JPH0266023A - 半導体基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造装置に関し、特に半導体基板（以下
、ウェハと称する）の搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のウェハ搬送装置は、第３図に示すように
、ハウジング１１に配設した複数個の搬送プーリ１２に
よりウェハＷを支持しながら、搬送プーリ１２の回転に
よって移動させるようになっている。そして、搬送プー
リ１２は、伝動プーリ１４及びこれに巻掛けたベルト１
５を利用してモータ１３によって駆動させている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のウェハ搬送装置では、伝動プーリ１４と
ベルト１５との間の摩擦力を利用して搬送プーリ１２を
駆動しているため、スリップによるウェハの搬送不良が
生じ易い。又、ベルト１５の切断やベルト外れが生じる
こともあり、これが原因とされるウェハの搬送不良も生
じ易い。

本発明は確実なウェハの搬送を可能とする半導体基板搬
送装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の半導体基板搬送装置は、半導体基板を搬送する
搬送プーリを直接又は歯車機構を介してモータに連結し
、このモータの回転力により搬送プーリを回転駆動させ
るように構成している。

〔作用〕

上述した構成では、モータと搬送プーリとの間に、摩擦
、ベルト切れ、ベルト外れ等による伝達不良が生じるこ
とはなく、搬送プーリの確実な回転駆動が可能となる。

〔実施例〕

次に、本発明を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１実施例の斜視図である。

枠状に構成したハウジング１には複数の搬送プーリ２を
回転可能に支持している。そして、各搬送プーリ２の回
転軸に対応して、ハウジングｌの一側には夫々モータ３
を配設し、これらのモータ３によって各搬送プーリ２の
回転軸を直接回転させている。なお、各モータ３は同一
規格であり、図外の電気系により夫々同期的に回転され
るように構成している。

この構成によれば、各搬送プーリ２は夫々モータ３によ
って回転駆動されるため、摩擦やベルト切れ、ベルト外
れ等が原因とされる搬送プーリ２の回転不良が生じるこ
とはな（、ウェハＷを確実に搬送することが可能となる
。

第２図は本発明の第２実施例の斜視図であり、第１図と
同一部分には同一符号を付しである。ここでは、搬送プ
ーリ２の各回転軸をハウジング１の一側から突出させ、
夫々にウオームギヤ４を固着している。そして、各ウオ
ームギヤ４にはモータ３によって回転される駆動軸５に
取着したビニオン６を噛合させ、このピニオン６とウオ
ームギヤ４の噛合によりモータ３の回転力を各搬送プー
リ２に伝達させている。

この実施例では、モータ３の回転力はビニオン６及びウ
オームギヤ４を介して搬送プーリ２に確実に伝達される
ので、摩擦やベルト切れ等による搬送不良が生じること
は全くない。また、この実施例ではモータが１個である
ため、消費電力が少なく、各プーリの回転数も同一とな
るためスムーズなウェハの搬送が可能となる。

（発明の効果〕 以上説明したように本発明は、搬送プーリを直接又は歯
車機構を介してモータに連結しているので、モータと搬
送ブーりとの間に、摩擦、ベルト切れ、ベルト外れ等に
よる伝達不良が生じることはなく、搬送プーリの確実な
回転駆動を確保してウェハの安定した搬送を実現できる
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の斜視図、第２図は本発明
の第２実施例の斜視図、第３図は従来装置の斜視図であ
る。 １・・・ハウジング、２・・・搬送プーリ、３・・・モ
ータ、４・・・ウオームギヤ、５・・・駆動軸、６・・
・ピニオン、１１・・・ハウジング、１２・・・搬送プ
ーリ、１３・・・モータ、１４・・・伝動プーリ、１５
・・・ベルト。 第１図 第 図 第 図 １３七−夕

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、回転駆動される搬送プーリにより半導体基板を搬送
   する装置において、前記搬送プーリを直接又は歯車機構
   を介してモータに連結し、このモータの回転力により搬
   送プーリを回転駆動させるように構成したことを特徴と
   する半導体基板搬送装置。