JPH0265251A - 供給装置及び収納装置 - Google Patents
供給装置及び収納装置Info
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- JPH0265251A JPH0265251A JP63217227A JP21722788A JPH0265251A JP H0265251 A JPH0265251 A JP H0265251A JP 63217227 A JP63217227 A JP 63217227A JP 21722788 A JP21722788 A JP 21722788A JP H0265251 A JPH0265251 A JP H0265251A
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- Japan
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- carrier
- plate
- claw
- push
- closing
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3404—Storage means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G57/00—Stacking of articles
- B65G57/30—Stacking of articles by adding to the bottom of the stack
- B65G57/301—Stacking of articles by adding to the bottom of the stack by means of reciprocatory or oscillatory lifting and holding or gripping devices
- B65G57/303—Stacking of articles by adding to the bottom of the stack by means of reciprocatory or oscillatory lifting and holding or gripping devices the stack being lowered by mobile grippers or holders onto added articles
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
- H10P72/7602—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade or gripped by a gripper for conveyance
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10P72/7604—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H10P72/7612—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by lifting arrangements, e.g. lift pins
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Pile Receivers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、基板を載置したキャリアを積層する形で収納
したマガジンからキャリアを１個づつ取出す供給装置及
びマガジンにキャリアを１個づつ収納する収納装置に関
する。
したマガジンからキャリアを１個づつ取出す供給装置及
びマガジンにキャリアを１個づつ収納する収納装置に関
する。
［従来の技術］
例えば、半導体装置を組立てるダイポンダワイヤボンダ
ー等においては、基板を複数個等間隔に載置したキャリ
アをポンディング部に送って加工を行っている。キャリ
アをポンディング部に供給する供給装置及びポンディン
グ部で加工が終了した基板を載置したキャリアを収納す
る収納装置には、一般にキャリアを積層する形で収納す
るマガジンが用いられている。
ー等においては、基板を複数個等間隔に載置したキャリ
アをポンディング部に送って加工を行っている。キャリ
アをポンディング部に供給する供給装置及びポンディン
グ部で加工が終了した基板を載置したキャリアを収納す
る収納装置には、一般にキャリアを積層する形で収納す
るマガジンが用いられている。
従来のマガジンは、キャリアの取出し及び収納を容易に
するために、対向する側壁にキャリアの両側面が挿入さ
れるガイド溝が等間隔に多数設けられている。従って、
供給装置又は収納装置においては、マガジンを前記ガイ
ド溝のピッチづつ下降又は上昇させ、ガイド溝に沿って
キャリアを送り出し又は収納することにより容易に行え
る。
するために、対向する側壁にキャリアの両側面が挿入さ
れるガイド溝が等間隔に多数設けられている。従って、
供給装置又は収納装置においては、マガジンを前記ガイ
ド溝のピッチづつ下降又は上昇させ、ガイド溝に沿って
キャリアを送り出し又は収納することにより容易に行え
る。
［発明が解決しようとする課題］
」−記従来技術は、ガイド溝が形成されたマガジンを用
いるので、キャリアの高さが変ると、それに応じたガイ
ド溝のピッチを有するマガジンを用いる必要があり、非
常に多種のマガジンを用意しなければならないという問
題があった。またガイド溝のピッチは上下のキャリア間
に隙間を有するように設定しなければならなく、その分
、収納できるキャリアの数が少なくなる。
いるので、キャリアの高さが変ると、それに応じたガイ
ド溝のピッチを有するマガジンを用いる必要があり、非
常に多種のマガジンを用意しなければならないという問
題があった。またガイド溝のピッチは上下のキャリア間
に隙間を有するように設定しなければならなく、その分
、収納できるキャリアの数が少なくなる。
本発明の目的は、高さの異なるキャリアにも容易に対処
でき、また非常に多くのキャリアを収納することができ
る供給装置及び収納装置を提供することにある。
でき、また非常に多くのキャリアを収納することができ
る供給装置及び収納装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
上記目的は、下方が開放し、キャリアの幅より若干大き
な間隔を明けて対向配設されたキャリアガイド手段と、
このキャリアガイド手段に回転自在に対向して配設され
、該キャリアガイド手段に収納された最下位のキャリア
を支持する爪手段と、前記キャリアガイド手段の下方よ
り該キャリアガイド手段間に上下動駆動されるキャリア
押」―げ手段と、このキャリア押上げ手段に設けられ、
上下動によって前記爪手段を開閉させる爪開閉手段とを
備え、供給装置の爪開閉手段は前記キャリア押上げ手段
に設けられ、該キャリア押上げ手段と共に上昇して前記
爪手段を開かせて前記キャリアガイド手段に収納ぎれた
キャリアを前記キャリア押上げ手段上に載置させ、前記
キャリア押上げ手段の下降時に該キャリア押上げ手段上
に載置された直」二のキャリアを前記爪手段で保持させ
るように構成し、収納装置の爪開閉手段は、前記キャリ
ア押上げ手段に設けられ、該キャリア押上げ手段と共に
上昇して該キャリア押上げ手段上のキャリアを前記キャ
リアガイド手段内に位置させるように前記爪手段を開か
せ、前記キャリア押上げ手段の下降時に該キャリア押上
げ手段上のキャリアを前記爪手段で保持させるように構
成することにより達成される。
な間隔を明けて対向配設されたキャリアガイド手段と、
このキャリアガイド手段に回転自在に対向して配設され
、該キャリアガイド手段に収納された最下位のキャリア
を支持する爪手段と、前記キャリアガイド手段の下方よ
り該キャリアガイド手段間に上下動駆動されるキャリア
押」―げ手段と、このキャリア押上げ手段に設けられ、
上下動によって前記爪手段を開閉させる爪開閉手段とを
備え、供給装置の爪開閉手段は前記キャリア押上げ手段
に設けられ、該キャリア押上げ手段と共に上昇して前記
爪手段を開かせて前記キャリアガイド手段に収納ぎれた
キャリアを前記キャリア押上げ手段上に載置させ、前記
キャリア押上げ手段の下降時に該キャリア押上げ手段上
に載置された直」二のキャリアを前記爪手段で保持させ
るように構成し、収納装置の爪開閉手段は、前記キャリ
ア押上げ手段に設けられ、該キャリア押上げ手段と共に
上昇して該キャリア押上げ手段上のキャリアを前記キャ
リアガイド手段内に位置させるように前記爪手段を開か
せ、前記キャリア押上げ手段の下降時に該キャリア押上
げ手段上のキャリアを前記爪手段で保持させるように構
成することにより達成される。
［作用］
供給装置においては、キャリア押上げ手段及び爪開閉手
段が共に」−昇し、キャリア押上げ手段で爪手段を開き
、爪手段で保持された最下位のキャリアをキャリア押上
げ手段」二に載置させ、その後キャリア押上げ手段及び
爪開閉手段が下降する時に前記最下位−Ｌのキャリアを
爪手段で保持してキャリアを１個づつ取り出す。
段が共に」−昇し、キャリア押上げ手段で爪手段を開き
、爪手段で保持された最下位のキャリアをキャリア押上
げ手段」二に載置させ、その後キャリア押上げ手段及び
爪開閉手段が下降する時に前記最下位−Ｌのキャリアを
爪手段で保持してキャリアを１個づつ取り出す。
また収納装置においては、キャリアが載置されたキャリ
ア押上げ手段が−Ｉｎ昇し、爪開閉手段で爪開閉手段を
開き、キャリア押上げ手段にのキャリアが爪手段の爪部
に位置した時に爪手段が閉じてキャリア押上げ手段上の
キャリアを保持し、その後にキャリア押上げ手段及び爪
開閉手段が下降することによって収納される。
ア押上げ手段が−Ｉｎ昇し、爪開閉手段で爪開閉手段を
開き、キャリア押上げ手段にのキャリアが爪手段の爪部
に位置した時に爪手段が閉じてキャリア押上げ手段上の
キャリアを保持し、その後にキャリア押上げ手段及び爪
開閉手段が下降することによって収納される。
従って、マガジンを構成するキャリアガイド手段にキャ
リアを重ね合せて収納でき、多くのキャリアを収納でき
る。またキャリアの高さが変ってもそれに応じて単に爪
開閉手段又は爪開閉手段を変えるのみでよい。
リアを重ね合せて収納でき、多くのキャリアを収納でき
る。またキャリアの高さが変ってもそれに応じて単に爪
開閉手段又は爪開閉手段を変えるのみでよい。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
供給装置と収納装置はほぼ同様の構造よりなるので、両
者の共通及び類似した構造について、まず供給装置を第
１図乃至第５図を参照して説明する。
者の共通及び類似した構造について、まず供給装置を第
１図乃至第５図を参照して説明する。
ペース板ｌの左右には支持板２．２がそれぞれ固定され
ており、支持板２には軸受ホルダー３が固定されている
。軸受ホルダー３には」二下動棒４がＩ−下動自在に設
けられており、上下動棒４の４−面にはキャリア押−４
−げ支持板５が固定されている。キャリア押上げ支持板
５の両側にはキャリア押上げ板６が固定されており、キ
ャリア押上げ板６の外側には爪開閉支持板７が固定され
ている。
ており、支持板２には軸受ホルダー３が固定されている
。軸受ホルダー３には」二下動棒４がＩ−下動自在に設
けられており、上下動棒４の４−面にはキャリア押−４
−げ支持板５が固定されている。キャリア押上げ支持板
５の両側にはキャリア押上げ板６が固定されており、キ
ャリア押上げ板６の外側には爪開閉支持板７が固定され
ている。
爪開閉支持板７には爪開閉板８が１−、下槽動自在に設
けられており、爪開閉板８は上面が外側下方に傾斜した
テーパ部８ａとその下方にｖ字溝部８ｂとを有する。爪
開閉板８の上下動の範囲を規制するために、爪開閉板８
には長穴８ｃが形成され、この長穴８ｃには爪開閉支持
板７に固定されたねじ９の輛９ａが挿入されている。ま
たキャリア押上げ支持板５のド面中央には下端側にカム
フォロア１０（第４図参照）が回転自在に支承されたカ
ムフロア支持板１１が固定されている。
けられており、爪開閉板８は上面が外側下方に傾斜した
テーパ部８ａとその下方にｖ字溝部８ｂとを有する。爪
開閉板８の上下動の範囲を規制するために、爪開閉板８
には長穴８ｃが形成され、この長穴８ｃには爪開閉支持
板７に固定されたねじ９の輛９ａが挿入されている。ま
たキャリア押上げ支持板５のド面中央には下端側にカム
フォロア１０（第４図参照）が回転自在に支承されたカ
ムフロア支持板１１が固定されている。
前記支持板２．２間にはＵ字形状のモータ支持板１２が
固定されており、モータ支持板１２にはモータ１３が固
定されている。またモータ１３に固定されたカム軸１４
はモータ支持板１２に軸受１５を介して回転自在に支承
されている。カム軸１４にはキャリア押上げ用カム１６
が固定されており、キャリア押上げ用カムｌ ６−、Ｌ
−には前記カムフォロア１０が当接している。そして、
カムフォロア１０がキャリア押上げ用カム１６に圧接す
るように、前記キャリア押上げ支持板５はばね１７で下
方に伺勢されている。
固定されており、モータ支持板１２にはモータ１３が固
定されている。またモータ１３に固定されたカム軸１４
はモータ支持板１２に軸受１５を介して回転自在に支承
されている。カム軸１４にはキャリア押上げ用カム１６
が固定されており、キャリア押上げ用カムｌ ６−、Ｌ
−には前記カムフォロア１０が当接している。そして、
カムフォロア１０がキャリア押上げ用カム１６に圧接す
るように、前記キャリア押上げ支持板５はばね１７で下
方に伺勢されている。
前記支持板？、２の上方側にはキャリアガイド板２０．
２０が固定されており、キャリアガイド板２０にはキャ
リア２１の幅より若干長い支持板２２を介してキャリア
ガイド板２３が前記キャリアガイド板２０に対向して固
定されている。キャリアガイド板２０．２０．２３．２
３の側面にはそれぞれ爪支持板２４が固定されており、
爪支持板２４には爪レバー２５がピン２６を介して回転
自在に支承されている。爪レバー２５は相対向したキャ
リアガイド板２０．２３間の方向に突出した爪部２５ａ
を有し、爪部２５ａはキャリア２１の側面に設けられた
穴に係合するようになっている。
２０が固定されており、キャリアガイド板２０にはキャ
リア２１の幅より若干長い支持板２２を介してキャリア
ガイド板２３が前記キャリアガイド板２０に対向して固
定されている。キャリアガイド板２０．２０．２３．２
３の側面にはそれぞれ爪支持板２４が固定されており、
爪支持板２４には爪レバー２５がピン２６を介して回転
自在に支承されている。爪レバー２５は相対向したキャ
リアガイド板２０．２３間の方向に突出した爪部２５ａ
を有し、爪部２５ａはキャリア２１の側面に設けられた
穴に係合するようになっている。
爪レバー２５には前記爪開閉板８のテーパ部８ａに対応
した位置にピン２７が植設されている。
した位置にピン２７が植設されている。
また爪部２５ａの内側への突出量を規制するために、前
記キャリアガイド板２０．２３には前記ピン２７が当接
するストッパ板２８が固定されており、ピン２７がスト
ッパ板２８に圧接するように爪レバー２５はばね２９で
付勢されている。
記キャリアガイド板２０．２３には前記ピン２７が当接
するストッパ板２８が固定されており、ピン２７がスト
ッパ板２８に圧接するように爪レバー２５はばね２９で
付勢されている。
前記支持板２２．２２の前記キャリアガイド板２０上に
はキャリアガイド板３５が固定されている。また支持板
２２．２２の前記キャリアガイド板２３上にはキャリア
ガイドを兼ねた開閉蓋３６の一端側が蝶番３７で開閉自
在に取付けられている。前記開閉蓋３６の開閉側に対応
した支持板２２の部分には切欠き部２２ａが設けられて
おり、切欠き部２２ａにはロック支持板３８が固定され
ている。ロック支持板３８には垂直にピン３９が固定さ
れており、ピン３９には一端にねじ部を有するロック用
ボルト４０が回転自在に支承されている。開閉蓋３６に
はロック用ボルト４０が横から挿入できるように切欠き
部３６ａが設けられており、またロック用ボルト４０の
ねじ部にはロック用ナツト４１が螺合されている。
はキャリアガイド板３５が固定されている。また支持板
２２．２２の前記キャリアガイド板２３上にはキャリア
ガイドを兼ねた開閉蓋３６の一端側が蝶番３７で開閉自
在に取付けられている。前記開閉蓋３６の開閉側に対応
した支持板２２の部分には切欠き部２２ａが設けられて
おり、切欠き部２２ａにはロック支持板３８が固定され
ている。ロック支持板３８には垂直にピン３９が固定さ
れており、ピン３９には一端にねじ部を有するロック用
ボルト４０が回転自在に支承されている。開閉蓋３６に
はロック用ボルト４０が横から挿入できるように切欠き
部３６ａが設けられており、またロック用ボルト４０の
ねじ部にはロック用ナツト４１が螺合されている。
従って、ロック用ナツト４１を緩め、ロック用ボルト４
０を切欠き部３６ａを通して外側に倒すと、開閉Ｍ３６
を開くことができ、キャリア２１を出し入れできる。
０を切欠き部３６ａを通して外側に倒すと、開閉Ｍ３６
を開くことができ、キャリア２１を出し入れできる。
以上の構成は収納装置もほぼ同様である。ただ供給装置
の爪開閉板８は爪開閉支持板７に上下動自在に設けられ
ているが、収納装置は、第６図に示すように爪開閉板４
５がピン４６を介して爪開閉支持板７に回転自在に支承
され、爪開閉板４５はばね４７で内側に付勢されている
。また前記爪開閉板４５の−Ｌ面には、ピン２７に作用
して爪レバー２５を外側に開くためのテーパ部４５ａが
形成され、またテーパ部４５ａから一定距離離れた下方
に前記ピン２７が入る溝４５ｂが形成されている。また
溝４５ｂの−Ｌ面には爪開閉板４５を外側に開くための
テーパ部４５ｃが形成されている。
の爪開閉板８は爪開閉支持板７に上下動自在に設けられ
ているが、収納装置は、第６図に示すように爪開閉板４
５がピン４６を介して爪開閉支持板７に回転自在に支承
され、爪開閉板４５はばね４７で内側に付勢されている
。また前記爪開閉板４５の−Ｌ面には、ピン２７に作用
して爪レバー２５を外側に開くためのテーパ部４５ａが
形成され、またテーパ部４５ａから一定距離離れた下方
に前記ピン２７が入る溝４５ｂが形成されている。また
溝４５ｂの−Ｌ面には爪開閉板４５を外側に開くための
テーパ部４５ｃが形成されている。
次に供給装置のみに必要なブツシャ機構を第１図乃至第
４図により説明する。前記モータ支持板１２に支持板５
０を介して軸受５１が固定され、また前記左側のキャリ
アガイド板２０にも支持板５２を介して軸受５３が固定
され、軸受５１．５３には水平棒５４が左右に摺動自在
に設けられている。水平棒５４の中間部分には駒５５が
固定されており、この駒５５にはローラ５６が回転自在
に支承されている。ローラ５６にはレバー５７の上端に
形成された溝が係合しており、レバー５７の下端側は軸
５８に固定されている。軸５８の両端側はベース板１に
固定された支持板５９に回転自在に支承されている。ま
たレバー５７の中間部にはカムフォロア６０が回転自在
に支承されている。また前記カム軸１４には前記カムフ
ォロア６０に対応してブツシャ用カム６１が固定されて
おり、カムフォロア６０がブツシャ用カム６１に圧接す
るようにレバー５７はばね６２で付勢されている。
４図により説明する。前記モータ支持板１２に支持板５
０を介して軸受５１が固定され、また前記左側のキャリ
アガイド板２０にも支持板５２を介して軸受５３が固定
され、軸受５１．５３には水平棒５４が左右に摺動自在
に設けられている。水平棒５４の中間部分には駒５５が
固定されており、この駒５５にはローラ５６が回転自在
に支承されている。ローラ５６にはレバー５７の上端に
形成された溝が係合しており、レバー５７の下端側は軸
５８に固定されている。軸５８の両端側はベース板１に
固定された支持板５９に回転自在に支承されている。ま
たレバー５７の中間部にはカムフォロア６０が回転自在
に支承されている。また前記カム軸１４には前記カムフ
ォロア６０に対応してブツシャ用カム６１が固定されて
おり、カムフォロア６０がブツシャ用カム６１に圧接す
るようにレバー５７はばね６２で付勢されている。
前記水平棒５４の左側端には支持板６５が固定され、支
持板６５にはキャリア押−Ｌげ板６間のほぼ中央左端側
に位置するようにブツシャ支持板６６が固定されている
。このブツシャ支持板６６にはブツシャ板６７の一端側
がピン６８を介して回転自在に支承されている。またブ
ツシャ支持板６６にはストッパ６９が固定されており、
ストッパ６９にブツシャ板６７が載置されてブツシャ板
６７の下降を防止している。
持板６５にはキャリア押−Ｌげ板６間のほぼ中央左端側
に位置するようにブツシャ支持板６６が固定されている
。このブツシャ支持板６６にはブツシャ板６７の一端側
がピン６８を介して回転自在に支承されている。またブ
ツシャ支持板６６にはストッパ６９が固定されており、
ストッパ６９にブツシャ板６７が載置されてブツシャ板
６７の下降を防止している。
次に作用について説明する。まず、本装置を供給装置に
適応した場合について説明する。モータ１３が回転する
と、カム軸１４によりキャリア押上げ用カム１６及びブ
ツシャ用カム６１が回転する。まず、キャリア押上げ用
カム１６の上昇プロフィルによってカムフォロアｌＯ、
カムフロア支持板１１、キャリア押上げ支持板５を介し
てキャリア押上げ板６、爪開閉支持板７及び爪開閉板８
が第５図（ａ）の状態より同図（ｂ）のようにＬ昇し、
ピン２７が爪開閉板８のＶ字溝部８ｂに入る。これによ
り、爪開閉板８のテーパ部８ａによりピン２７が外側に
押され、爪レバー２５の爪部２５ａがキャリア２１より
離れるので、キャリア２１はキャリア押上げ板６上に載
置される。
適応した場合について説明する。モータ１３が回転する
と、カム軸１４によりキャリア押上げ用カム１６及びブ
ツシャ用カム６１が回転する。まず、キャリア押上げ用
カム１６の上昇プロフィルによってカムフォロアｌＯ、
カムフロア支持板１１、キャリア押上げ支持板５を介し
てキャリア押上げ板６、爪開閉支持板７及び爪開閉板８
が第５図（ａ）の状態より同図（ｂ）のようにＬ昇し、
ピン２７が爪開閉板８のＶ字溝部８ｂに入る。これによ
り、爪開閉板８のテーパ部８ａによりピン２７が外側に
押され、爪レバー２５の爪部２５ａがキャリア２１より
離れるので、キャリア２１はキャリア押上げ板６上に載
置される。
次にキャリア押上げ用カム１６の下降プロフィルによっ
て第５図（ｃ）（ｄ）のように下降する。この場合、爪
開閉板８は長穴８Ｃの範囲で上下動できるので、同図（
Ｃ）に示すように、爪開閉板８はピン２７によって下降
が停止され、キャリア押上げ支持板５、キャリア押上げ
板６及び爪開閉支持板７のみが下降する。そして、爪開
閉板８の長穴８Ｃの下端がねじ９の軸９ａに当接した状
態においては、最下位のキャリア２１が爪部２５ａの先
端より下方に位置している。その後は爪開閉板８も爪開
閉支持板７と共に下降するので、ピン２７はＶ字溝部８
ｂより離れ、ばね２９の付勢力で内側に閉じ、同図（ｄ
）に示すように、下から２番目のキャリア２１は爪部２
５ａによって保持され、最下位のキャリア２１のみがキ
ャリア押上げ板６上に載置される。
て第５図（ｃ）（ｄ）のように下降する。この場合、爪
開閉板８は長穴８Ｃの範囲で上下動できるので、同図（
Ｃ）に示すように、爪開閉板８はピン２７によって下降
が停止され、キャリア押上げ支持板５、キャリア押上げ
板６及び爪開閉支持板７のみが下降する。そして、爪開
閉板８の長穴８Ｃの下端がねじ９の軸９ａに当接した状
態においては、最下位のキャリア２１が爪部２５ａの先
端より下方に位置している。その後は爪開閉板８も爪開
閉支持板７と共に下降するので、ピン２７はＶ字溝部８
ｂより離れ、ばね２９の付勢力で内側に閉じ、同図（ｄ
）に示すように、下から２番目のキャリア２１は爪部２
５ａによって保持され、最下位のキャリア２１のみがキ
ャリア押上げ板６上に載置される。
次にブツシャ用カム６１の下降プロフィルによってレバ
ー５７は第１図において時計方向に回動させられ、その
後ブツシャ用カム６１の上昇プロフィルにってレバー５
７は反時計方向に回動させられる。まず、レバー５７が
時計方向に回動すると、水平棒５４、支持板６５、ブツ
シャ支持板６６及びブツシャ板６７が右方向に移動し、
前記のようにキャリア押上げ板６上にｉ置されたキャリ
ア２１はブツシャ板６７によって搬送路７５に押し出さ
れる。これにより、供給装置の１サイクルが終了する。
ー５７は第１図において時計方向に回動させられ、その
後ブツシャ用カム６１の上昇プロフィルにってレバー５
７は反時計方向に回動させられる。まず、レバー５７が
時計方向に回動すると、水平棒５４、支持板６５、ブツ
シャ支持板６６及びブツシャ板６７が右方向に移動し、
前記のようにキャリア押上げ板６上にｉ置されたキャリ
ア２１はブツシャ板６７によって搬送路７５に押し出さ
れる。これにより、供給装置の１サイクルが終了する。
次に本装置を収納装置に用いた場合を第６図及び第７図
によって説明する。加工が終了した基板を載置したキャ
リア２１が搬送路７５よりキャリア押上げ板６上に送ら
れてきて停止すると、前記したと同様にモータ１２が回
転し、キャリア押上げ支持板５及びキャリア押上げ板６
が上下動する。まず、第６図の状態よりキャリア押上げ
支持板５、キャリア押上げ板６及び爪開閉板４５が第７
図（ａ）の状態まで上昇する。これにより、爪開閉板４
５のテーパ部４５ａによりピン２７が外側に押され、爪
レバー２５の爪部２５ａがキャリア２１より離れ、その
後にキャリア押上げ板６上のキャリア２１は前記キャリ
ア２１を押し−Ｌげ、ピン２７が溝４５ｂに位置した状
態では、爪部２５ａはキャリア押上げ板６１−のキャリ
ア２１の穴部に位置している。同図（ａ）のようにピン
２７が溝４５ｂに位置すると、同図（ｂ）に示すように
爪レバー２５はばね２９の付勢力で内側に閉じるように
移動し、爪部２５ａはキャリア押上げ板６−ｈのキャリ
ア２１を保持する。
によって説明する。加工が終了した基板を載置したキャ
リア２１が搬送路７５よりキャリア押上げ板６上に送ら
れてきて停止すると、前記したと同様にモータ１２が回
転し、キャリア押上げ支持板５及びキャリア押上げ板６
が上下動する。まず、第６図の状態よりキャリア押上げ
支持板５、キャリア押上げ板６及び爪開閉板４５が第７
図（ａ）の状態まで上昇する。これにより、爪開閉板４
５のテーパ部４５ａによりピン２７が外側に押され、爪
レバー２５の爪部２５ａがキャリア２１より離れ、その
後にキャリア押上げ板６上のキャリア２１は前記キャリ
ア２１を押し−Ｌげ、ピン２７が溝４５ｂに位置した状
態では、爪部２５ａはキャリア押上げ板６１−のキャリ
ア２１の穴部に位置している。同図（ａ）のようにピン
２７が溝４５ｂに位置すると、同図（ｂ）に示すように
爪レバー２５はばね２９の付勢力で内側に閉じるように
移動し、爪部２５ａはキャリア押上げ板６−ｈのキャリ
ア２１を保持する。
次に同図（Ｃ）に示すようにキャリア押上げ支持板５、
キャリア押−Ｆげ板６及び爪開閉板４５が下降する。こ
の場合、ピン２７が溝４５ｂのテパ部４５ｃに当るので
、爪開閉板４５はばね４７の付勢力に抗して外側に開く
。その後、ピン２７が爪開閉板４５より離れると、同図
（ｄ）に示すように爪開閉板４５はばね４７の付勢力で
元に復帰する。これにより、キャリア押上げ板６上のキ
ャリア２１は爪レバー２５に保持されて収納される。
キャリア押−Ｆげ板６及び爪開閉板４５が下降する。こ
の場合、ピン２７が溝４５ｂのテパ部４５ｃに当るので
、爪開閉板４５はばね４７の付勢力に抗して外側に開く
。その後、ピン２７が爪開閉板４５より離れると、同図
（ｄ）に示すように爪開閉板４５はばね４７の付勢力で
元に復帰する。これにより、キャリア押上げ板６上のキ
ャリア２１は爪レバー２５に保持されて収納される。
このように、供給装置においては、キャリア押上げ板６
及び爪開閉板８が共に上昇し、キャリア押−Ｌげ板６で
爪レバー２５を開き、爪レバー２５で保持された最下位
のキャリア２１をキャリア押］−げ板６］−に載置させ
、その後キャリア押上げ板６及び爪開閉板８が下降する
時に前記最下位上のキャリア２１を爪レバー２５で保持
してキャリア２１を１個づつ取り出す。また収納装置に
おいては、キャリア２１が載置されたキャリア押上げ板
６が上昇し、爪開閉板４５で爪開閉板８を開き、キャリ
ア押上げ板６上のキャリア２１が爪レバ２５の爪部２５
ａに位置した時に爪レバー２５が閉じてキャリア押上げ
板６上のキャリア２１を保持し、その後にキャリア押上
げ板６及び爪開閉板４５が下降することによって収納さ
れる。
及び爪開閉板８が共に上昇し、キャリア押−Ｌげ板６で
爪レバー２５を開き、爪レバー２５で保持された最下位
のキャリア２１をキャリア押］−げ板６］−に載置させ
、その後キャリア押上げ板６及び爪開閉板８が下降する
時に前記最下位上のキャリア２１を爪レバー２５で保持
してキャリア２１を１個づつ取り出す。また収納装置に
おいては、キャリア２１が載置されたキャリア押上げ板
６が上昇し、爪開閉板４５で爪開閉板８を開き、キャリ
ア押上げ板６上のキャリア２１が爪レバ２５の爪部２５
ａに位置した時に爪レバー２５が閉じてキャリア押上げ
板６上のキャリア２１を保持し、その後にキャリア押上
げ板６及び爪開閉板４５が下降することによって収納さ
れる。
従って、マガジンを構成するキャリアガイド板２０．２
３．３５．３６にキャリア２１を重ね合せて収納でき、
多くのキャリア２１を収納できる。またキャリア２１の
高さが変ってもそれに応じて単に爪開閉板８又は爪開閉
板４５を変えるのみでよい。
３．３５．３６にキャリア２１を重ね合せて収納でき、
多くのキャリア２１を収納できる。またキャリア２１の
高さが変ってもそれに応じて単に爪開閉板８又は爪開閉
板４５を変えるのみでよい。
なお、上記実施例においては、キャリア２１の側面に穴
を設け、この穴に爪レバー２５の爪部２５ａを係合させ
る場合について説明したが、キャリア２１の側面につば
部を設け、このつば部の下面に爪部２５ａを係合させる
ようにしてもよい。
を設け、この穴に爪レバー２５の爪部２５ａを係合させ
る場合について説明したが、キャリア２１の側面につば
部を設け、このつば部の下面に爪部２５ａを係合させる
ようにしてもよい。
［発明の効果コ
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、高さ
の異なるキャリアにも容易に対処でき、また非常に多く
のキャリアを収納することができる供給装置及び収納装
置が得られる。
の異なるキャリアにも容易に対処でき、また非常に多く
のキャリアを収納することができる供給装置及び収納装
置が得られる。
第１図は本発明を供給装置に適用した一実施例を示す正
面図、第２図は第１図の平面図、第３図５：キャリア押
上げ支持板、 ６：キヤリア押上げ板、 ７：爪開閉支持板、 ８ａ：テーパ部、 ８Ｃ：長穴、 ９ａ：軸、 ２１：キャリア、 ２４：爪支持板、 ２６．２７：ピン、 ２９：ばね、 ３６：開閉蓋、 ４５ａ：テーパ部、 ４５Ｃ：テーパ部・ ８：爪開閉板、 ８ｂ ：Ｖ字溝部、 ９：ねじ、 ２０：キャリアガイド板、 ２３：キャリアガイド板、 ２５：爪レバー ２８：ストッパ板、 ３５：キャリアガイド板、 ４５：爪開閉板、 ４５ｂ＝溝、 ４６：ピン、４７：ばね。 るキャリア取出し動作の説明図、第６図は収納装置の要
部を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、第７図（
ａ）乃至（ｄ）は収納装置におけるキャリア収納動作の
説明図である。 味 ω 第７ （ａ） （ｂ） （Ｃ） （ｄ） ５：キャリアキ甲−ヒけ゛′炎衿オ及 ６−キャリア＋甲上」ｒ′才反 ７ＶｌｌＰＡ＊を寺 １反 ２１−キτり了 ２５：ハレバ°− ２Ｇ ２７：ピン ２８：ストツハ１反 ５ｂ ５ｃ １言“ね 匹開ｎ扱 テーバ０畜β 溝 デーノｑ音ｐ ヒ０ン １よ°′ね
面図、第２図は第１図の平面図、第３図５：キャリア押
上げ支持板、 ６：キヤリア押上げ板、 ７：爪開閉支持板、 ８ａ：テーパ部、 ８Ｃ：長穴、 ９ａ：軸、 ２１：キャリア、 ２４：爪支持板、 ２６．２７：ピン、 ２９：ばね、 ３６：開閉蓋、 ４５ａ：テーパ部、 ４５Ｃ：テーパ部・ ８：爪開閉板、 ８ｂ ：Ｖ字溝部、 ９：ねじ、 ２０：キャリアガイド板、 ２３：キャリアガイド板、 ２５：爪レバー ２８：ストッパ板、 ３５：キャリアガイド板、 ４５：爪開閉板、 ４５ｂ＝溝、 ４６：ピン、４７：ばね。 るキャリア取出し動作の説明図、第６図は収納装置の要
部を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、第７図（
ａ）乃至（ｄ）は収納装置におけるキャリア収納動作の
説明図である。 味 ω 第７ （ａ） （ｂ） （Ｃ） （ｄ） ５：キャリアキ甲−ヒけ゛′炎衿オ及 ６−キャリア＋甲上」ｒ′才反 ７ＶｌｌＰＡ＊を寺 １反 ２１−キτり了 ２５：ハレバ°− ２Ｇ ２７：ピン ２８：ストツハ１反 ５ｂ ５ｃ １言“ね 匹開ｎ扱 テーバ０畜β 溝 デーノｑ音ｐ ヒ０ン １よ°′ね
Claims (2)
- （１）下方が開放し、キャリアの幅より若干大きな間隔
を明けて対向配設されたキャリアガイド手段と、このキ
ャリアガイド手段に回転自在に対向して配設され、該キ
ャリアガイド手段に収納された最下位のキャリアを支持
する爪手段と、前記キャリアガイド手段の下方より該キ
ャリアガイド手段間に上下動駆動されるキャリア押上げ
手段と、このキャリア押上げ手段に設けられ、該キャリ
ア押上げ手段と共に上昇して前記爪手段を開かせて前記
キャリアガイド手段に収納されたキャリアを前記キャリ
ア押上げ手段上に載置させ、前記キャリア押上げ手段の
下降時に該キャリア押上げ手段上に載置された直上のキ
ャリアを前記爪手段で保持させる爪開閉手段とを備えた
ことを特徴とする供給装置。 - （２）下方が開放し、キャリアの幅より若干大きな間隔
を明けて対向配設されたキャリアガイド手段と、このキ
ャリアガイド手段に回転自在に対向して配設され、該キ
ャリアガイド手段に収納された最下位のキャリアを支持
する爪手段と、前記キャリアガイド手段の下方より該キ
ャリアガイド手段間に上下動駆動されるキャリア押上げ
手段と、このキャリア押上げ手段に設けられ、該キャリ
ア押上げ手段と共に上昇して該キャリア押上げ手段上の
キャリアを前記キャリアガイド手段内に位置させるよう
に前記爪手段を開かせ、前記キャリア押上げ手段の下降
時に該キャリア押上げ手段上のキャリアを前記爪手段で
保持させる爪開閉手段とを備えたことを特徴とする収納
装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21722788A JP2534109B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 供給装置及び収納装置 |
| US07/379,324 US5032055A (en) | 1988-08-31 | 1989-07-12 | Carrier receiving device for bonding machines |
| KR1019890012200A KR920006095B1 (ko) | 1988-08-31 | 1989-08-26 | 공급장치 및 수납장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21722788A JP2534109B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 供給装置及び収納装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265251A true JPH0265251A (ja) | 1990-03-05 |
| JP2534109B2 JP2534109B2 (ja) | 1996-09-11 |
Family
ID=16700839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21722788A Expired - Fee Related JP2534109B2 (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 | 供給装置及び収納装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5032055A (ja) |
| JP (1) | JP2534109B2 (ja) |
| KR (1) | KR920006095B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110668160A (zh) * | 2019-09-25 | 2020-01-10 | 武汉滨湖电子有限责任公司 | 一种货柜存储装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2445228C (en) * | 2002-10-17 | 2008-08-12 | Honda Motor Co., Ltd. | Blank support device |
| CH701061B1 (fr) * | 2006-10-06 | 2010-11-30 | Plumettaz Sa | Dispositif de pose d'un câble. |
| CN102602731B (zh) * | 2012-03-27 | 2014-09-03 | 明基材料有限公司 | 片状物接收装置及具有其的片状物制作装置 |
| US20140308107A1 (en) * | 2013-04-12 | 2014-10-16 | Michael Nickles | Last-in, first-out bottom-loading, bottom-deloading vertical storage and retrieval system and method of manufacture |
| CN107555300B (zh) * | 2017-09-27 | 2019-06-18 | 郑招才 | 一种电梯门板稳定架 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US548056A (en) * | 1895-10-15 | Machinery | ||
| US1330639A (en) * | 1919-06-04 | 1920-02-10 | Leumann Richard | Device for feeding tablets of chocolate and similar articles to tables of wrapping-machines |
| US4359305A (en) * | 1979-12-05 | 1982-11-16 | Weyerhaeuser Company | Method and apparatus for accumulating and dispensing tray-like objects |
| JPS61254423A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-12 | Nitto Seiko Co Ltd | レバ−作動装置 |
| US4684308A (en) * | 1985-08-28 | 1987-08-04 | Dorner Mfg. Corp. | Stacker assembly for a conveyor system |
| US4671722A (en) * | 1985-10-30 | 1987-06-09 | Zenith Electronics Corporation | Automatic positioning of electronic components on a walking beam |
| US4809881A (en) * | 1987-04-16 | 1989-03-07 | Total Tote, Inc. | Bin dispensing machine |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP21722788A patent/JP2534109B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-07-12 US US07/379,324 patent/US5032055A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-08-26 KR KR1019890012200A patent/KR920006095B1/ko not_active Expired
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110668160A (zh) * | 2019-09-25 | 2020-01-10 | 武汉滨湖电子有限责任公司 | 一种货柜存储装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2534109B2 (ja) | 1996-09-11 |
| US5032055A (en) | 1991-07-16 |
| KR900004237A (ko) | 1990-03-27 |
| KR920006095B1 (ko) | 1992-07-27 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |