JPH027580U - - Google Patents
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- JPH027580U JPH027580U JP8751888U JP8751888U JPH027580U JP H027580 U JPH027580 U JP H027580U JP 8751888 U JP8751888 U JP 8751888U JP 8751888 U JP8751888 U JP 8751888U JP H027580 U JPH027580 U JP H027580U
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- JP
- Japan
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- input voltage
- electronic circuit
- semiconductor device
- current
- voltage
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体素子の検査装置の
一実施例を示す概略回路ブロツク図、第２図は電
子回路の具体例を示す回路図、第３図は入出力電
圧及び貫通電流を示す波形図である。第４図は検
査装置の従来例を示す概略回路ブロツク図、第５
図は入出力電圧を示す波形図である。 １０……被検査半導体素子、１１……電子回路
、１４……入力電圧発生部、１５……貫通電流検
出部、２２……スレツシユホールド電圧判定部、
ＶＩＮ……入力電圧、Ｉ……貫通電流。
一実施例を示す概略回路ブロツク図、第２図は電
子回路の具体例を示す回路図、第３図は入出力電
圧及び貫通電流を示す波形図である。第４図は検
査装置の従来例を示す概略回路ブロツク図、第５
図は入出力電圧を示す波形図である。 １０……被検査半導体素子、１１……電子回路
、１４……入力電圧発生部、１５……貫通電流検
出部、２２……スレツシユホールド電圧判定部、
ＶＩＮ……入力電圧、Ｉ……貫通電流。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数の電子回路を組込んだ被検査半導体素子の
良否をスレツシユホールド電圧で判別する装置で
あつて、 上記被検査半導体素子の各電子回路に入力電圧
を印加する入力電圧発生部と、 入力電圧に基づいて各電子回路の出力レベルが
切換わる時に各電子回路に瞬間的に流れる貫通電
流を検出する貫通電流検出部と、 貫通電流に基づいて入力電圧のスレツシユホー
ルド電圧が規格値内であるか否かを判別するスレ
ツシユホールド電圧判定部とを具備したことを特
徴とする半導体素子の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8751888U JPH027580U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8751888U JPH027580U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH027580U true JPH027580U (ja) | 1990-01-18 |
Family
ID=31312123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8751888U Pending JPH027580U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH027580U (ja) |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP8751888U patent/JPH027580U/ja active Pending
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