JPH027610A - 圧電音叉形振動子 - Google Patents
圧電音叉形振動子Info
- Publication number
- JPH027610A JPH027610A JP15781888A JP15781888A JPH027610A JP H027610 A JPH027610 A JP H027610A JP 15781888 A JP15781888 A JP 15781888A JP 15781888 A JP15781888 A JP 15781888A JP H027610 A JPH027610 A JP H027610A
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- JP
- Japan
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- slit
- tuning fork
- electrode
- edge
- distance
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- Granted
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 abstract description 4
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 abstract description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、圧電音叉形振動子に関し、更に詳しくは、製
造の容易な電極パターンを有する圧電音叉形振動子に閏
する。
造の容易な電極パターンを有する圧電音叉形振動子に閏
する。
従来の圧電音叉形振動子５１は、第６図（ａｌに示すよ
うに、スリット５３を設けた圧電基板５２の表面側に分
割電極５６．５７を形成し、これらを入出力端子（ＩＮ
ＰＵＴｌｏＵＴＰＵＴ）として取り出している。また、
第６図（ｂｌに示すように、裏面側には上記分割電極５
６．５７の両方に共通して対向する共通電極５８を形成
している。
うに、スリット５３を設けた圧電基板５２の表面側に分
割電極５６．５７を形成し、これらを入出力端子（ＩＮ
ＰＵＴｌｏＵＴＰＵＴ）として取り出している。また、
第６図（ｂｌに示すように、裏面側には上記分割電極５
６．５７の両方に共通して対向する共通電極５８を形成
している。
従来の圧電音叉形１辰動子５１における電極パターンは
、スリット５３の側端に沿って分割電極５６を形成し、
また、圧電基板５２の表面側の腕部５５．５５の各側端
に沿って分割電極５７を形成し、さらに裏面側には共通
電極５８を形成するなど電極のパターンが複雑であり、
特に小型化に際して製造が著しく困難になる問題点があ
る。
、スリット５３の側端に沿って分割電極５６を形成し、
また、圧電基板５２の表面側の腕部５５．５５の各側端
に沿って分割電極５７を形成し、さらに裏面側には共通
電極５８を形成するなど電極のパターンが複雑であり、
特に小型化に際して製造が著しく困難になる問題点があ
る。
そこで、本発明の目的とするところは、製造の容易な電
極パターンをもち、且つ、特性に優れた圧電音叉形振動
子を提供することにある。
極パターンをもち、且つ、特性に優れた圧電音叉形振動
子を提供することにある。
〔課題を解決するための手段］
本発明の圧電音叉形振動子は、圧電基板に長さしのスリ
ットを切り込んで幅Ｗの腕部をスリットの両側に有する
音叉部を形成し、その音叉部の少なくとも片面側にはス
リット最深端の近傍部分にのみ電極を形成し、スリット
最深端から前記電極のスリット切込口側の端縁までの距
離ｔｉ ＋はＬ／３以上２Ｌ／３以Ｆであり、スリット
最深端から前記電極の反スリット切込口側の端縁までの
距離ｉ２は！、７３以上２Ｌ／３以下であり、スリット
側端から前記電極の幅方向の端縁までの距離ＷはＷ／３
以上２Ｗ／３以下であることを構成上の特徴とする。
ットを切り込んで幅Ｗの腕部をスリットの両側に有する
音叉部を形成し、その音叉部の少なくとも片面側にはス
リット最深端の近傍部分にのみ電極を形成し、スリット
最深端から前記電極のスリット切込口側の端縁までの距
離ｔｉ ＋はＬ／３以上２Ｌ／３以Ｆであり、スリット
最深端から前記電極の反スリット切込口側の端縁までの
距離ｉ２は！、７３以上２Ｌ／３以下であり、スリット
側端から前記電極の幅方向の端縁までの距離ＷはＷ／３
以上２Ｗ／３以下であることを構成上の特徴とする。
〔１作用〕
圧電基板の少なくとも片面側には、スリット最深端の近
傍部分にのみ電極を形成するので、電極パターンが簡単
となり、製造が容易となる。
傍部分にのみ電極を形成するので、電極パターンが簡単
となり、製造が容易となる。
また、その電極の形成位置を最適範囲に規定したので、
特性も向上する。
特性も向上する。
以下、図に示す実施例に基づいて本発明を更に詳しく説
明する。ここに第１図は本発明の一実施例の圧電音叉形
振動子の透視斜視図、第２図は電極形成範囲を示す概念
図、第３図は本発明の他の実施例の第１図相当図、第４
図は同第２図相当図、第５図は第１図に示す実施例の圧
電音叉形振動子および従来の圧電音叉形振動子のインピ
ーダンス特性図である。なお、以下の実施例により本発
明が限定されるものではない。
明する。ここに第１図は本発明の一実施例の圧電音叉形
振動子の透視斜視図、第２図は電極形成範囲を示す概念
図、第３図は本発明の他の実施例の第１図相当図、第４
図は同第２図相当図、第５図は第１図に示す実施例の圧
電音叉形振動子および従来の圧電音叉形振動子のインピ
ーダンス特性図である。なお、以下の実施例により本発
明が限定されるものではない。
第１図に示す圧電音叉形振動子１は、方形の圧電磁嘉機
２に、音叉部形成用のスリット３と音叉部分離用のスリ
７）４．４とを設け、音叉部の表面側及び裏面側には、
スリット最深端３し （第２図参照）の近傍部分にのみ
方形の電極６．７を形成したものである。
２に、音叉部形成用のスリット３と音叉部分離用のスリ
７）４．４とを設け、音叉部の表面側及び裏面側には、
スリット最深端３し （第２図参照）の近傍部分にのみ
方形の電極６．７を形成したものである。
スリット３の長さをし、音叉部の腕部５．５の幅をＷと
する時、電極６．７が形成される領域は、次のように規
定されている。
する時、電極６．７が形成される領域は、次のように規
定されている。
即ち、第２図に示すように、スリット最深端３トから電
極６のスリット切込口３ａ側の端縁までの距離１１は、
Ｌ／３以上で２Ｌ／３以下である。
極６のスリット切込口３ａ側の端縁までの距離１１は、
Ｌ／３以上で２Ｌ／３以下である。
また、スリット最深端３ｔ、から電極６の反スリット切
込口側の端縁までの距Ｍ１２は、Ｌ／３以上で２Ｌ／３
以）である、ｉｌと２２とは各々独立であり、必ずしも
一致させる必要はない、また、スリ・７ト（ａｌｌ端３
ｃから電極６の幅方向の端縁までの距ＭＷは、Ｗ／３以
上で２Ｗ／３以下である。
込口側の端縁までの距Ｍ１２は、Ｌ／３以上で２Ｌ／３
以）である、ｉｌと２２とは各々独立であり、必ずしも
一致させる必要はない、また、スリ・７ト（ａｌｌ端３
ｃから電極６の幅方向の端縁までの距ＭＷは、Ｗ／３以
上で２Ｗ／３以下である。
裏面側の電極７についても同様である。
第１図に示されているようにこれら電極６．７には、引
出電極８．９が接続され、入出力端子が導出される。
出電極８．９が接続され、入出力端子が導出される。
この圧電音叉形振動子ｌに電界を加えると、電＠Ａ６．
Ｔを形成しているスリット最深端３トの近傍部分に電荷
が集中し、音叉形ベンディング振動が得られる。
Ｔを形成しているスリット最深端３トの近傍部分に電荷
が集中し、音叉形ベンディング振動が得られる。
次に、第３［ｉ！！］に示す圧電音叉形振動子１１は、
方形の圧電磁器板１２に、ス’） −／ ト１３を形成
し、圧電磁器板１２の表面側及び裏面側のスリット最深
端１３＋、（第４図参照）の近傍部分にのみ円形の電極
１６．１７を設けたものである。
方形の圧電磁器板１２に、ス’） −／ ト１３を形成
し、圧電磁器板１２の表面側及び裏面側のスリット最深
端１３＋、（第４図参照）の近傍部分にのみ円形の電極
１６．１７を設けたものである。
スリット１３の長さをし、音叉部の腕部１５゜１５の幅
をＷとするとき、電極１６．１７の形成領域は、上記実
施例の圧電音叉形振動子１と同じ条件を満たしている。
をＷとするとき、電極１６．１７の形成領域は、上記実
施例の圧電音叉形振動子１と同じ条件を満たしている。
即ち、
Ｌ／３≦ｌ、≦２Ｌ／３
Ｌ／３≦１２≦２Ｌ／３
Ｗ／３≦Ｗ≦２Ｗ／３
の条件を充足している。
第５図は、第１図に示す圧電音叉形振動子１のインピー
ダンス特性を測定したもので、これを実線で表し、比較
のために、第６図に示す従来の圧電音叉形振動子５１の
インピーダンス特性を破線で示している０両者を比較す
れば理解されるように、本発明の圧電音叉形振動子ｌは
、電極パターンが従来より簡単になったにもかかわらず
、インピーダンス特性の山谷比、帯域が大きくなり、特
性の安定性も良好であった。
ダンス特性を測定したもので、これを実線で表し、比較
のために、第６図に示す従来の圧電音叉形振動子５１の
インピーダンス特性を破線で示している０両者を比較す
れば理解されるように、本発明の圧電音叉形振動子ｌは
、電極パターンが従来より簡単になったにもかかわらず
、インピーダンス特性の山谷比、帯域が大きくなり、特
性の安定性も良好であった。
変形実施例としては、上記圧電音叉形振動子・１１１に
おい°Ｃ，裏面側の電極７，１７を全面電極としたもの
が挙げられる。但し、特性の観点からは両面同形状が望
ましい。
おい°Ｃ，裏面側の電極７，１７を全面電極としたもの
が挙げられる。但し、特性の観点からは両面同形状が望
ましい。
本発明によれば、圧電基板に長さしのスリットを切り込
んで幅Ｗの腕部をスリ７トの両側に存する音叉部を形成
し、その音叉部の少なくとも片面側にはスリット最深端
の近傍部分にのみ電極を形成し、スリット最深端から前
記電極のスリット切込口側の端縁までの距離ｅ ＋は１
５／３以上２Ｌ／３以下であり、スリット最深端から前
記電極の反スリット切込口側の端縁までの距ＮＬ Ｉ！
２はＬ／３以上２Ｌ／３以下であり、スリット側端か
ら前記電極の幅方向の端縁までの距離ＷはＷ／３以上２
Ｗ／３以下であることを特徴とする圧電音叉形振動子が
提供され、これにより電極パターンが簡単になるので製
造が容易になる。従って小型化に好適である。また、特
性的にも向上する。
んで幅Ｗの腕部をスリ７トの両側に存する音叉部を形成
し、その音叉部の少なくとも片面側にはスリット最深端
の近傍部分にのみ電極を形成し、スリット最深端から前
記電極のスリット切込口側の端縁までの距離ｅ ＋は１
５／３以上２Ｌ／３以下であり、スリット最深端から前
記電極の反スリット切込口側の端縁までの距ＮＬ Ｉ！
２はＬ／３以上２Ｌ／３以下であり、スリット側端か
ら前記電極の幅方向の端縁までの距離ＷはＷ／３以上２
Ｗ／３以下であることを特徴とする圧電音叉形振動子が
提供され、これにより電極パターンが簡単になるので製
造が容易になる。従って小型化に好適である。また、特
性的にも向上する。
第１図は本発明の一実施例の圧電音叉形振動子の透視斜
視図、第２図は電極形成範囲を示す概念図、第３図は本
発明の他の実施例の第１図相当図、第４図は同第２図相
当図、第５図は第１図に示す実施例の圧電音叉形振動子
および従来の圧電音叉形振動子のインピーダンス特性図
、第６図は従来の圧電音叉形振動子の斜視図で、（ａ）
は表面側の図、（ｂ）は裏面側の図である。 （符号の説明〕 １．１１・・・圧電音叉形振動子 ２．１２・・・圧電磁′５扱 ３ １３・・・スリット ３□、１３．・・・スリット切込口 ３Ｆ、、１３ｂ・・・スリット最深端 ３ｃ、１３ｃｍ・・スリット１ｌｌｌｌ端５．１５・・
・音叉部の腕部 ６ ７ １６．１７・・・電極。 出願人 株式会社 村山製作所
視図、第２図は電極形成範囲を示す概念図、第３図は本
発明の他の実施例の第１図相当図、第４図は同第２図相
当図、第５図は第１図に示す実施例の圧電音叉形振動子
および従来の圧電音叉形振動子のインピーダンス特性図
、第６図は従来の圧電音叉形振動子の斜視図で、（ａ）
は表面側の図、（ｂ）は裏面側の図である。 （符号の説明〕 １．１１・・・圧電音叉形振動子 ２．１２・・・圧電磁′５扱 ３ １３・・・スリット ３□、１３．・・・スリット切込口 ３Ｆ、、１３ｂ・・・スリット最深端 ３ｃ、１３ｃｍ・・スリット１ｌｌｌｌ端５．１５・・
・音叉部の腕部 ６ ７ １６．１７・・・電極。 出願人 株式会社 村山製作所
Claims (1)
- １．圧電基板に長さＬのスリットを切り込んで幅Ｗの腕
部をスリットの両側に有する音叉部を形成し、その音叉
部の少なくとも片面側にはスリット最深端の近傍部分に
のみ電極を形成し、スリット最深端から前記電極のスリ
ット切込口側の端縁までの距離ｌ＿１はＬ／３以上２Ｌ
／３以下であり、スリット最深端から前記電極の反スリ
ット切込口側の端縁までの距離ｌ＿２はＬ／３以上２Ｌ
／３以下であり、スリット側端から前記電極の幅方向の
端縁までの距離ｗはＷ／３以上２Ｗ／３以下であること
を特徴とする圧電音叉形振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15781888A JPH0622312B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 圧電音叉形振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15781888A JPH0622312B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 圧電音叉形振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH027610A true JPH027610A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH0622312B2 JPH0622312B2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=15657975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15781888A Expired - Fee Related JPH0622312B2 (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 圧電音叉形振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0622312B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2648642A1 (fr) * | 1989-06-14 | 1990-12-21 | Murata Manufacturing Co | Dispositif resonateur piezo-electrique |
| US5394123A (en) * | 1991-03-13 | 1995-02-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder type filter comprised of stacked tuning fork type resonators |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP15781888A patent/JPH0622312B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2648642A1 (fr) * | 1989-06-14 | 1990-12-21 | Murata Manufacturing Co | Dispositif resonateur piezo-electrique |
| US5394123A (en) * | 1991-03-13 | 1995-02-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder type filter comprised of stacked tuning fork type resonators |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0622312B2 (ja) | 1994-03-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |