い液温は徐々に上昇し１０５
°Ｃとなったところで蒸６）を中止し放冷した。
）により分離し、これを約４１のｎ−ブタノールにゾル
状に分散（５）シた後、常圧下、１ノ［１然蒸溜（６）
シた。水とブタノールの共沸中は溶液の温度は９２°Ｃ
で必るか、脱水の進行に伴い液温は徐々に上昇し１０５
°Ｃとなったところで蒸６）を中止し放冷した。
炉別によりアーしルファス状の酸化物水和物を分離し、
これを減圧下９０〜１００℃の温度で乾燥した。乾燥後
５００ ’Ｃで仮焼（７）シ、ボールミルで２０時間解
砕することによりＩＴＯ粉末（８）を１−７だ。
これを減圧下９０〜１００℃の温度で乾燥した。乾燥後
５００ ’Ｃで仮焼（７）シ、ボールミルで２０時間解
砕することによりＩＴＯ粉末（８）を１−７だ。
この粉末をＳＥＭで１ｍしたところ、−次粒径は０．０
５μｍであった。
５μｍであった。
さらにこの粉末をＣＩＰ圧２ｔｏｎ／ｃｎでペレット成
形し、１３００℃で焼成したところ、焼結密度６、０
ｇ／ ｃＩｌｌのＩＴＯペレットを得ることが出来た。
形し、１３００℃で焼成したところ、焼結密度６、０
ｇ／ ｃＩｌｌのＩＴＯペレットを得ることが出来た。
実施例２
硫酸第一スズのかわりに塩化第一スズを用いてｎ合水溶
液を作製した以外は実施例１と同様の方法でＩＴＯ粉末
を１ｑだ。
液を作製した以外は実施例１と同様の方法でＩＴＯ粉末
を１ｑだ。
この粉末をＳＥＸで観察したところ、−次粒径は０．０
５μｍであった。
５μｍであった。
さらにこの粉末をＣＩＰ圧２ｔＯｎ／ＣＩｉでペレット
成形し、１３００°Ｃで焼成したところ、焼結密度５．
５’、ｊ／ｃＩ１１のＩＴＯペレットを得ることが出来
た。
成形し、１３００°Ｃで焼成したところ、焼結密度５．
５’、ｊ／ｃＩ１１のＩＴＯペレットを得ることが出来
た。
実施例３
硫酸第一スズのかわりに塩化第二スズを用いて混合水溶
液を作製した以外は実施例１と同様の方法でＩＴＯ粉末
をｊｑた。
液を作製した以外は実施例１と同様の方法でＩＴＯ粉末
をｊｑた。
この粉末をＳＥＭで観察したところ、−次粒径は０．０
５μｍであった。
５μｍであった。
さらにこの粉末をＣＩＰ圧２ｔＯｎ／ｃ屑でペレット成
形し、１３００°Ｃで焼成したところ、焼結密度６．０
ｇ／ｃＩ！１のＩＴＯペレｙ ｌ〜を１昇ることかでき
ｌこ 。
形し、１３００°Ｃで焼成したところ、焼結密度６．０
ｇ／ｃＩ！１のＩＴＯペレｙ ｌ〜を１昇ることかでき
ｌこ 。
実施例４
イｊＵＭ溶媒として、イソアミルアルコールを用いた以
外は実施例１と同様の方法でＩＴＯ粉末を得た。この粉
末をＳＥＭで観察したところ、−次粒径は０．０５μｍ
であった。
外は実施例１と同様の方法でＩＴＯ粉末を得た。この粉
末をＳＥＭで観察したところ、−次粒径は０．０５μｍ
であった。
さらにこの粉末をＣＩＰ圧２ｔＯｎ／ｃｍでペレット成
形し、１３００’Ｃで焼成したところ、焼結密度５．７
９／ｃｆ１１の１１−〇ペレットを）！Ｉることが出来
Ｉこ 。
形し、１３００’Ｃで焼成したところ、焼結密度５．７
９／ｃｆ１１の１１−〇ペレットを）！Ｉることが出来
Ｉこ 。
比較例１
実施例１と同じ方法で得たインジウムとスズの混合水酸
化物（３）を、ｆＪ機溶媒中に分散・共沸脱水処理する
（５Ｈ６）の工程を行うことなく、乾燥後５００℃で仮
焼（７）シボールミルで２０時間解扮することにＪ、す
ＩＴＯ粉末を１ニアだ。
化物（３）を、ｆＪ機溶媒中に分散・共沸脱水処理する
（５Ｈ６）の工程を行うことなく、乾燥後５００℃で仮
焼（７）シボールミルで２０時間解扮することにＪ、す
ＩＴＯ粉末を１ニアだ。
この粉末をＳＥＭで観察したところ、−次粒径は０．１
〜０．２μ汎であった。
〜０．２μ汎であった。
さらにこの粉末を実施例１と同様にＣＩ Ｐ圧２ｔｏｎ
／ｃｍてペレツ１〜成形し、１３００℃で焼成したとこ
ろ、密度が４．０！７／ｃｍのＩＴＯペレツ１〜を得た
。
／ｃｍてペレツ１〜成形し、１３００℃で焼成したとこ
ろ、密度が４．０！７／ｃｍのＩＴＯペレツ１〜を得た
。
実施例５
共沸脱水を液温かｎ−ブタノールの沸点となるまで行な
った以外は実施例１と同様の方法でＩＴＯ粉末を得た。
った以外は実施例１と同様の方法でＩＴＯ粉末を得た。
この粉末を溶媒にメチル−［ブルグ′！ヘン、メジアに
ジルコニアビーズをもちいてペイン１〜シ１−力により
３０時時間式粉砕を行ない分散させ、ＩＴｏ扮末を得た
。これを用いてＰＥＴフィルム上に塗イ［法により２μ
ｍのＩＴＯ薄膜を作製し、７００ｎｍでの光透過率を測
定したところ９５％の餡を示した。
ジルコニアビーズをもちいてペイン１〜シ１−力により
３０時時間式粉砕を行ない分散させ、ＩＴｏ扮末を得た
。これを用いてＰＥＴフィルム上に塗イ［法により２μ
ｍのＩＴＯ薄膜を作製し、７００ｎｍでの光透過率を測
定したところ９５％の餡を示した。
比較例２
実施例１と同じ方法で１ｑたインジウムとスズの混合水
酸化物（３）を、有機溶媒中に分散・共沸脱水処理する
（５）（６）の工程を行うことなく、乾燥後５００’Ｃ
″Ｃ仮焼（７）シた以外は実施例４と同様にＩＴＯ塗料
を１りた。これを用いてＰＥＴフィルム−Ｌに１イｂ法
により２μｍの１丁ＯＲ膜を作製し、７００ｎｍでの光
透過率を測定したところ６０％の１直を示した。
酸化物（３）を、有機溶媒中に分散・共沸脱水処理する
（５）（６）の工程を行うことなく、乾燥後５００’Ｃ
″Ｃ仮焼（７）シた以外は実施例４と同様にＩＴＯ塗料
を１りた。これを用いてＰＥＴフィルム−Ｌに１イｂ法
により２μｍの１丁ＯＲ膜を作製し、７００ｎｍでの光
透過率を測定したところ６０％の１直を示した。
（発明の効果）
以上述べた通り、本発明によれば一次粒子か均一・微■
１なＩＴＯ粉末を１ｑることかできるので、このＩＴＯ
粉末を用いれば焼結密度の高い焼結体を得ることができ
る。従って、これによりスパッタ時に割れか発生し難く
、連続運転に耐え１！：するＩＴＯターゲツ１〜か１ｑ
られる。またこのＩ−「０粉末を用いれば、例れた透明
性を右り−るＩＴＯ塗料を得ることができる。
１なＩＴＯ粉末を１ｑることかできるので、このＩＴＯ
粉末を用いれば焼結密度の高い焼結体を得ることができ
る。従って、これによりスパッタ時に割れか発生し難く
、連続運転に耐え１！：するＩＴＯターゲツ１〜か１ｑ
られる。またこのＩ−「０粉末を用いれば、例れた透明
性を右り−るＩＴＯ塗料を得ることができる。
第１図は本発明を実施するためのフ［ｌ−チＶ−トの１
例を示す。 １・・・インジウムとスズの混合水溶液２・・・沈澱剤 ３・・・インジウムとスズの混合水酸化物沈澱４・・・
デカンテーション ５・・・有機溶媒への分散 ６・・・共沸蒸留 ７・・・仮焼 ８・・・ＩＴＯ粉末 第１ＥＩ デカンテーション（４） 有機溶媒に分散（５）
例を示す。 １・・・インジウムとスズの混合水溶液２・・・沈澱剤 ３・・・インジウムとスズの混合水酸化物沈澱４・・・
デカンテーション ５・・・有機溶媒への分散 ６・・・共沸蒸留 ７・・・仮焼 ８・・・ＩＴＯ粉末 第１ＥＩ デカンテーション（４） 有機溶媒に分散（５）
Claims (1)
- （１）インジウムとスズの混合水酸化物を有機溶媒中に
分散させ、次いで該混合溶液を共沸脱水した後、乾燥・
仮焼することを特徴とする酸化インジウム−酸化スズ粉
末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63236294A JP2679008B2 (ja) | 1987-11-26 | 1988-09-22 | 酸化インジウム―酸化スズ粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-298750 | 1987-11-26 | ||
| JP29875087 | 1987-11-26 | ||
| JP63236294A JP2679008B2 (ja) | 1987-11-26 | 1988-09-22 | 酸化インジウム―酸化スズ粉末の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026332A true JPH026332A (ja) | 1990-01-10 |
| JP2679008B2 JP2679008B2 (ja) | 1997-11-19 |
Family
ID=26532601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63236294A Expired - Lifetime JP2679008B2 (ja) | 1987-11-26 | 1988-09-22 | 酸化インジウム―酸化スズ粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2679008B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03218924A (ja) * | 1989-02-28 | 1991-09-26 | Tosoh Corp | 酸化物粉末及びその製造方法 |
| EP0921099A3 (en) * | 1997-12-02 | 2000-01-05 | MITSUI MINING & SMELTING CO., LTD. | ITO fine powder and method for preparing the same |
| JP2001261336A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-26 | Fuji Titan Kogyo Kk | スズ含有酸化インジウム微粒子粉体およびその製造方法 |
| CN108640674A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-10-12 | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 | 一种恒温恒湿快速干燥ito靶材坯体的方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004123403A (ja) | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 結晶性ｉｔｏ分散液の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS627627A (ja) * | 1985-07-04 | 1987-01-14 | Showa Denko Kk | 酸化インジウム−酸化錫粉末の製造法 |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP63236294A patent/JP2679008B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS627627A (ja) * | 1985-07-04 | 1987-01-14 | Showa Denko Kk | 酸化インジウム−酸化錫粉末の製造法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03218924A (ja) * | 1989-02-28 | 1991-09-26 | Tosoh Corp | 酸化物粉末及びその製造方法 |
| EP0921099A3 (en) * | 1997-12-02 | 2000-01-05 | MITSUI MINING & SMELTING CO., LTD. | ITO fine powder and method for preparing the same |
| US6096285A (en) * | 1997-12-02 | 2000-08-01 | Mitsui Mining And Smelting Co., Ltd. | Indium tin oxide fine powder and method for preparing the same |
| JP2001261336A (ja) * | 2000-03-22 | 2001-09-26 | Fuji Titan Kogyo Kk | スズ含有酸化インジウム微粒子粉体およびその製造方法 |
| CN108640674A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-10-12 | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司 | 一种恒温恒湿快速干燥ito靶材坯体的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2679008B2 (ja) | 1997-11-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110203969A (zh) | 一种高分散四方相纳米氧化锆及其制备方法 | |
| CN111377737B (zh) | 四方晶相纳米掺杂氧化锆陶瓷粉材料及其制备方法 | |
| JPS61275108A (ja) | 誘電体粉末の製造方法 | |
| CN102452684B (zh) | 自调控溶剂热一步合成单分散钛酸钡纳米晶的方法 | |
| CN103449503B (zh) | 一种纳米锌铝尖晶石的制备方法 | |
| CN102838348A (zh) | 一种钇锆纳米陶瓷粉体及其制备方法 | |
| CN104477978A (zh) | 一种制备钙钛矿纳米粉体的方法 | |
| CN104894636B (zh) | 八钛酸钾晶须的制备方法 | |
| CN101597078B (zh) | 一种片状α-Al2O3颗粒粉体的制备方法 | |
| CN113461051B (zh) | 一种纳米氧化锆粉体的制备方法 | |
| JPH026332A (ja) | 酸化インジウム―酸化スズ粉末の製造方法 | |
| CN103318949A (zh) | 一种氧化铟锡纳米颗粒粉体的低温固相制备方法 | |
| JPH0346407B2 (ja) | ||
| JPS5939366B2 (ja) | 酸化ジルコニウム微粉体の製造法 | |
| CN102557670A (zh) | 氧化铝氧化钛复合纳米粉体的制备方法 | |
| JPH01290527A (ja) | 透明導電性顔料及びその製造方法 | |
| CN110724254B (zh) | 一种棒状无定型/锐钛矿型TiO2复合催化剂的制备方法及应用 | |
| JP2805202B2 (ja) | 酸化チタン微粉体の製造方法 | |
| CN101269973B (zh) | 一种合成纳米级氧化物陶瓷粉体的方法 | |
| JP3878867B2 (ja) | インジウム水酸化物及び酸化物 | |
| JPS6235970B2 (ja) | ||
| CN102583519A (zh) | 一种钛酸锌基微纳米晶粉体的制备方法 | |
| CN104211112B (zh) | 一种粒度均匀的微纳米TiO2球形颗粒、制备方法及其用途 | |
| Garcia et al. | 3YTZP-Al2O3 powders synthesized by the coprecipitation route | |
| JPS61215218A (ja) | 機能性酸化物粉体の製造法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |