JPH0263540U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の１実施例の要部断面図、第
２図は、同装置の駆動部を示す斜視図、第３図は
、本考案装置の作動を示す説明図、第４図は、カ
セツトからウエハを取り出す手段を示す概略図、
である。 １…ウエハ、２…オリエンテーシヨン・フラツ
ト、３…カセツト、４…リフター、５…搬送用ク
リツプ、６…カセツト、７…面板、８…側板、９
…張出し部、１０…受座、１１…カセツト座板、
１２…位置決め当り、１３…軸受、１５…レバー
、１６…ストツパー、１７，１８…ピン、１９…
スプリング、２１…カムローラー、２２…ベース
板、２４…ガイド板、２５…第１昇降板、２７…
ブラケツト、２８…第１エアシリンダ、３０…カ
ム、３１…第２昇降板、３２…第２エアシリンダ
、３４…軸受板、３５…主軸、３６…スリーブ、
３７…環状ナツト、３８…ピン、４１…中間軸、
４５…モーター。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一対の側板に対向して多数組の垂直方向の
   溝を刻設したカセツトに収容したウエハのオリエ
   ンテーシヨン・フラツトを、上方に向けて整列さ
   せる半導体ウエハの整列装置において、 一対のカセツトの下方で、ウエハの面に対して
   ほぼ直交するように、軸受の両側に対称的に突出
   し、水平方向に片持ち式に支持されて軸回りに回
   転駆動される一対の主軸と、 各主軸の外面にこれと一体的に、かつ、交換可
   能に環装された摩擦係数の大きい一対のスリーブ
   とからなる駆動軸と、 前記駆動軸を、対応する一対のカセツト内の各
   ウエハの外周縁の下端に当接し、かつ、オリエン
   テーシヨン・フラツトが下方に向いたときには、
   これに接触しない第１の位置と、下方に向いたオ
   リエンテーシヨン・フラツトに当接する第２の位
   置との、２段階の高さにカセツトの底部に挿入す
   る駆動軸昇降手段と、 前記第１の位置に上昇した駆動軸を、該駆動軸
   の回転に従動するウエハが少なくとも１回転する
   期間駆動し、次いで、前記第２の位置に上昇した
   駆動軸を、従動するウエハが１８０度回転する期
   間駆動する駆動装置と、よりなることを特徴とす
   る半導体ウエハの整列装置。 (2) 一対のカセツトを、駆動軸上方の所定の位
   置に位置決めをする位置決め機構を備える請求項
   (1)記載の半導体ウエハの整列装置。