JPS62180946U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の１実施例装置を示す正面図、
第２図は本考案を実施した基板浸漬処理装置の概
要を示す斜視図、第３図は偏心カムの正面図、第
４図は第３図示カムによるカム回転量と移動量の
関係を示すグラフ、第５図は直線運動カムを用い
た１実施例の正面図、第６図は同じく側面図、第
７図は挾持アーム付勢手段の１実施例、第８図は
ウエハを直接挾持するアームの１実施例、第９図
は従来装置の１例を示す図である。 １……ウエハ、２……カセツト、３，４……挾
持アーム、５……軸受、８……リンク、９……ク
ランク、１１……ウエハ、１２……カセツト、１
３……処理液槽、１４……レール、１５……サド
ル、１７……レール、１８……昇降台、２０……
回転軸、２１……挾持アーム、２２……爪、２３
……バネかけ、２４……スプリング、２５……レ
バー、２６……ローラ、２７……昇降板、２８…
…ガイド、２９……カム回転軸、３０……偏心カ
ム、３１……軸受、３２……ローラ、３３……ガ
イドレール、３４……カム、３６……クランク、
３７……バネかけ、３８……スプリング、３９…
…溝部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被搬送物を、対向して開閉する一対又は複
   数対の挾持アームにより挾持する搬送用挾持装置
   において、 前記挾持アームを軸支し、回転により挾持アー
   ムを開閉する左右一対の回転軸と、 該回転軸を、前記挾持アームが外方へ開く方向
   に回転するよう付勢する付勢手段と、 前記回転軸に、それぞれ内方に向けて突出する
   ように固着された左右一対のレバーと、 該一対のレバーの先端部下面に当接して昇降す
   る昇降板と、 該昇降板の下方に配置され、変位により昇降板
   を昇降させるカムとよりなり、 前記カムを、前記昇降板を最高位に上昇させる
   領域が、変位ストローク中に所要範囲にわたつて
   存在する形状に形成したことを特徴とする搬送用
   挾持装置。 (2) カムが、所要角度範囲では回転中心を中心
   とする円弧と、該円弧部の両端から、漸次上記回
   転中心からの距離が減少する曲線とで、輪郭を形
   成した回転型偏心カムである実用新案登録請求の
   範囲第(1)項に記載の搬送用挾持装置。 (3) カムが、移動方向に平行な面と、該平行な
   面の一端から下降傾斜する斜面とで、形成された
   往復駆動される直進型カムである実用新案登録請
   求の範囲第(1)項に記載の搬送用挾持装置。