JPH0265938U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0265938U JPH0265938U JP14630688U JP14630688U JPH0265938U JP H0265938 U JPH0265938 U JP H0265938U JP 14630688 U JP14630688 U JP 14630688U JP 14630688 U JP14630688 U JP 14630688U JP H0265938 U JPH0265938 U JP H0265938U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- diaphragm
- piezoelectric diaphragm
- pump
- voltage
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
第１図ないし第３図は本考案の第１の実施例を
示し、第１図は圧電ポンプの全体を示す概略的な
縦断面図、第２図は圧電アクチユエータの斜視図
、第３図は全体の構成回路図、第４図および第５
図は本考案の第２の実施例を示し、第４図は圧電
アクチユエータの斜視図、第５図は全体の構成回
路図、第６図は本考案の第３の実施例を示す圧電
アクチユエータの斜視図である。 １……圧電ポンプ、５……ポンプ室、１４……
バイモルフ振動板、１６……圧電高分子フイルム
、２０……制御部、２２……検出部、２３……調
整部、２４……演算部、３２……撓み量検出体、
４２……歪ゲージ。
示し、第１図は圧電ポンプの全体を示す概略的な
縦断面図、第２図は圧電アクチユエータの斜視図
、第３図は全体の構成回路図、第４図および第５
図は本考案の第２の実施例を示し、第４図は圧電
アクチユエータの斜視図、第５図は全体の構成回
路図、第６図は本考案の第３の実施例を示す圧電
アクチユエータの斜視図である。 １……圧電ポンプ、５……ポンプ室、１４……
バイモルフ振動板、１６……圧電高分子フイルム
、２０……制御部、２２……検出部、２３……調
整部、２４……演算部、３２……撓み量検出体、
４２……歪ゲージ。
Claims (1)
- ポンプ室の少なくとも一面を圧電振動板によつ
て構成し、この圧電振動板に電圧を印加すること
によつて上記ポンプ室の内容積を変化させ、流体
を吸込み、吐出する圧電ポンプにおいて、上記圧
電振動板の少なくとも一部にその圧電振動板の撓
み量を検出する圧電振動板よりも柔軟性の優れた
薄板状の撓み量検出手段を設けるとともに、この
撓み量検出手段の検知信号に応じて上記圧電振動
板に印加する電圧あるいは周波数をフイードバツ
ク制御するフイードバツク制御手段を設けたこと
を特徴とする圧電ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14630688U JPH0265938U (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14630688U JPH0265938U (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0265938U true JPH0265938U (ja) | 1990-05-17 |
Family
ID=31415669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14630688U Pending JPH0265938U (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0265938U (ja) |
-
1988
- 1988-11-09 JP JP14630688U patent/JPH0265938U/ja active Pending
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