JPH0273541A - 光ディスク製造方法 - Google Patents
光ディスク製造方法Info
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- JPH0273541A JPH0273541A JP63225014A JP22501488A JPH0273541A JP H0273541 A JPH0273541 A JP H0273541A JP 63225014 A JP63225014 A JP 63225014A JP 22501488 A JP22501488 A JP 22501488A JP H0273541 A JPH0273541 A JP H0273541A
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- Japan
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- laser
- disk
- control
- focus
- groove
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光ディスクの製造方法に関する。
従来の技術
第２図は従来ディスクのレプリカの一部を表す図である
。平面上に信号ピットが形成され、１はディスク基材、
２は信号ピット、３はレーザー入射方向である。これは
ＮＴ！ＥＣ方式のビデオディスクとして市販されている
。第３図でこのディスクの製造方法を説明する。ガラス
盤４の表面を研磨しく第３図ａ）、フォトレジスト６を
塗布する（第３図ｂ）。レーザー６を強度変調して信号
を記録しく第３図Ｃ）、現像すればマスター盤ができる
（第３図ｄ）。このマスター盤からヌタンパを作り、複
製でビデオディスクのレプリカを大量に作れる。しかし
、将来の用途を考えれば、光ディスクはより高密度化が
望まれ、■溝を用いた高密度方式が提案されている（特
開昭６７−１０５８２８号公報）。それは、従来ディス
クのトラックピッチと同程度の間隔でＶ溝を形成し、そ
の各斜面に信号を記録することで、記録密度を倍増する
ものである。
。平面上に信号ピットが形成され、１はディスク基材、
２は信号ピット、３はレーザー入射方向である。これは
ＮＴ！ＥＣ方式のビデオディスクとして市販されている
。第３図でこのディスクの製造方法を説明する。ガラス
盤４の表面を研磨しく第３図ａ）、フォトレジスト６を
塗布する（第３図ｂ）。レーザー６を強度変調して信号
を記録しく第３図Ｃ）、現像すればマスター盤ができる
（第３図ｄ）。このマスター盤からヌタンパを作り、複
製でビデオディスクのレプリカを大量に作れる。しかし
、将来の用途を考えれば、光ディスクはより高密度化が
望まれ、■溝を用いた高密度方式が提案されている（特
開昭６７−１０５８２８号公報）。それは、従来ディス
クのトラックピッチと同程度の間隔でＶ溝を形成し、そ
の各斜面に信号を記録することで、記録密度を倍増する
ものである。
第４図にＶ溝ディスクのレプリカの一部を示す。
この図で７はＶ溝斜面である。このディスクの製造法を
説明する（第５図）。銅盤８をダイヤモンド針９でカブ
ティングして（第５図ａ）Ｖ溝を形成する。尖端が１６
２度位のダイヤモンド針を銅盤に２〜３μｍ切り込んで
、銅盤を回転させる。
説明する（第５図）。銅盤８をダイヤモンド針９でカブ
ティングして（第５図ａ）Ｖ溝を形成する。尖端が１６
２度位のダイヤモンド針を銅盤に２〜３μｍ切り込んで
、銅盤を回転させる。
その１回転する間にダイアモンド針を約１．６μｍずつ
銅盤の半径方向に移動させる。こうして、ピンチが約１
．６μｍで斜面の成す角度が１６２度のＶ溝が形成され
る。このＶ溝上にフォトレジスト６を塗布する（第５図
ｂ）。フォトレジスト表面はＶ溝形状に沿わずほぼ平坦
になる。レーザー６を強度変調して斜面７上に信号を記
録する（第６図Ｃ）。現像すれば第５図ｄのようになる
が、これをマスター盤にしてスタンパを化９複製しても
第４図のようなディスクは得られず、クロストクが大き
く品質の良い信号を再生できない。第６図ａのようにイ
オンビーム１０を照射して、■溝表面に平行な底面を持
つ信号ピットを形成する。
銅盤の半径方向に移動させる。こうして、ピンチが約１
．６μｍで斜面の成す角度が１６２度のＶ溝が形成され
る。このＶ溝上にフォトレジスト６を塗布する（第５図
ｂ）。フォトレジスト表面はＶ溝形状に沿わずほぼ平坦
になる。レーザー６を強度変調して斜面７上に信号を記
録する（第６図Ｃ）。現像すれば第５図ｄのようになる
が、これをマスター盤にしてスタンパを化９複製しても
第４図のようなディスクは得られず、クロストクが大き
く品質の良い信号を再生できない。第６図ａのようにイ
オンビーム１０を照射して、■溝表面に平行な底面を持
つ信号ピットを形成する。
残ったフォトレジストを除けば、第６図すのようなマス
ター盤ができ、信号品質の良い高密度ビデオディスクが
作れる。
ター盤ができ、信号品質の良い高密度ビデオディスクが
作れる。
第３図ｃのレーザー記録に用いる光マスタリング装置に
ついて第７図を用いて説明する。１１はＡｒ レーザー
やＨｅＣｄレーザーなどの短波長レーザーで、１、フォ
トレジストを感光させることができる。変調器１２で信
号に合わせてレーザー強度を変調し、レンズ系１３でビ
ーム径を拡大してミラー１４で対物レンズ１６に導き、
原盤１６上に絞る。１７はスピンドルで原盤１６を回転
し、スライダ１８で原盤をその半径方向に移動させる。
ついて第７図を用いて説明する。１１はＡｒ レーザー
やＨｅＣｄレーザーなどの短波長レーザーで、１、フォ
トレジストを感光させることができる。変調器１２で信
号に合わせてレーザー強度を変調し、レンズ系１３でビ
ーム径を拡大してミラー１４で対物レンズ１６に導き、
原盤１６上に絞る。１７はスピンドルで原盤１６を回転
し、スライダ１８で原盤をその半径方向に移動させる。
また、２１は制御用の長波長レーザーであり、フォトレ
ジストは感度を持たない。２２はビームスプリッタであ
り、２３は短波長レーザーを透過させ長波長レーザーを
反射させｂフィルターである。
ジストは感度を持たない。２２はビームスプリッタであ
り、２３は短波長レーザーを透過させ長波長レーザーを
反射させｂフィルターである。
例えば、短波長とは４９０ ｎｍ以下で長波長とは５３
０ｎｍ以上ある。短波長レーザーにはＡｒレーザーやＨ
ｅ Ｃｄレーザーなどの青色レーザーが用いられ、長波
長レーザーには緑や赤のＨｅ Ｎ ｅレザーが用いられ
る。長波長レーザーも短波長レザーと同様に原盤上に導
き、その反射光はフィルり２３およびビームスプリッタ
２２で制御光学系２４に導かれる。
０ｎｍ以上ある。短波長レーザーにはＡｒレーザーやＨ
ｅ Ｃｄレーザーなどの青色レーザーが用いられ、長波
長レーザーには緑や赤のＨｅ Ｎ ｅレザーが用いられ
る。長波長レーザーも短波長レザーと同様に原盤上に導
き、その反射光はフィルり２３およびビームスプリッタ
２２で制御光学系２４に導かれる。
第２図の従来のディスクの製造では長波長レーザーは焦
点制御だけに用いられ、スピンド／ｌ／１７とスライダ
１８を精密に駆動させ一定のトラックピッチで記録すれ
ばよかった。しかし、第４図のＶ溝ディスクを製造する
には、第５図ＣのようにＶ溝斜面に短波長レーザーをト
ラッキングさせなければならない。そのためには、制御
用の長波長レーザーをトラッキング制御にも用いればよ
い。
点制御だけに用いられ、スピンド／ｌ／１７とスライダ
１８を精密に駆動させ一定のトラックピッチで記録すれ
ばよかった。しかし、第４図のＶ溝ディスクを製造する
には、第５図ＣのようにＶ溝斜面に短波長レーザーをト
ラッキングさせなければならない。そのためには、制御
用の長波長レーザーをトラッキング制御にも用いればよ
い。
長波長レーザースポットと短波長レーザースポットを原
盤上で一定間隔（ディスク半径方向にＶ溝ピッチの４分
の１）で配置し、長波長レーザースポットをｖＲの底ま
たは山にスラッキングすれば、短波長レーザーは自動的
にＶ溝斜面にトラッキングできる。
盤上で一定間隔（ディスク半径方向にＶ溝ピッチの４分
の１）で配置し、長波長レーザースポットをｖＲの底ま
たは山にスラッキングすれば、短波長レーザーは自動的
にＶ溝斜面にトラッキングできる。
発明が解決しようとする課題
従来の光マヌタリング用の制御光学系は焦点制御機能し
か持たなかった。また、ビデオディスクの再生光ピック
アップでは焦点制御とトラッキング制御は同じレーザー
スポットを用いていた。原盤１６上にレーザービームを
絞る対物レンズには、一般に色収差がある。その対物レ
ンズに入射する短波長レーザーと長波長レーザーの各ビ
ームの平行度を調節して、できるだけ同一平面に絞るよ
うにする。しかし、完全に同一平面に絞ることは困難で
ある。従って、長波長レーザースポットで焦点制御する
場合、長波長レーザーの最もよく絞られた位置から故意
に少しずらして焦点位置を調節することで、短波長レー
ザーの最もよく絞られた部分がＶ溝斜面上に照射させる
必要がある。しかし、光マスタリング装置の対物レンズ
はＮＡが高くて各レーザースポットの焦点深度が小さい
ので、その目的を達成するのは困難である。
か持たなかった。また、ビデオディスクの再生光ピック
アップでは焦点制御とトラッキング制御は同じレーザー
スポットを用いていた。原盤１６上にレーザービームを
絞る対物レンズには、一般に色収差がある。その対物レ
ンズに入射する短波長レーザーと長波長レーザーの各ビ
ームの平行度を調節して、できるだけ同一平面に絞るよ
うにする。しかし、完全に同一平面に絞ることは困難で
ある。従って、長波長レーザースポットで焦点制御する
場合、長波長レーザーの最もよく絞られた位置から故意
に少しずらして焦点位置を調節することで、短波長レー
ザーの最もよく絞られた部分がＶ溝斜面上に照射させる
必要がある。しかし、光マスタリング装置の対物レンズ
はＮＡが高くて各レーザースポットの焦点深度が小さい
ので、その目的を達成するのは困難である。
課題を解決するための手段
トラッキング制御と焦点制御のレーザービームを各々分
離して用いる。
離して用いる。
作 用
トラッキング制御用レーザービームはディスク上ででき
るだけ絞るが、焦点制御にはレーザービームをディスク
上で絞らなくてもよい方式を用いることかできる。焦点
制御にはディスク上でレーザービームを絞らないので、
対物レンズの焦点深度の小さい事が影響しなく、焦点位
置の調整可動範囲を広くすることができ、短波長レーザ
ースポットを■溝斜面上に絞るようにできる。
るだけ絞るが、焦点制御にはレーザービームをディスク
上で絞らなくてもよい方式を用いることかできる。焦点
制御にはディスク上でレーザービームを絞らないので、
対物レンズの焦点深度の小さい事が影響しなく、焦点位
置の調整可動範囲を広くすることができ、短波長レーザ
ースポットを■溝斜面上に絞るようにできる。
実施例
高品位ＴＶのＭＵＳＥ信号を、隣合うＶ溝斜面に２ｃｈ
に分けて記録する場合を考える（特開昭６０２１２８３
６号公報）。１ ａｈ当たり、ＦＭ信号のデビエーシヨ
ンを６〜８ ＭＨｚ 、帯域４ＭＨｚを必要とする。半
径５６ｆｆから１４６ｆｆの記録領域で線速度約１０ｍ
／ｓｅｃのＣＬＶで回転させれば、片面１時間のハイビ
ジョン・ビデオディスクを実現できる。
に分けて記録する場合を考える（特開昭６０２１２８３
６号公報）。１ ａｈ当たり、ＦＭ信号のデビエーシヨ
ンを６〜８ ＭＨｚ 、帯域４ＭＨｚを必要とする。半
径５６ｆｆから１４６ｆｆの記録領域で線速度約１０ｍ
／ｓｅｃのＣＬＶで回転させれば、片面１時間のハイビ
ジョン・ビデオディスクを実現できる。
第５図の銅盤としてアルミ盤に銅メツキしたものを用い
る。尖端が約１６２度のダイアモンド針で、その銅盤の
表面から２〜３μｍ切り込んでＶ溝を形成してゆく。銅
盤を回転させて１回転のダイア針の送りを１．６７μｍ
とする。■溝のピッチは同じように１．６７μｍになシ
、深さは０．１３μｍとなる。フォトレジストをシンナ
ーで薄めて銅盤上に塗布する。フォトレジストは■溝表
面に沿わず、表面張力などで第５図すのようにほぼ平面
となる。
る。尖端が約１６２度のダイアモンド針で、その銅盤の
表面から２〜３μｍ切り込んでＶ溝を形成してゆく。銅
盤を回転させて１回転のダイア針の送りを１．６７μｍ
とする。■溝のピッチは同じように１．６７μｍになシ
、深さは０．１３μｍとなる。フォトレジストをシンナ
ーで薄めて銅盤上に塗布する。フォトレジストは■溝表
面に沿わず、表面張力などで第５図すのようにほぼ平面
となる。
次に、短波長レーザーでＶ溝斜面上に信号を記録するが
、そのための光マスタリング装置を第１図を用いて説明
する。構成要素１１〜１８は第７図と同じである。２１
は第７図と同様の長波長レーザー（例えば、波長６３３
ｎｍのＨｅＮｅレーザー）であるが、第７図と異なり
、焦点制御だけではなくトラッキング制御にも用いる。
、そのための光マスタリング装置を第１図を用いて説明
する。構成要素１１〜１８は第７図と同じである。２１
は第７図と同様の長波長レーザー（例えば、波長６３３
ｎｍのＨｅＮｅレーザー）であるが、第７図と異なり
、焦点制御だけではなくトラッキング制御にも用いる。
２６はハーフミラ−で長波長レーザーを２分割する。ハ
ーフミラ−２６で反射したビームはミラー２７を経てデ
ィスク原盤に導かれる。その反射光はビームスプリッタ
２６で反射されてレンズ２８で絞られて２分割の光検出
器２９に照射される。この光検出器からの信号で焦点制
御を行う。また、ハーフミラ−２６を透過したビームは
拡大光学系３０でビーム径が拡大される。ビームスプリ
ッタ３１を経てフィルタ３２でＡｒ レーザーの光路に
合成されが る。、、３２は短波長光は透過すΔ長波長光は反射する
。同様にデイヌク原盤上に絞られて、その反射光はビー
ムスプリッタ３１で入射光路から分離されてレンズ３３
で絞られて光検出器３４に照射される。この３４からの
＠号でトラッキング制御が行われる。トラッキング制御
用のビーム径は拡大されているので、原盤上ではよく絞
られている。
ーフミラ−２６で反射したビームはミラー２７を経てデ
ィスク原盤に導かれる。その反射光はビームスプリッタ
２６で反射されてレンズ２８で絞られて２分割の光検出
器２９に照射される。この光検出器からの信号で焦点制
御を行う。また、ハーフミラ−２６を透過したビームは
拡大光学系３０でビーム径が拡大される。ビームスプリ
ッタ３１を経てフィルタ３２でＡｒ レーザーの光路に
合成されが る。、、３２は短波長光は透過すΔ長波長光は反射する
。同様にデイヌク原盤上に絞られて、その反射光はビー
ムスプリッタ３１で入射光路から分離されてレンズ３３
で絞られて光検出器３４に照射される。この３４からの
＠号でトラッキング制御が行われる。トラッキング制御
用のビーム径は拡大されているので、原盤上ではよく絞
られている。
ビーム拡大系３ｏでビームの平行度を調整してＡｒレー
ザーのスポットと同じほぼ平面に絞れるようにする。長
波長レーザーのスポット部はＡｒ レーザーのスポット
部とは完全に同一面に絞る事は極めて困難であるが、少
し位ずれてもトラッキング信号は十分検出できる。一方
、焦点制御用のビームは拡大されず、原盤上ではそれ程
絞られていない。従って、焦点制御の可動範囲は広く、
Ａｒ レーザーのスポット部をＶ溝斜面の上に照射する
ように調整できる。例えば、焦点制御にビーム横ずらし
法（米国特許第３，８７６．８４１号）を用すればよい
。
ザーのスポットと同じほぼ平面に絞れるようにする。長
波長レーザーのスポット部はＡｒ レーザーのスポット
部とは完全に同一面に絞る事は極めて困難であるが、少
し位ずれてもトラッキング信号は十分検出できる。一方
、焦点制御用のビームは拡大されず、原盤上ではそれ程
絞られていない。従って、焦点制御の可動範囲は広く、
Ａｒ レーザーのスポット部をＶ溝斜面の上に照射する
ように調整できる。例えば、焦点制御にビーム横ずらし
法（米国特許第３，８７６．８４１号）を用すればよい
。
発明の効果
本発明によれば、焦点制御用のビームはディスク原盤上
にはそれ程絞らないで用いることができるので、焦点制
御できる範囲が広く、Ａｒレーザーのスポットを信号面
上に絞るように調勢できるようになる。
にはそれ程絞らないで用いることができるので、焦点制
御できる範囲が広く、Ａｒレーザーのスポットを信号面
上に絞るように調勢できるようになる。
第１図は本発明の一実施例における光ディスク製造方法
を実施するための光学系を示す構成図、第２図は従来の
光ディスクを示す斜視図、第３図は従来の光ディスクの
製法の説明図、第４図はＶ溝ディスクを示す斜視図、第
６図、第６図はＶ溝ディスクの製法を説明する断面図、
第７図は従来の光ディスクの製造装置の構成を示す図で
ある。 １１・・・・・・青色レーザー、１２・・・・・・ＥＯ
変調器、１ｅ・・・・・・ディスク原盤、１８・・・・
・・スライダ、２１・・・・・・制御用レーザー、２６
・・・・・・ハーフミーＩＦ−１２６゜３１・・・・・
・ビームスプリッタ、２９．３４・・・・・・光検出器
。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名第 図 第 図 こ ４〜−一力゛ラス盟 ５−−−フ１トＪ／ヅスト ６−ＡＩ−レープ゛− 第 図 ／ 第 図 ／−デＡヌク五寸 第 図 ５−−フマトνシスト 第 図 ５−フォトンヅスト １０− イオンビ一ム
を実施するための光学系を示す構成図、第２図は従来の
光ディスクを示す斜視図、第３図は従来の光ディスクの
製法の説明図、第４図はＶ溝ディスクを示す斜視図、第
６図、第６図はＶ溝ディスクの製法を説明する断面図、
第７図は従来の光ディスクの製造装置の構成を示す図で
ある。 １１・・・・・・青色レーザー、１２・・・・・・ＥＯ
変調器、１ｅ・・・・・・ディスク原盤、１８・・・・
・・スライダ、２１・・・・・・制御用レーザー、２６
・・・・・・ハーフミーＩＦ−１２６゜３１・・・・・
・ビームスプリッタ、２９．３４・・・・・・光検出器
。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名第 図 第 図 こ ４〜−一力゛ラス盟 ５−−−フ１トＪ／ヅスト ６−ＡＩ−レープ゛− 第 図 ／ 第 図 ／−デＡヌク五寸 第 図 ５−−フマトνシスト 第 図 ５−フォトンヅスト １０− イオンビ一ム
Claims (2)
- （１）光ディスク原盤の製造方法であって、信号記録用
レーザーと制御用レーザーを設置し、前記制御用レーザ
ーは焦点制御用とトラッキング制御用の２つのビームか
らなることを特徴とする光ディスク製造方法。 - （２）焦点制御用のビームは回折限界までは絞らないこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光ディスク
製造方法。 （２）信号記録用レーザーの波長は４９０ｎｍ以下で、
制御用レーザーの波長は５３０ｎｍ以上であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の光ディスク製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63225014A JPH0273541A (ja) | 1988-09-08 | 1988-09-08 | 光ディスク製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63225014A JPH0273541A (ja) | 1988-09-08 | 1988-09-08 | 光ディスク製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0273541A true JPH0273541A (ja) | 1990-03-13 |
Family
ID=16822720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63225014A Pending JPH0273541A (ja) | 1988-09-08 | 1988-09-08 | 光ディスク製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0273541A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1067536A2 (en) * | 1999-07-07 | 2001-01-10 | Sony Corporation | Exposure apparatus and method, optical disc drive, and recording and/or reproducing method |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5263614A (en) * | 1975-11-20 | 1977-05-26 | Sony Corp | Information detector |
| JPS54107708A (en) * | 1978-02-13 | 1979-08-23 | Toshiba Corp | Optical information recorder |
| JPS59185037A (ja) * | 1983-04-05 | 1984-10-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高密度情報記録再生装置 |
-
1988
- 1988-09-08 JP JP63225014A patent/JPH0273541A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5263614A (en) * | 1975-11-20 | 1977-05-26 | Sony Corp | Information detector |
| JPS54107708A (en) * | 1978-02-13 | 1979-08-23 | Toshiba Corp | Optical information recorder |
| JPS59185037A (ja) * | 1983-04-05 | 1984-10-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高密度情報記録再生装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1067536A2 (en) * | 1999-07-07 | 2001-01-10 | Sony Corporation | Exposure apparatus and method, optical disc drive, and recording and/or reproducing method |
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