JPH0273301A - 光学式エンハンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、例えば被測定レンズを通したレーザビーム
スポットの回折像の光強度分布等の測定に用いるエンハ
ンサに関する。

従来の技術 レーザビームスポットの回折像の光強度は、第２図に示
すように、その０次回折像（図のａ）と高次の回折リン
グ（図のＣ等）との差が著しく、これらを撮像装置によ
り同時に測定するには精度上の困難さがある。

そこで、撮像装置内に二次元配列された各撮像素子の増
幅器のゲインを部分的に上、下、すなわち光強度の小さ
い部分のゲインを上げ、大きい部分のゲインを下げる電
気的なエンハンサが採用されていた。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、これにおいては構成が複雑化することが
避けられず、また、個々の増幅器のドリフトの差異等安
定性にも問題があった。

課題を解決するための方法 この発明は、予め撮像装置に入る前段階において光強度
の大きい部分の光強度を光学的に低下させるようにした
ものであり、多数個の撮像素子が二次元配列されＩこ撮
像装置の前部に、所定の透光率パターンを有するフィル
タを配置し、上記撮像装置の撮像素子出力を画像処理装
置に導入し、上記透光率パターンの各対応する透光率に
より補正するものである。

制能 これにおいて、光強度の大きい部分、例えばビームスポ
ットのＯ次回折像と対応する部分の透光率を下げたフィ
ルタを用いると、それと対応する部分の光強度はそれだ
け低下されて撮像素子に導かれ、電気的出力に変換され
る。そして、次にはその出力を各対応するフィルタの透
過率に基づいて補正することにより真の光強度分布が求
められる。

尚、このフィルタの透過率を実験的に求めるには、光強
度が−様な光をフィルタを介して撮像素子に導き、各撮
像素子の出力の大きさを比較すればよい。

犬ｍ％Ｊ ＰＩＳ１図において、１０は内部にＣＣＤ撮像素子が二
次元配列されたＣＣＤカメラであり、その前部にはフィ
ルタ２０とコリメートレンズ３０を有する保持筒４０が
装着され、また上記ＣＣＤカメラ１０の出力は演算器５
０に送出され、そこに予め記憶されている透過率に基づ
き補正演算が行なわれている。レーザビームスポットの
回折像の光強度分布の測定に際しては、上記フィルタ２
０は第３図に示すように、０次回折像と対向する部分に
インツーネル２２を蒸着したガラス板２１よりなる。こ
のフィルタ２０の透過率パターンは、ハロゲンランプと
光フアイバー束を用いて形成した一様強度の光をフィル
タ２０を介してＣＣＤカメラ１０に導入することにより
予め測定されており、その特性は第４図に示すように、
インツーネル蒸着部２２の透過率はガラス板２１のみの
部分の略１／４であって、これが各対応するＣＣＤ番号
に合わせて画像処理装置５０のメモリに格納されている
。

これによりＣＣＤカメラ１０には、第２図に破線すで示
すようにＯ次回折像部分の光量ａが１／４にされて導か
れ、またその外方の高次リング像はその光量のまま導か
れてＣＣＤにより電気出力に変換される。そして、その
出力は画像処理装置５０において、上記したフィルタ２
０の実測透過率パターンに基づいて補正され、真の光強
度分布の再現が行なわれる。

尚、上記実施例は、レーザビームスポットに対するもの
であるが、これに限らず種々の回折像に対し、その強度
分布に応じたフィルタを用いることにより実施し得る。

ＣＣＤカメラ フィルタ レンズ 保持筒 画像処理装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、多数個の撮像素子が二次元配列された撮像装置の前
   部に、所定の透光率パターンを有するフィルタを配置し
   、上記撮像装置の撮像素子出力を画像処理装置に導入し
   、上記透光率パターンの各対応する透光率により補正す
   るところの光学式エンハンサ。