JPH0265185A - 円環状圧電振動子の製造方法 - Google Patents
円環状圧電振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPH0265185A JPH0265185A JP63217972A JP21797288A JPH0265185A JP H0265185 A JPH0265185 A JP H0265185A JP 63217972 A JP63217972 A JP 63217972A JP 21797288 A JP21797288 A JP 21797288A JP H0265185 A JPH0265185 A JP H0265185A
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- JP
- Japan
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- electrodes
- electrode
- polarization
- positive
- split electrodes
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ９発明の目的
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超音波モータ等に用いられる円環状圧電振動
子の電極形成に関するものである。
子の電極形成に関するものである。
この種類の圧電振動子は電極構成が、第２図（ａ）に示
す通り士、−の分割電極がリング状に形成されており、
従来方法の分極では各分割電極との電気的接続をコンタ
クトビン等を用いて行なうため、端子の接触不良、端子
の加圧力の不均一などのため、未分極部分の発生、分極
時のワレ発生、複雑な分極治具が必要などの不具合な点
があった。
す通り士、−の分割電極がリング状に形成されており、
従来方法の分極では各分割電極との電気的接続をコンタ
クトビン等を用いて行なうため、端子の接触不良、端子
の加圧力の不均一などのため、未分極部分の発生、分極
時のワレ発生、複雑な分極治具が必要などの不具合な点
があった。
本発明はこれら欠点を除去するため、ディスク状、ある
いは円環状圧電セラミックス板に前記分割電極を形成す
ると同時に、それぞれ同じ極性の分割電極を接続する接
続用電極を設け、しかる後、接続用電極を用いて分極し
、分極後にリング状に加工するか、エツチング等により
前記接続用電極部を除去する事により、円環状圧電振動
子を形成しワレ、未分極等の不良を低減させ治工具を簡
単にしようとするものである。
いは円環状圧電セラミックス板に前記分割電極を形成す
ると同時に、それぞれ同じ極性の分割電極を接続する接
続用電極を設け、しかる後、接続用電極を用いて分極し
、分極後にリング状に加工するか、エツチング等により
前記接続用電極部を除去する事により、円環状圧電振動
子を形成しワレ、未分極等の不良を低減させ治工具を簡
単にしようとするものである。
以下余白
口９発明の構成
〔課題を解決するための手段〕
本発明によれば円環状の圧電セラミックス円板の少なく
とも一方の面に異なった極性の電極を有する円環状振動
子の製造において、前記電極の形成時に該電極の外側、
及び内側に同極の電極同志を互いに接続するための接続
用電極を形成し、前記接続用電極を用いて分極処理を行
なった後、前記接続用電極部を除去したことを特徴とす
る方法により円環状振動子を得る。
とも一方の面に異なった極性の電極を有する円環状振動
子の製造において、前記電極の形成時に該電極の外側、
及び内側に同極の電極同志を互いに接続するための接続
用電極を形成し、前記接続用電極を用いて分極処理を行
なった後、前記接続用電極部を除去したことを特徴とす
る方法により円環状振動子を得る。
超音波モータ等に使用される円環状圧電セラミックス板
の分極作業において、モータ形成特使用される分割電極
の同極を接続する様、接続用電極を該分割電極列の内、
外側に設けこの接続用電極を通して分極を行なうことに
より、１回の操作で均一に分極が可能となり、安定した
品質の圧電振動子が得られる。
の分極作業において、モータ形成特使用される分割電極
の同極を接続する様、接続用電極を該分割電極列の内、
外側に設けこの接続用電極を通して分極を行なうことに
より、１回の操作で均一に分極が可能となり、安定した
品質の圧電振動子が得られる。
以下本発明の実施例について図面を用いて詳しく説明す
る。
る。
第１図は本発明に基づく分割電極、及び接続用電極パタ
ーンの例であり、圧電セラミックス円板１の一方の面に
形成された複数個の分割電極４．５をリング状に形成し
、これら分割電極形成時に、これら電極列の外側、及び
内側に各々同極同志を互いに接続するための接続用電極
２．３を形成する。一方圧型セラミックス円板１の他の
面には前記リング状分割電極に対向する様に、リング電
極６が形成されている。第１図において、リング電極６
をアース端子とし、十の分割電極４、及び−の分割電極
５を、それぞれ接続用電極２．３によって接続されたも
のを各々子端子、一端子として、これらに各４士、−の
直流高電圧を印加する事により、士、−の各分割電極に
対応した分極処理が一度に行なわれる。分極処理後に接
続用電極２．３を除去する様に、分割電極の外側、及び
内側を超音波加工等により除去する事により、第２図に
示したリング状の圧電振動子７が得られる。即ち第１図
（ａ）の鎖線の内側、及び外側を除去したものを第２図
（ａ）に示す。
ーンの例であり、圧電セラミックス円板１の一方の面に
形成された複数個の分割電極４．５をリング状に形成し
、これら分割電極形成時に、これら電極列の外側、及び
内側に各々同極同志を互いに接続するための接続用電極
２．３を形成する。一方圧型セラミックス円板１の他の
面には前記リング状分割電極に対向する様に、リング電
極６が形成されている。第１図において、リング電極６
をアース端子とし、十の分割電極４、及び−の分割電極
５を、それぞれ接続用電極２．３によって接続されたも
のを各々子端子、一端子として、これらに各４士、−の
直流高電圧を印加する事により、士、−の各分割電極に
対応した分極処理が一度に行なわれる。分極処理後に接
続用電極２．３を除去する様に、分割電極の外側、及び
内側を超音波加工等により除去する事により、第２図に
示したリング状の圧電振動子７が得られる。即ち第１図
（ａ）の鎖線の内側、及び外側を除去したものを第２図
（ａ）に示す。
以上の説明は圧電セラミックスの素材はディスク状円板
を用いた場合について行なったが、円環状の圧電セラミ
ックス板に同様の電極を形成し、分極後接続用電極２．
３を除去してもよい。
を用いた場合について行なったが、円環状の圧電セラミ
ックス板に同様の電極を形成し、分極後接続用電極２．
３を除去してもよい。
本発明によれば分極時にはリング電極６を共通アースと
し、士、−の分割電極の各１ケ所を電気的に接続する事
で、分極処理が可能となるため、分極時の電極毎の接触
不良は皆無となる。又分極治具の接触用ビンの数が少な
いため、分極時のワレを防ぐ事が出来、さらに分極治具
も簡略化される。
し、士、−の分割電極の各１ケ所を電気的に接続する事
で、分極処理が可能となるため、分極時の電極毎の接触
不良は皆無となる。又分極治具の接触用ビンの数が少な
いため、分極時のワレを防ぐ事が出来、さらに分極治具
も簡略化される。
ハ０発明の効果
〔発明の効果〕
以上示した様に本発明によれば、分極時に発生するワレ
、未分極等を低減させると共に、治工具の簡略化が計れ
、経済的で品質的に安定した素子を提供することできる
。
、未分極等を低減させると共に、治工具の簡略化が計れ
、経済的で品質的に安定した素子を提供することできる
。
以下余白
第１図は本発明の実施例で、ディスク状圧電セラミック
ス円板に印刷された電極パターンを示し、（ａ）は上面
図で分割電極のパターンを示し、（ｂ）は正面図、（ｃ
）は下面図でリング状電極である。 第２図図は本発明の超音波モータ素子に使用されるリン
グ状圧電振動子とその分極パターンの例を示し、（ａ）
は上面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は下面図。 １・・・圧電セラミックス円板。 ２・・・接続用電極（プラス側）。 ３・・・接続用電極（マイナス側）。 ４・・・分割電極（プラス極）。 ５・・・分割電極（マイナス極）。 ６・・・リング電極。 ７・・・圧電振動子。
ス円板に印刷された電極パターンを示し、（ａ）は上面
図で分割電極のパターンを示し、（ｂ）は正面図、（ｃ
）は下面図でリング状電極である。 第２図図は本発明の超音波モータ素子に使用されるリン
グ状圧電振動子とその分極パターンの例を示し、（ａ）
は上面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は下面図。 １・・・圧電セラミックス円板。 ２・・・接続用電極（プラス側）。 ３・・・接続用電極（マイナス側）。 ４・・・分割電極（プラス極）。 ５・・・分割電極（マイナス極）。 ６・・・リング電極。 ７・・・圧電振動子。
Claims (1)
- １．円環状の圧電セラミックス円板の少なくとも一方の
面に異なった極性の電極を有する円環状圧電振動子にお
いて、前記電極の形成時に該電極の外側、及び内側に同
極の電極同志を互いに接続するための接続用電極を設け
、該接続用電極を用いて分極処理を行なった後前記接続
用電極部を除去することを特徴とする円環状圧電振動子
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21797288A JP2665950B2 (ja) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | 円環状圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21797288A JP2665950B2 (ja) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | 円環状圧電振動子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265185A true JPH0265185A (ja) | 1990-03-05 |
| JP2665950B2 JP2665950B2 (ja) | 1997-10-22 |
Family
ID=16712618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21797288A Expired - Fee Related JP2665950B2 (ja) | 1988-08-30 | 1988-08-30 | 円環状圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2665950B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013051622A1 (ja) * | 2011-10-03 | 2013-04-11 | オリンパス株式会社 | 円筒型圧電素子の製造方法、円筒型圧電素子、及び微小駆動機構 |
| JP2015220434A (ja) * | 2014-05-21 | 2015-12-07 | 株式会社リコー | 電気機械変換部材、液滴吐出ヘッド、画像形成装置、及び、電気機械変換素子の分極処理方法 |
| CN111463343A (zh) * | 2019-01-22 | 2020-07-28 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种适用于压电单晶材料的极化方法 |
-
1988
- 1988-08-30 JP JP21797288A patent/JP2665950B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013051622A1 (ja) * | 2011-10-03 | 2013-04-11 | オリンパス株式会社 | 円筒型圧電素子の製造方法、円筒型圧電素子、及び微小駆動機構 |
| US9768374B2 (en) | 2011-10-03 | 2017-09-19 | Olympus Corporation | Method of manufacturing cylindrical piezoelectric element |
| JP2015220434A (ja) * | 2014-05-21 | 2015-12-07 | 株式会社リコー | 電気機械変換部材、液滴吐出ヘッド、画像形成装置、及び、電気機械変換素子の分極処理方法 |
| CN111463343A (zh) * | 2019-01-22 | 2020-07-28 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种适用于压电单晶材料的极化方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2665950B2 (ja) | 1997-10-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |