JPH0264542A - 光ディスク原盤用レジスト塗布装置 - Google Patents
光ディスク原盤用レジスト塗布装置Info
- Publication number
- JPH0264542A JPH0264542A JP63216623A JP21662388A JPH0264542A JP H0264542 A JPH0264542 A JP H0264542A JP 63216623 A JP63216623 A JP 63216623A JP 21662388 A JP21662388 A JP 21662388A JP H0264542 A JPH0264542 A JP H0264542A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- optical disc
- disc master
- resist
- resist coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ビデオディスク・ディジタルオーディオディ
スク・静止画・文書ファイルなどの光ディスクを作製す
るための光ディスク原盤用レジスト塗布装置に関するも
のである。
スク・静止画・文書ファイルなどの光ディスクを作製す
るための光ディスク原盤用レジスト塗布装置に関するも
のである。
従来の技術
一般に光ディスクはその情報密度が極めて大きいことや
、Ｓ／Ｎ比が大きく、ノイズが少ないことなどから情報
媒体として有望視され、ビデオディスクやディジタルオ
ーディオディスクとして商品化され、ディジタル信号を
記録、再生する光ディスクとしても近年研究開発が行な
われている。
、Ｓ／Ｎ比が大きく、ノイズが少ないことなどから情報
媒体として有望視され、ビデオディスクやディジタルオ
ーディオディスクとして商品化され、ディジタル信号を
記録、再生する光ディスクとしても近年研究開発が行な
われている。
以下、図面を参照しながら上述した従来の光ディスク原
盤用レジスト塗布装置の一例について説明する。第３図
は、従来の光ディスク原盤用レジスト塗布装置の断面図
であシ、第４図はその平面図を示すものである。第３図
および第４図において、１は光ディスク原盤、２はター
ンテーブル、３は回転用モータ、４は液吐出口、６は液
供給用パイプ、６は液止め用ガード、７は排気用ダクト
である。レジスト液あるいは密着剤液を塗布する場合に
は、まず光ディスク原盤１をターンテープ／Ｌ’２にの
せ回転用モータ３で一定の低速度で回転しながら液吐出
口４よりレジスト液あるいは密着剤液を光ディスク原盤
１に吐出し、吐出終了後−定の高速度で回転することに
よシ、レジスト膜あるいは密着剤膜の形成を行なうもの
である。この場合、排気の為のダクト７は、光ディスク
原盤をターンテーブルに着脱出来るようにする為、第３
図に示すように光ディスク原盤の外側に設けられている
。
盤用レジスト塗布装置の一例について説明する。第３図
は、従来の光ディスク原盤用レジスト塗布装置の断面図
であシ、第４図はその平面図を示すものである。第３図
および第４図において、１は光ディスク原盤、２はター
ンテーブル、３は回転用モータ、４は液吐出口、６は液
供給用パイプ、６は液止め用ガード、７は排気用ダクト
である。レジスト液あるいは密着剤液を塗布する場合に
は、まず光ディスク原盤１をターンテープ／Ｌ’２にの
せ回転用モータ３で一定の低速度で回転しながら液吐出
口４よりレジスト液あるいは密着剤液を光ディスク原盤
１に吐出し、吐出終了後−定の高速度で回転することに
よシ、レジスト膜あるいは密着剤膜の形成を行なうもの
である。この場合、排気の為のダクト７は、光ディスク
原盤をターンテーブルに着脱出来るようにする為、第３
図に示すように光ディスク原盤の外側に設けられている
。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、ダクトが光ディス
ク原盤の外側でしかも光ディスク原盤より離れてしまう
為排気能力が低下し、従ってレジストあるいは密着剤の
膜形成のための高速度回転時に光ディスク原盤より振り
切られた液が回転による空気の乱流によって、再度光デ
ィスク原盤上に舞い戻り付着してしまう。また、振り切
られた液が大気中の水分と反応してア・ンモニアなどの
ガスを発生し、このガスが回転による空気の乱流により
光ディスク原盤のまわりに集まシ、レジスト膜あるいは
密着剤膜の感度を劣化してしまう。
ク原盤の外側でしかも光ディスク原盤より離れてしまう
為排気能力が低下し、従ってレジストあるいは密着剤の
膜形成のための高速度回転時に光ディスク原盤より振り
切られた液が回転による空気の乱流によって、再度光デ
ィスク原盤上に舞い戻り付着してしまう。また、振り切
られた液が大気中の水分と反応してア・ンモニアなどの
ガスを発生し、このガスが回転による空気の乱流により
光ディスク原盤のまわりに集まシ、レジスト膜あるいは
密着剤膜の感度を劣化してしまう。
本発明は上記の課題に鑑み、さらに高精度および高品質
の光ディスクを作製出来る光ディスク原盤用レジスト塗
布装置を提供するものである。
の光ディスクを作製出来る光ディスク原盤用レジスト塗
布装置を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記の課題を解決するために本発明の光ディスク原盤用
レジスト塗布装置は、移動式のダクトを設け、レジスト
液あるいは密着剤液の塗布中に光ディスク原盤の上部に
ダクトを移動出来るようにしたものである。
レジスト塗布装置は、移動式のダクトを設け、レジスト
液あるいは密着剤液の塗布中に光ディスク原盤の上部に
ダクトを移動出来るようにしたものである。
作 用
本発明は上記した構成によりレジスト液あるいは密着剤
液の塗布中に舞い戻ってきた液や発生したガスを光ディ
スク原盤の上部で集中的に吸い込むことによシ、塗布中
の欠陥すなわちドロップアウトの発生を防ぐことが出来
るようにしたものである。
液の塗布中に舞い戻ってきた液や発生したガスを光ディ
スク原盤の上部で集中的に吸い込むことによシ、塗布中
の欠陥すなわちドロップアウトの発生を防ぐことが出来
るようにしたものである。
実施例
以下本発明の一実施例の光ディスク原盤用レジスト塗布
装置について図面を参照しながら説明する。
装置について図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の第１の実施例における光ディスク原盤
用レジスト塗布装置の断面図であり、第２図はその平面
図を示すものである。第１図および第２図において、１
１は光テ゛イスク原盤、ａはターンテーブルし１２と回
転用モータ１３から成る回転部、ｂは液吐出口１４と液
供給用パイプ１５から成る液吐出部、１６は液止め用ガ
ード、１７はダクト、Ｃはアーム１８と移動用モータ１
９かも成る駆動部である。以上のように構成された光デ
ィスク原盤用レジスト塗布装置について、以下第１図お
よび第２図を用いてその動作を説明する。
用レジスト塗布装置の断面図であり、第２図はその平面
図を示すものである。第１図および第２図において、１
１は光テ゛イスク原盤、ａはターンテーブルし１２と回
転用モータ１３から成る回転部、ｂは液吐出口１４と液
供給用パイプ１５から成る液吐出部、１６は液止め用ガ
ード、１７はダクト、Ｃはアーム１８と移動用モータ１
９かも成る駆動部である。以上のように構成された光デ
ィスク原盤用レジスト塗布装置について、以下第１図お
よび第２図を用いてその動作を説明する。
まず、光ディスク原盤１１をターンテーブル１２にのせ
た後、第２図の点線で示すようにダクト１７を駆動部Ｃ
の移動用モータ１９で光ディスク原盤１１の上部に移動
する。そして、回転用モータ１３で光ディスク原盤を一
定の低速度で回転しながら液吐出口１４よりレジスト液
あるいは密着剤液を光ディスク原盤に吐出する。液吐出
後は、一定の高速度で回転することによシレジストある
いは密着剤の膜形成を行ない、膜形成後は光ディスク原
盤の回転を止めダクト１７を移動用モータ１９でもとの
位置すなわち光ディスク原盤１１の外側に移動し光ディ
スク原盤１１が取り出せる様にしたものである。
た後、第２図の点線で示すようにダクト１７を駆動部Ｃ
の移動用モータ１９で光ディスク原盤１１の上部に移動
する。そして、回転用モータ１３で光ディスク原盤を一
定の低速度で回転しながら液吐出口１４よりレジスト液
あるいは密着剤液を光ディスク原盤に吐出する。液吐出
後は、一定の高速度で回転することによシレジストある
いは密着剤の膜形成を行ない、膜形成後は光ディスク原
盤の回転を止めダクト１７を移動用モータ１９でもとの
位置すなわち光ディスク原盤１１の外側に移動し光ディ
スク原盤１１が取り出せる様にしたものである。
発明の効果
以上のように本発明は、レジストあるいは密着剤の塗布
中に光テ゛イスク原盤の上部にダクトを設けることによ
り、舞い戻ってきだ液や液が大気中の水分と反応して発
生したガスなどを完全に取り除き、塗布中の光ディスク
原盤の欠陥すなわちドロップアウトの発生を防ぐことが
出来る。
中に光テ゛イスク原盤の上部にダクトを設けることによ
り、舞い戻ってきだ液や液が大気中の水分と反応して発
生したガスなどを完全に取り除き、塗布中の光ディスク
原盤の欠陥すなわちドロップアウトの発生を防ぐことが
出来る。
第１図は本発明の第１の実施例における光ディスク原盤
用レジスト塗布装置の断面図、第２図はその平面図、第
３図は従来の光ディスク原盤用レジスト塗布装置の断面
図、第４図はその平面図を示すものである。 １１・・・・・・光ディスク原盤、ａ・・・・・・回転
部、ｂ・・・・・・液吐出部、Ｃ・・・・・・駆動部、
１６・・・・・・液止め用ガード、１７・・・・・・ダ
ク ト。
用レジスト塗布装置の断面図、第２図はその平面図、第
３図は従来の光ディスク原盤用レジスト塗布装置の断面
図、第４図はその平面図を示すものである。 １１・・・・・・光ディスク原盤、ａ・・・・・・回転
部、ｂ・・・・・・液吐出部、Ｃ・・・・・・駆動部、
１６・・・・・・液止め用ガード、１７・・・・・・ダ
ク ト。
Claims (1)
- 光ディスク原盤を回転する為の回転部と、レジスト液あ
るいは密着剤液を吐出する為の液吐出部と、塗布中の液
の飛び散りを防ぐ為の液止め用ガードと、排気を行なう
為のダクトおよびこのダクトを動かす為の駆動部とを備
えたことを特徴とする光ディスク原盤用レジスト塗布装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63216623A JPH0264542A (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 光ディスク原盤用レジスト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63216623A JPH0264542A (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 光ディスク原盤用レジスト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0264542A true JPH0264542A (ja) | 1990-03-05 |
Family
ID=16691336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63216623A Pending JPH0264542A (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 光ディスク原盤用レジスト塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0264542A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101102836B1 (ko) * | 2011-07-28 | 2012-01-05 | 이재유 | 종이판재 분리기 |
| US8705942B2 (en) | 2002-06-28 | 2014-04-22 | Microsoft Corporation | Methods and systems for processing digital data rate and directional playback changes |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP63216623A patent/JPH0264542A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8705942B2 (en) | 2002-06-28 | 2014-04-22 | Microsoft Corporation | Methods and systems for processing digital data rate and directional playback changes |
| KR101102836B1 (ko) * | 2011-07-28 | 2012-01-05 | 이재유 | 종이판재 분리기 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0264542A (ja) | 光ディスク原盤用レジスト塗布装置 | |
| JPH0373406A (ja) | 磁気ディスク装置のサーボ情報書き込み方法 | |
| JPS6093125U (ja) | 光学式記録再生装置 | |
| JPH027249A (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
| JPH097243A (ja) | 光磁気ディスク及びその製造方法 | |
| JPH02226578A (ja) | 磁気ディスク装置 | |
| JP3152517B2 (ja) | 回転磁気ヘッド装置 | |
| JPS61177602A (ja) | 磁気デイスク装置 | |
| JP3028540B2 (ja) | 情報信号の記録方法 | |
| JPS60217544A (ja) | ディジタル信号再生用テストディスクの製造方法 | |
| JPS6040541A (ja) | デイジタル信号記録再生デイスクの成形装置 | |
| JPH0695393B2 (ja) | 光デイスクの製造方法およびその装置 | |
| JPH023130A (ja) | 光ディスク原盤用現像装置 | |
| JPS59112351U (ja) | 光デイスク装置 | |
| JPS59107463A (ja) | 記憶装置 | |
| JPH06282933A (ja) | ディスク回転機構 | |
| JPH0453065A (ja) | 光磁気デイスク装置 | |
| JPH04339314A (ja) | 磁気ディスク媒体 | |
| JPS60102762U (ja) | デイスクの記録若しくは再生装置 | |
| JPS60170012A (ja) | 複合磁気ヘツド | |
| JPS6064466U (ja) | ピツクアツプアクセス機構 | |
| JPS62248165A (ja) | デイスク駆動装置 | |
| JPS6040540A (ja) | デイジタル信号記録再生デイスクの製造方法 | |
| JPS60124003A (ja) | 磁気記録装置 | |
| JPS6077028U (ja) | 光学式記録デイスクの再生装置 |