JPS6094286A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPS6094286A JPS6094286A JP20091183A JP20091183A JPS6094286A JP S6094286 A JPS6094286 A JP S6094286A JP 20091183 A JP20091183 A JP 20091183A JP 20091183 A JP20091183 A JP 20091183A JP S6094286 A JPS6094286 A JP S6094286A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulleys
- fixed
- wound around
- pulley
- belt
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Manipulator (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、半導体製造装置においてウェハを搬送するウ
ェハ搬送装置に関するものである。
ェハ搬送装置に関するものである。
ドライエツチング装置、プラズマＣＶＤ装置等の半導体
製造装置に（ｄいてウェハな搬送するウェハ搬送装置と
しては、従来、一定位置でのみ往復動してウェハを直進
搬送する装置や一定半径でのみ部分回動してウェハを旋
回搬送する装置が慣用されているー このようなウェハ搬送装置では、ウェハの搬送区域が固
定されているため、任意の位置間でウェハを自由搬送で
きないといった欠点があった。
製造装置に（ｄいてウェハな搬送するウェハ搬送装置と
しては、従来、一定位置でのみ往復動してウェハを直進
搬送する装置や一定半径でのみ部分回動してウェハを旋
回搬送する装置が慣用されているー このようなウェハ搬送装置では、ウェハの搬送区域が固
定されているため、任意の位置間でウェハを自由搬送で
きないといった欠点があった。
本発明の目的は、直進機能と旋回機能とを具備すること
で、任意の位置間でウェハを自由搬送できるウェハ搬送
装置を提供することにある・〔発明のＲ要］ 本発明は、所定佼１ηに軸線を平行に配設された２個の
巻取プーリと、該ブーりに対しそれぞれ同心状に取り付
けられた２個の小径プーリと、該プーリに対し軸線が平
行に配設された２個のプーリと、該プーリに対しそれぞ
れ同心に固定され外周に複数の爪が突設された２個の風
車と、該風車の爪に噛み合う穴を有し一端を巻取プーリ
に固定して巻き伺けられ風車の外周の一部に巻回された
後の他端側が隣接状態となる２本のベルトと、該ベルト
の他端に固定されたアームと、該アームに固定され上面
にウェハが載置されるウェハ支持部材と、それぞれの小
径プーリに一端が固定され無負荷状態で小径プーリに巻
きＩＩＺり可能に取り付けられ他端をブーりの外周に固
定し巻回された２本の定張力バネと、ベルトを繰り出し
可能にブーりを回転駆動する駆動装置と、ベルトの繰り
出し方向を任意方向とする旋回装置とを設けたことを特
徴とするもので、ウェハ搬送装置に直進機能と旋回機能
とを具備させたものである。
で、任意の位置間でウェハを自由搬送できるウェハ搬送
装置を提供することにある・〔発明のＲ要］ 本発明は、所定佼１ηに軸線を平行に配設された２個の
巻取プーリと、該ブーりに対しそれぞれ同心状に取り付
けられた２個の小径プーリと、該プーリに対し軸線が平
行に配設された２個のプーリと、該プーリに対しそれぞ
れ同心に固定され外周に複数の爪が突設された２個の風
車と、該風車の爪に噛み合う穴を有し一端を巻取プーリ
に固定して巻き伺けられ風車の外周の一部に巻回された
後の他端側が隣接状態となる２本のベルトと、該ベルト
の他端に固定されたアームと、該アームに固定され上面
にウェハが載置されるウェハ支持部材と、それぞれの小
径プーリに一端が固定され無負荷状態で小径プーリに巻
きＩＩＺり可能に取り付けられ他端をブーりの外周に固
定し巻回された２本の定張力バネと、ベルトを繰り出し
可能にブーりを回転駆動する駆動装置と、ベルトの繰り
出し方向を任意方向とする旋回装置とを設けたことを特
徴とするもので、ウェハ搬送装置に直進機能と旋回機能
とを具備させたものである。
本発明の一実施例を図面により説明する。
図面で、所定位置に軸心を平行に配設された２個の巻取
ブー’７１０ａ、１０ｂには、巻取プーリ１０ａ。
ブー’７１０ａ、１０ｂには、巻取プーリ１０ａ。
１０ ｂに対しそれぞれ同心に２個の小径ブー’Ｎｌａ
。
。
１１ ｂが取り付けらね、ている。小径ブー’ｌ１ｌａ
、１１ｂに対し軸線が平行に２個のブー’Ｊ１２ａ、１
２ｂが配設され、ブー’＋ １２ ａ、 １２ ｂには
、外周に複数の爪１３ａ、１３ｂが突設された２個の風
車１４ａ、１４ｂがそれぞれ同心に固定されている。ベ
ルト２０３゜２０ｂは風車１４ａ、１４ｂの爪１３ａ、
１３ｂに噛み合う穴２１ａ、２１ｂ’＆有し、一端を巻
取プーリ１０ａ、１０ｂに固定し巻回され、他端側は風
車１４ａ、１４ｂのタト周の一部に巻回された後に隣接
状態となるように配設されており、他端には、上面にウ
ニ／Ｘ（図示省略）が載置されるウニ１１支持部材（９
）を固定したアーム３１が固定されている。定張カッく
ネ４０ ａ 。
、１１ｂに対し軸線が平行に２個のブー’Ｊ１２ａ、１
２ｂが配設され、ブー’＋ １２ ａ、 １２ ｂには
、外周に複数の爪１３ａ、１３ｂが突設された２個の風
車１４ａ、１４ｂがそれぞれ同心に固定されている。ベ
ルト２０３゜２０ｂは風車１４ａ、１４ｂの爪１３ａ、
１３ｂに噛み合う穴２１ａ、２１ｂ’＆有し、一端を巻
取プーリ１０ａ、１０ｂに固定し巻回され、他端側は風
車１４ａ、１４ｂのタト周の一部に巻回された後に隣接
状態となるように配設されており、他端には、上面にウ
ニ／Ｘ（図示省略）が載置されるウニ１１支持部材（９
）を固定したアーム３１が固定されている。定張カッく
ネ４０ ａ 。
４０ｂは、この場合、テープ状であり、一端Ｉま小径ブ
ー’１ｌｌａ、ｊｌｂに固定し巻回され他端１よブー―
Ｊ１２ａ、１２ｂに固定し巻回されており、無負荷状態
になったとき自己の張力１こよって小径ブー’Ｊｌｌａ
。
ー’１ｌｌａ、ｊｌｂに固定し巻回され他端１よブー―
Ｊ１２ａ、１２ｂに固定し巻回されており、無負荷状態
になったとき自己の張力１こよって小径ブー’Ｊｌｌａ
。
１１ ｂに巻き取られるようになっている。駆動装置間
は、例えば、モータ５１と歯車５２ ａ、 ５２ ｂ、
５３ ａ＋Ｆｓ、３ ｂと軸５４ａ、５４ｂとで構成
されている。軸５４ａ。
は、例えば、モータ５１と歯車５２ ａ、 ５２ ｂ、
５３ ａ＋Ｆｓ、３ ｂと軸５４ａ、５４ｂとで構成
されている。軸５４ａ。
５４ｂは、プーリ１２ａ、＋２ｂに垂設され、その下端
には、歯車５３ａ、５３ｂが設けられている。歯車５３
ａには歯車５２ ａが、歯車５３ ｂには歯車５２ ｂ
がそれぞれ噛合し、また、歯車５２ ａ ＋ ５２ ｂ
は噛合している。モータ５１の回転軸５５には、歯車５
２ ａが設けられている。旋回装置印は、例えば、モー
タ６１と歯車６２とテーブル６３とで構成されている０
テーブル６３には、巻取プーリ１０ ａ ＋ １０ ｂ
ｌ 小径プーリｌｌａ。
には、歯車５３ａ、５３ｂが設けられている。歯車５３
ａには歯車５２ ａが、歯車５３ ｂには歯車５２ ｂ
がそれぞれ噛合し、また、歯車５２ ａ ＋ ５２ ｂ
は噛合している。モータ５１の回転軸５５には、歯車５
２ ａが設けられている。旋回装置印は、例えば、モー
タ６１と歯車６２とテーブル６３とで構成されている０
テーブル６３には、巻取プーリ１０ ａ ＋ １０ ｂ
ｌ 小径プーリｌｌａ。
１１ｂ、 プーリ１２ａ、＋２ｂ、風車１４ａ、１４ｂ
、ベルト２０ａ、２０ｂ、ウェハ支持部材間、アーム３
１．定張カパネ４０ａ、４０ｂおよび駆動装置（資）が
上記のように構設されて搭載されている。テーブル４２
の側面には歯車６２と噛合する歯が刻設され歯車６２は
、モータ６１の回動軸θに設けられている・このような
構成においては、アーム３１．ウェハ支持部材３０を矢
印入方向に直進させるときは、モータ５１の動力を歯車
５２ ａ 、 ５２ ｂ 、 ５３ ａ 、 ５３ ｂ
＋軸５４ａ、５４ｂに伝えプーリ１２ａ、＋２ｂをそ
れぞれ矢印Ｂ、Ｃの如（反対方向に回転させる。このよ
うなブー’ｊ１２ａ、１２ｂの回転によりベルト２０ａ
、２０ｂは風車１４ａ、１４ｂによって滑ることなく正
確に繰り出され、その結果、アーム３１．ウェハ支持部
材（９）は矢印入方向の所、定位置まで正確に直進させ
られる、このとき、定張力バネ４０ａ、４０ｂは、張力
に坑してプーリ１２ａ、１２ｂにそれぞれ巻き付けられ
る。その後、モータ５１を停止させると定張力バネ４０
ａ、４０ｂは無負荷状態となり、自己の張力により小径
プーリ１１ ａ 、口すに巻き取られる。したがって、
ベルト２０ａ、２０ｂは矢印入方向と反対方向に後退さ
せられ、アーム３１．ウェハ支持部材（資）は矢印入方
向に直進する前の位置まで戻される。
、ベルト２０ａ、２０ｂ、ウェハ支持部材間、アーム３
１．定張カパネ４０ａ、４０ｂおよび駆動装置（資）が
上記のように構設されて搭載されている。テーブル４２
の側面には歯車６２と噛合する歯が刻設され歯車６２は
、モータ６１の回動軸θに設けられている・このような
構成においては、アーム３１．ウェハ支持部材３０を矢
印入方向に直進させるときは、モータ５１の動力を歯車
５２ ａ 、 ５２ ｂ 、 ５３ ａ 、 ５３ ｂ
＋軸５４ａ、５４ｂに伝えプーリ１２ａ、＋２ｂをそ
れぞれ矢印Ｂ、Ｃの如（反対方向に回転させる。このよ
うなブー’ｊ１２ａ、１２ｂの回転によりベルト２０ａ
、２０ｂは風車１４ａ、１４ｂによって滑ることなく正
確に繰り出され、その結果、アーム３１．ウェハ支持部
材（９）は矢印入方向の所、定位置まで正確に直進させ
られる、このとき、定張力バネ４０ａ、４０ｂは、張力
に坑してプーリ１２ａ、１２ｂにそれぞれ巻き付けられ
る。その後、モータ５１を停止させると定張力バネ４０
ａ、４０ｂは無負荷状態となり、自己の張力により小径
プーリ１１ ａ 、口すに巻き取られる。したがって、
ベルト２０ａ、２０ｂは矢印入方向と反対方向に後退さ
せられ、アーム３１．ウェハ支持部材（資）は矢印入方
向に直進する前の位置まで戻される。
また、アーム３１． ウェハ支持部材間を次回させると
きは、モータ６１の動力を歯車６２．テーブル６３に伝
えテーブル６３を任意回転方向に回動させる。このよう
なテーブル６３の回動によりアーム３１．ウェハ支持部
材（資）は、任意回転方向に次回させられる。
きは、モータ６１の動力を歯車６２．テーブル６３に伝
えテーブル６３を任意回転方向に回動させる。このよう
なテーブル６３の回動によりアーム３１．ウェハ支持部
材（資）は、任意回転方向に次回させられる。
本実施例のようなウェハ搬送装置では、次のような効果
が得られるー （１） 直進機能と旋回機能とを具備しているため、任
意の位置間でウェハを自由搬送できる。
が得られるー （１） 直進機能と旋回機能とを具備しているため、任
意の位置間でウェハを自由搬送できる。
（２） アーム、ウェハ支持部材を直進する前の位置ま
で戻した後に、任意の方向に旋回させることができるた
め、ウェハ搬送に要するスペースを小さくでき半導体９
Ｉ造装置全体をコンパクト化できる。
で戻した後に、任意の方向に旋回させることができるた
め、ウェハ搬送に要するスペースを小さくでき半導体９
Ｉ造装置全体をコンパクト化できる。
（３） ベルトが風車によって正確に繰り出されるため
、ウェハ搬送の精度を向上できると共に、その送り量の
制御が極めて容易となる。
、ウェハ搬送の精度を向上できると共に、その送り量の
制御が極めて容易となる。
本発明は、以上説明したように、所定位置に軸線を平行
に配設された２個の巻取プーリと、該プーリに対しそれ
ぞれ同心状に取り付けられた２個の小径プーリと、該プ
ーリに対し軸線が平行に配設された２個のブーりと、該
プーリに対しそれぞれ同心に固定され外周に複数の爪が
突設された２個の風車と、該風車の爪と噛み合う穴を有
し一端を巻取プーリに固定して巻き付けられ風車の外周
の一部に巻回された後の他端側が隣接状態となる２本の
ベルトと、該ベルトの他端に固定さｉｌ、たアームと、
該アームに固定されたウェハ支持部材と、それぞれの小
径プーリに一端が固定され無負荷状態で小径プーリに巻
き取り可能に取り付けられ他端をプーリの外周に固定し
巻回された２本の定張力バネと、ベルトを繰り出し可能
にブーりを回転駆動する駆動装置と、ベルトの繰り出し
方向を任意方向とする旋回装置とで構成したことで、ウ
ェハ搬送装置に直進機能と旋回機能とを具備できるので
、任意の位置間でウェハを自由搬送できるという効果が
ある。
に配設された２個の巻取プーリと、該プーリに対しそれ
ぞれ同心状に取り付けられた２個の小径プーリと、該プ
ーリに対し軸線が平行に配設された２個のブーりと、該
プーリに対しそれぞれ同心に固定され外周に複数の爪が
突設された２個の風車と、該風車の爪と噛み合う穴を有
し一端を巻取プーリに固定して巻き付けられ風車の外周
の一部に巻回された後の他端側が隣接状態となる２本の
ベルトと、該ベルトの他端に固定さｉｌ、たアームと、
該アームに固定されたウェハ支持部材と、それぞれの小
径プーリに一端が固定され無負荷状態で小径プーリに巻
き取り可能に取り付けられ他端をプーリの外周に固定し
巻回された２本の定張力バネと、ベルトを繰り出し可能
にブーりを回転駆動する駆動装置と、ベルトの繰り出し
方向を任意方向とする旋回装置とで構成したことで、ウ
ェハ搬送装置に直進機能と旋回機能とを具備できるので
、任意の位置間でウェハを自由搬送できるという効果が
ある。
図面は、本発明によるウェハ搬送装置の一実施例を示す
斜視構成図である。
斜視構成図である。
Claims (1)
- １ 所定位置に軸線を平行に配設された２個の巻取プー
リと、該プーリに対しそれぞれ同心に取り付けられた２
個の小径プーリと、該プーリに対し軸線が３ヒ行に配設
された２個のプーリと、該プーリに対しそｆｌ、ぞれ同
心に固定され外周に複数の爪が突設された２個の爪車と
、該爪車の前記爪に噛み合う穴を有し一端を前記巻取プ
ーリに固定して巻き付けられ前記爪車の外周の一部に巻
回された後の他端側が隣接状態となる２本のベルトと、
該ベルトの他端に固定されたアームと、該アームに固定
され上面にウェハが載１？Ｃされるつｔハ支持部材と、
それぞれの前記小径プーリに一端が固定され無負荷状態
で該小径プーリに巻き取り可能に取り付けられ他端を前
記プーリの外周に固定し巻回された２本の定張力バネと
、前記ベルトを繰り出し可能に前記プーリを回転能１１
に１＋−′１−る駆動装置と一面ｎ已ベルトの繰り出し
方向を任意方向とする旋回装置とを設けたことを特徴と
するウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20091183A JPS6094286A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20091183A JPS6094286A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6094286A true JPS6094286A (ja) | 1985-05-27 |
| JPS6339392B2 JPS6339392B2 (ja) | 1988-08-04 |
Family
ID=16432315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20091183A Granted JPS6094286A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6094286A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222906A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエ−ハ搬送機構 |
| JPH0866892A (ja) * | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Japan Servo Co Ltd | 伸縮回転駆動装置 |
| JP2009196026A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Takashi Saito | マニピュレータ機構 |
| JP2021102237A (ja) * | 2019-12-24 | 2021-07-15 | バキュームプロダクツ株式会社 | 搬送機構 |
| JP2021186887A (ja) * | 2020-05-25 | 2021-12-13 | 公立大学法人秋田県立大学 | 伸縮装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4858560A (ja) * | 1971-11-22 | 1973-08-16 |
-
1983
- 1983-10-28 JP JP20091183A patent/JPS6094286A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4858560A (ja) * | 1971-11-22 | 1973-08-16 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222906A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエ−ハ搬送機構 |
| JPH0866892A (ja) * | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Japan Servo Co Ltd | 伸縮回転駆動装置 |
| JP2009196026A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Takashi Saito | マニピュレータ機構 |
| JP2021102237A (ja) * | 2019-12-24 | 2021-07-15 | バキュームプロダクツ株式会社 | 搬送機構 |
| JP2021186887A (ja) * | 2020-05-25 | 2021-12-13 | 公立大学法人秋田県立大学 | 伸縮装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6339392B2 (ja) | 1988-08-04 |
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