JPH0270429U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0270429U JPH0270429U JP15023888U JP15023888U JPH0270429U JP H0270429 U JPH0270429 U JP H0270429U JP 15023888 U JP15023888 U JP 15023888U JP 15023888 U JP15023888 U JP 15023888U JP H0270429 U JPH0270429 U JP H0270429U
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- JP
- Japan
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- quartz
- mounting table
- wheels
- sled
- holding
- Prior art date
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- Pending
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の正面図、第２図は
従来の半導体装置製造用石英そりの一例の正面図
である。 １……石英そり、２……車輪、３……石英ボー
ト、４……ウエーハ、５……フエンダー。
従来の半導体装置製造用石英そりの一例の正面図
である。 １……石英そり、２……車輪、３……石英ボー
ト、４……ウエーハ、５……フエンダー。
Claims (1)
- 半導体ウエーハを複数枚立てる石英ボードを載
置する平坦な面を有する載置台と、該載置台の両
側の前後に設けられた少くとも四つの車輪と、該
車輪の各々の上部に設けられたフエンダーとを有
する半導体装置製造用石英そり。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15023888U JPH0270429U (ja) | 1988-11-17 | 1988-11-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15023888U JPH0270429U (ja) | 1988-11-17 | 1988-11-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0270429U true JPH0270429U (ja) | 1990-05-29 |
Family
ID=31423201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15023888U Pending JPH0270429U (ja) | 1988-11-17 | 1988-11-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0270429U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017115573A1 (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 三菱電機株式会社 | 横型拡散炉および太陽電池セルの製造方法 |
-
1988
- 1988-11-17 JP JP15023888U patent/JPH0270429U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017115573A1 (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 三菱電機株式会社 | 横型拡散炉および太陽電池セルの製造方法 |