JPH026590Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は走査電子顕微鏡等に使用される走査信
号発生回路に関する。

走査電子顕微鏡等においては、交流電源の周波
数に同期したノイズの画面に対する影響をできる
だけ押えるため、電源に同期した走査信号を発生
する走査信号発生回路を使用している。第１図は
このような従来の走査信号発生装置を説明するた
めのもので、電源より供給される電力に基づいて
第１図ａに示す如き同期信号が作成されたとする
と、走査信号発生装置は、この同期信号に基づい
て積分を開始し、鋸歯状波の立ち下がり（充電）
が一定のレベルまで到達すると、放電を行なつて
第１図ｂに示す如き鋸歯状波信号を発生させてい
る。ところで、商用周波数としては50Hzと60Hzが
広く用いられているが、60Hzの電源で使用してい
た状態から50Hzで使用する状態に切換えると、周
期が16.7msから20msに変化するため、そのまま
では鋸歯状波信号が一定レベルに止まつている期
間Ａは長くなる。この期間Ａにおいては、電子線
は試料上の一点に固定して照射されるため、この
期間が長くなることは試料のダメージと汚染の上
から望ましくない。そのため、従来の装置におい
ては電源周波数を60Hzから50Hzに切換える際に
は、走査信号発生装置内の走査信号発生回路の時
定数を手動にてより大きな傾斜角の鋸歯状波に対
応するものに切換えている。又、逆に、電源周波
数を60Hzから50Hzに切換える際には、そのままで
は同期がうまくとれないため、走査信号発生回路
の時定数を手動にてより小さな傾斜角の鋸歯状波
に対応したものに切換えている。このように、従
来の装置においては、電源の周波数が切換えられ
る都度、時定数を手動にて、切換えなければなら
ず、面倒であつた。

本考案は、このような従来の欠点を解決し、交
流電源の周波数の切換えに応じて、自動的に時定
数を切換えて異なつた傾斜角を有する鋸歯状波を
発生することのできる走査電子顕微鏡等の走査信
号発生装置を提供することを目的としている。

本考案は交流電源よりの出力信号に同期した鋸
歯状波を発生する鋸歯状波発生回路と、該鋸歯状
波発生回路より出力される鋸歯状波の傾斜角を切
換えるための切換回路とを具備した装置におい
て、前記交流電源の周期を基準周期と比較し、こ
の比較に基づいて前記切換回路を自動的に切換え
るための手段を具備したことを特徴としている。

以下、図面に基づき本考案の実施例を詳述す
る。

第２図は、本考案の一実施例を示すためのブロ
ツク図であり、図中１は交流電源であり、この交
流電源１よりの50Hz又は60Hzのsin波形信号は波
形整形回路２に供給される。波形整形回路２は供
給された信号を微分して波形整形する。この波形
整形回路２よりの出力信号は、第１の再トリガー
型単安定マルチバイブレータ３に供給される。再
トリガー型単安定マルチバイブレータ３は時定数
T₁を設定でき、このT₁より入力されるパルスの
パルス間隔が短ければ、最初の入力パルス以後ハ
イレベル出力を出力し続け、逆に入力パルスの間
隔がT₁より長ければ、入力パルスに同期したパ
ルス間隔T₁のパルスを発生する。この第１の再
トリガー型単安定マルチバイブレータの時定数
T₁は60Hzの周期16.7msより大きく且つ50Hzの周
期20msより小さく設定されている。第１の再ト
リガー型単安定マルチバイブレータ３の出力信号
は第２の再トリガー型単安定マルチバイブレータ
４に供給されている。この第２の再トリガー型単
安定マルチバイブレータ４の時定数T₂は20msよ
り大きく設定されている。この第２の再トリガー
型単安定マルチバイブレータ４の出力信号は、時
定数切換回路５に供給されている。この時定数切
換回路５は再トリガー型単安定マルチバイブレー
タ４の出力信号に基づいて、ミラー積分回路６の
入力端子INを第１の直流電源７ａと第２の直流
電源７ｂとの間で切換えるための回路である。直
流電源７ａの出力電圧E₁は直流電源７ｂの出力
電圧E₂より大きく設定されている。ミラー積分
回路６はこれら直流電源７ａ又は７ｂよりの出力
信号を積分することにより、鋸歯状の走査信号を
発生するためのもので、積分器６ａ、オンオフス
イツチ６ｂ、充放電制御信号発生器６ｃ等より成
つている。このうち、充放電制御信号発生器６ｃ
には、前記波形整形回路２よりの信号が供給さ
れ、充放電制御信号発生器６ｃはこの同期信号に
基づいてオンオフスイツチ６ｂをオンさせるため
の信号を発生すると共に、積分器６ａよりの出力
信号を監視し、積分出力が予め設定した所定のレ
ベルまで到達したら、オンオフスイツチ６ｂをオ
フさせるための信号を発生する。ミラー積分回路
６よりの出力信号は端子OUTより取り出される。

このような構成において、交流電源１よりの信
号を例えば、第３図ａに示すように60Hzの信号で
あつたとすると、波形整形した回路２よりの出力
信号は第３図ｂに示す如きものとなる。この波形
整形回路２よりの出力信号は第１の再トリガー型
単安定マルチバイブレータ３に供給されるが、再
トリガー型単安定マルチバイブレータ３の時定数
T₁はこの供給されるパルス信号の周期16.7msよ
り大きく設定されているため、再トリガー型単安
定マルチバイブレータ３より第３図ｃに示す如き
出力信号が発生する。この出力信号は第２の再ト
リガー型単安定マルチバイブレータ４に供給され
るが、第２の再トリガー型単安定マルチバイブレ
ータ４には１発のパルスしか供給されないため、
第２の再トリガー型単安定マルチバイブレータ４
は第３図ｄに示す如き時定数T₂のパルスを発生
する。この信号は時刻ｔ以後はローレベルの信号
であるが、時定数切換回路５はローレベルの信号
が供給されると、大きな出力電圧を有する直流電
源７ａをミラー積分回路６の入力端子INに接続
するよう動作する。そのため、ミラー積分回路６
は時刻ｔ以後（ｂ図の同期パルスに同期して）、
第３図ｅに示すように傾斜角の大きな鋸歯状波信
号を発生する。そこで、交流電源１の周波数が50
Hzに切換えられたとすると、波形整形回路２の出
力信号は第３図ｆに示す如きものとなる。第１の
再トリガー型単安定マルチバイブレータ３の時定
数T₁はそのときの波形整形回路２の出力信号の
周期20msより小さく設定されているため、第１
の再トリガー型単安定マルチバイブレータ３の出
力信号は第３図ｇに示すように、周期20msのパ
ルス信号となる。この出力信号のパルス間隔は第
２の再トリガー型単安定マルチバイブレータ４の
時定数T₂より小さいため、第２の再トリガー型
単安定マルチバイブレータ４の出力信号は第３図
ｈに示す如きものとなり、時定数切換回路５には
ハイレベル信号が供給される。そのため、時定数
切換回路５はそれまでの、直流電源７ａの出力信
号にかえて直流電源７ｂをミラー積分回路６の入
力端子INに接続する。その結果、ミラー積分回
路６より第３図ｉに示すように、傾斜角の小さい
鋸歯状波信号が発生する。

上述した説明から明らかなように、本考案にお
いては、交流電源の周波数が切換えられるのに応
じて自動的に走査信号発生回路より発生する鋸歯
状波の傾斜角を切換えることができ、極めて便利
である。

尚、上述した実施例においては、発生する鋸歯
状波の傾斜角を切換えるため、ミラー積分回路の
入力端子に接続する直流電源を切換えるようにし
たが、コンデンサの容量等を切換えるようにして
も良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置の欠点を説明するための図、
第２図は本考案の一実施例を示すための図、第３
図は第２図に示した一実施例装置の各回路よりの
出力信号を例示するための図である。 １：交流電源、２：波形整形回路、３，４：再
トリガー型単安定マルチバイブレータ、５：時定
数切換回路、６：ミラー積分回路、６ａ：積分
器、６ｂ：オンオフスイツチ、６ｃ：充放電制御
信号発生器、７ａ，７ｂ：直流電源。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 交流電源よりの出力信号に同期した鋸歯状波を
   発生する鋸歯状波発生回路と、該鋸歯状波発生回
   路より出力される鋸歯状波の傾斜角を切換えるた
   めの切換回路とを具備した装置において、前記交
   流電源の周期を基準周期と比較し、この比較に基
   づいて前記切換回路を自動的に切換えるための手
   段を具備したことを特徴とする走査電子顕微鏡等
   の走査信号発生回路。