JPH0268680U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0268680U JPH0268680U JP7097889U JP7097889U JPH0268680U JP H0268680 U JPH0268680 U JP H0268680U JP 7097889 U JP7097889 U JP 7097889U JP 7097889 U JP7097889 U JP 7097889U JP H0268680 U JPH0268680 U JP H0268680U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating body
- vacuum chamber
- diameter part
- ultra
- cylinder
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Dynamo-Electric Clutches, Dynamo-Electric Brakes (AREA)
Description
第１図乃至第４図は従来の回転導入装置の断面
図、第５図は本考案の実施例の断面図、第６図は
第５図の―線部分の断面図である。 １……真空室、５……真空壁、５ａ……大径部
、５ｂ……小径部、５ｃ……筒体、６……モータ
、７ａ，７ｂ……磁気カツプリング素子、８……
回転体、１１ａ，１１ｂ……浮上用磁石、１０ａ
，１０ｂ……横振れ防止用磁石。
図、第５図は本考案の実施例の断面図、第６図は
第５図の―線部分の断面図である。 １……真空室、５……真空壁、５ａ……大径部
、５ｂ……小径部、５ｃ……筒体、６……モータ
、７ａ，７ｂ……磁気カツプリング素子、８……
回転体、１１ａ，１１ｂ……浮上用磁石、１０ａ
，１０ｂ……横振れ防止用磁石。
Claims (1)
- 超高真空室の真空壁に、内部に大径部と小径部
を有し且つ内部が該超高真空室内へ連通する筒体
を形成して該筒体内に該超高真空内へ上下方向に
延びる回転体を収め、モータにより回転される該
超高真空室の外部の磁気カツプリング素子と、該
回転体に取付けた磁気カツプリング素子を該真空
壁を介して対向して設けると共に該筒体の小径部
に対応した超高真空室の外部の位置と該筒体の大
径部に対応した部分の回転体とに該回転体を浮上
させる浮上用磁石を夫々設け、更に該回転体と該
超高真空室内に該回転体の回転に伴う横振れを防
止する横振れ防止用磁石を設けて成る超高真空用
回転導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7097889U JPH0268680U (ja) | 1989-06-17 | 1989-06-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7097889U JPH0268680U (ja) | 1989-06-17 | 1989-06-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0268680U true JPH0268680U (ja) | 1990-05-24 |
Family
ID=31296192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7097889U Pending JPH0268680U (ja) | 1989-06-17 | 1989-06-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0268680U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52100053A (en) * | 1976-02-18 | 1977-08-22 | Hitachi Ltd | Rotation transmission shaft |
| JPS5846251B2 (ja) * | 1980-07-29 | 1983-10-15 | 日立化成工業株式会社 | 発泡性ビニル系重合体粒子の製造法 |
-
1989
- 1989-06-17 JP JP7097889U patent/JPH0268680U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52100053A (en) * | 1976-02-18 | 1977-08-22 | Hitachi Ltd | Rotation transmission shaft |
| JPS5846251B2 (ja) * | 1980-07-29 | 1983-10-15 | 日立化成工業株式会社 | 発泡性ビニル系重合体粒子の製造法 |