JPH0280909A - 表面粗さ等輪郭形状測定機 - Google Patents
表面粗さ等輪郭形状測定機Info
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- JPH0280909A JPH0280909A JP63232661A JP23266188A JPH0280909A JP H0280909 A JPH0280909 A JP H0280909A JP 63232661 A JP63232661 A JP 63232661A JP 23266188 A JP23266188 A JP 23266188A JP H0280909 A JPH0280909 A JP H0280909A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 2
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
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-
- G—PHYSICS
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- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/30—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、表面粗さ等輪郭形状測定機に係り、特に曲面
形状を持つワークの表面粗さ等を測定する輪郭形状測定
機に関する。
形状を持つワークの表面粗さ等を測定する輪郭形状測定
機に関する。
従来、表面粗さ等輪郭形状測定機には、次のものが使用
されている。
されている。
Ａ、ワークの測定長さの前半と後半の平均高さを求め、
その値から平均直線を求め、測定した粗さ曲線から平均
直線を差し引いて粗さを求める測定機。
その値から平均直線を求め、測定した粗さ曲線から平均
直線を差し引いて粗さを求める測定機。
Ｂ、ワークの測定長さ全長にわたり、最小自乗法で平均
直線を求め、測定した粗さ曲線から平均直線を差し引い
て粗さを求める測定機。
直線を求め、測定した粗さ曲線から平均直線を差し引い
て粗さを求める測定機。
Ｃ１円弧形状のワークの場合、ワークの曲率牟径を予め
求め、円の方程式により円弧状成分を粗さ曲線から除い
て粗さを求める測定機。
求め、円の方程式により円弧状成分を粗さ曲線から除い
て粗さを求める測定機。
Ｄ０円弧状基準面を準備し、検出器を基準面にならい運
動をさせることで、円弧状成分を除いて粗さを求める測
定機。
動をさせることで、円弧状成分を除いて粗さを求める測
定機。
しかしながら、前記Ａ、Ｂによる測定は曲面形状は補正
できないので曲面形状面の粗さ測定は測定不可能である
。更に前記Ｃ，Ｄによる測定はワ−りの曲率半径が分か
らない場合には測定不可能である。また、前記ＣＳＤに
よる測定は、ワークの曲面が円弧以外の場合には測定不
可能である。
できないので曲面形状面の粗さ測定は測定不可能である
。更に前記Ｃ，Ｄによる測定はワ−りの曲率半径が分か
らない場合には測定不可能である。また、前記ＣＳＤに
よる測定は、ワークの曲面が円弧以外の場合には測定不
可能である。
更に、前記りの測定は、触針の駆動部中心と円弧状基準
面中心とを合わせる必要があり、その芯合わせは困難で
ある。
面中心とを合わせる必要があり、その芯合わせは困難で
ある。
本発明は、曲面形状のワーク表面の表面粗さ等を正確に
測定することが出来る表面粗さ等輪郭形状測定機を提案
することを目的とする。
測定することが出来る表面粗さ等輪郭形状測定機を提案
することを目的とする。
本発明は、被測定物の表面形状を接触式又は非接触式で
測定し、これから得られる測定信号を処理して表面粗さ
等の輪郭形状を求める測定装置に於いて、測定信号から
最小自乗法により輪郭形状に沿った３次曲線を求め、測
定信号から求めた３次曲線信号成分を除いて粗さ曲線信
号を出力する演算部と、演算部と直列に接続され粗さ曲
線信号成分の所定の帯域成分を除去するフィルタ手段と
、を有して成ることを特徴としている。
測定し、これから得られる測定信号を処理して表面粗さ
等の輪郭形状を求める測定装置に於いて、測定信号から
最小自乗法により輪郭形状に沿った３次曲線を求め、測
定信号から求めた３次曲線信号成分を除いて粗さ曲線信
号を出力する演算部と、演算部と直列に接続され粗さ曲
線信号成分の所定の帯域成分を除去するフィルタ手段と
、を有して成ることを特徴としている。
本発明に係る表面粗さ等輪郭形状測定機によれば、測定
信号から最小自乗法によってワークの曲面形状に対応し
た３次曲線を求め、この３次曲線を測定信号から除いて
粗さ曲線を求めるので、曲面形状でも正確な表面粗さが
求まる。
信号から最小自乗法によってワークの曲面形状に対応し
た３次曲線を求め、この３次曲線を測定信号から除いて
粗さ曲線を求めるので、曲面形状でも正確な表面粗さが
求まる。
以下、添付図面に従って本発明に係る表面粗さ等輪郭形
状測定機の好ましい実施例を詳説する。
状測定機の好ましい実施例を詳説する。
第１図は、本発明に係る表面粗さ等輪郭形状測定機の構
成を示すブロック図である。第１図に於いて、測定部１
０は、上下方向のねじ棒１２を回動することにより、上
下方向移動自在であり、測定部をワーク２２の高さにセ
ットすることが出来る。また測定部ｌＯは横方向のねじ
棒１４を回動することにより左右方向に移動自在であり
、ワーク２２の表面に接触して移動する。測定部ｌＯに
は、支点１６を介して揺動する測定子１８が設けられ、
測定子１８の一端には触針２０が設けられてワーク２２
の表面に接触して移動する。触針２０の上下移動は、測
定子１８の他端に設けられた差動変圧器のコア２４に伝
えられる。
成を示すブロック図である。第１図に於いて、測定部１
０は、上下方向のねじ棒１２を回動することにより、上
下方向移動自在であり、測定部をワーク２２の高さにセ
ットすることが出来る。また測定部ｌＯは横方向のねじ
棒１４を回動することにより左右方向に移動自在であり
、ワーク２２の表面に接触して移動する。測定部ｌＯに
は、支点１６を介して揺動する測定子１８が設けられ、
測定子１８の一端には触針２０が設けられてワーク２２
の表面に接触して移動する。触針２０の上下移動は、測
定子１８の他端に設けられた差動変圧器のコア２４に伝
えられる。
コア２４の移動は、電気信号に変換されて同期検波回路
２６に送られる。同期検波回路２６では、差動変圧器か
らの出力のうち、キャリアの成分を除去して測定信号成
分のみをピックアップする。
２６に送られる。同期検波回路２６では、差動変圧器か
らの出力のうち、キャリアの成分を除去して測定信号成
分のみをピックアップする。
測定信号はＡ／Ｄコンバータでデジタル処理された後、
曲線補正演算部３０に送られる。
曲線補正演算部３０に送られる。
曲線補正演算部３０では、測定信号に含まれる、曲面形
状に対応した曲線を求め、これを測定信号から差引いて
粗さ曲線を求める。即ち、最小自乗法によって測定デー
タの３次曲線補正を行う。
状に対応した曲線を求め、これを測定信号から差引いて
粗さ曲線を求める。即ち、最小自乗法によって測定デー
タの３次曲線補正を行う。
いま、データ数ｍ個（■ＮＤＥｘＩ＝１〜ｎ）からなる
測定データを Ｙｉ＝Ｆ（ｘｉ） ・・・■とする。
測定データを Ｙｉ＝Ｆ（ｘｉ） ・・・■とする。
最小自乗３次曲線（補正曲線）を
Ｙ＋＝ａＸ＋３＋ｂＸ 、”＋ｃｘ、＋ｄ −■とす
る■と■の残差を［ｔｉとおくと Ｌ”Ｙｔ−ａＸｔ３−ｂＸｔ”−ＣＸｌ−ｄ −■
■が■の最小自乗近似関数となるためには残差の自乗和
Ｓが最小となる事が必要である。
る■と■の残差を［ｔｉとおくと Ｌ”Ｙｔ−ａＸｔ３−ｂＸｔ”−ＣＸｌ−ｄ −■
■が■の最小自乗近似関数となるためには残差の自乗和
Ｓが最小となる事が必要である。
ｓ＝′ｉｌｕ、”
Ｘ＝１
′ｆ−（Ｙ １−ａｘ ＋ ’−ｂｘ ｌ ”−ｃｘ
ｌ −ｄ） ”Ｉ・１ ” （Ｙ ＋ ２−２Ｙ １（ａｘ ＋ ３＋ｂｘ
ｌ ”＋ＣＸ １−１ｄ）＋ａ ２Ｘ＋”２ａｌｌＸ１
”ｂ ２Ｘ＋’”２ａＣＸ＋”２ａｄＸ＋３ ＝２ｂＣ
Ｘ＋”２ｂｄＸ＋２＋ｃ’ｘｔ＋２ｃｄｘ、＋ｄ”
・・・■その時係数ａＳｂ、ｃ、ｄについてのＳ
の個数分がゼロとなる。即ち、Ｓ−ｂ＜、％小値をとる
から次の連立方程式が成立する。
ｌ −ｄ） ”Ｉ・１ ” （Ｙ ＋ ２−２Ｙ １（ａｘ ＋ ３＋ｂｘ
ｌ ”＋ＣＸ １−１ｄ）＋ａ ２Ｘ＋”２ａｌｌＸ１
”ｂ ２Ｘ＋’”２ａＣＸ＋”２ａｄＸ＋３ ＝２ｂＣ
Ｘ＋”２ｂｄＸ＋２＋ｃ’ｘｔ＋２ｃｄｘ、＋ｄ”
・・・■その時係数ａＳｂ、ｃ、ｄについてのＳ
の個数分がゼロとなる。即ち、Ｓ−ｂ＜、％小値をとる
から次の連立方程式が成立する。
これを整理すると
■の連立方程式をクラメルの公式により解くとおくと
の■■＠■により
ｌ）
ｃ、ｄを求める。
ここでＸ
を１〜ｎの整数列で表現できれば
！・１
ｉ＝１
と簡単化できるから
＋＝１
＋＝１
１＝１
１・１
も計算するだけで■〜■の行列式演算のみで２式の最小
自乗３次曲線が得られる。
自乗３次曲線が得られる。
従って、
測定データの０式から、
求めた２式の
最小自乗３次曲線を弓
く と 、
表面粗さ信号が求ま
る。この信号をＤ／Ａコンバータ３２でアナログ化した
後、バイパスフィルタ３４に送る。バイパスフィルタ３
４では、うねりの信号成分を除去し、Ａ／Ｄコンバータ
３６又は記録計４０に送る。Ａ／Ｄコンバータ３６では
信号をデジタル化し、デジタル化された信号は粗さパラ
メータ演算部３８で、粗さパラメータを算出する。即ち
、粗さパラメータである、中心線平均粗さＲａ１最大高
さＲｔ等を求める。また、記録計４０では、粗さ曲線を
表示する（ここでフィルタ処理はデジタルフィルタでも
実施可能となる）。
後、バイパスフィルタ３４に送る。バイパスフィルタ３
４では、うねりの信号成分を除去し、Ａ／Ｄコンバータ
３６又は記録計４０に送る。Ａ／Ｄコンバータ３６では
信号をデジタル化し、デジタル化された信号は粗さパラ
メータ演算部３８で、粗さパラメータを算出する。即ち
、粗さパラメータである、中心線平均粗さＲａ１最大高
さＲｔ等を求める。また、記録計４０では、粗さ曲線を
表示する（ここでフィルタ処理はデジタルフィルタでも
実施可能となる）。
ここで本発明が最小自乗２次曲線ではなく最小自乗３次
曲線を求めた理由を説明する。第２図に示す触針２０を
用いて円弧形状曲面を測定する場合に、第３図（Ａ）に
示すように触針２０は支点１６を中心に円弧運動するこ
とになる。触針２０がθだけ回転した時の触針先端の誤
差移動量はΔＸ＝Ｈ（１−ＣＯ３θ）＋ＶＳ ｌＮ１９
ζＶＳＩＮθΔＺ＝Ｖ （１−ＣＯ３θ１ ここで各倍率における最大振れ角αｍａ× とΔｘ１Δ
２の関係を表に示す。
曲線を求めた理由を説明する。第２図に示す触針２０を
用いて円弧形状曲面を測定する場合に、第３図（Ａ）に
示すように触針２０は支点１６を中心に円弧運動するこ
とになる。触針２０がθだけ回転した時の触針先端の誤
差移動量はΔＸ＝Ｈ（１−ＣＯ３θ）＋ＶＳ ｌＮ１９
ζＶＳＩＮθΔＺ＝Ｖ （１−ＣＯ３θ１ ここで各倍率における最大振れ角αｍａ× とΔｘ１Δ
２の関係を表に示す。
下表から分かるようΔＸの値が非常に大きい。
また、第３図（Ｂ）に示すように、データは３次曲線と
なり、３次曲線の測定データを２次曲線で補正しても３
次曲線成分は残る事になる。従って２次曲線補正では不
十分て、３次曲線補正が必要となる。また、４次以上の
高次の曲線も理論的には考えられるが、データの分解能
から演算誤差を生じ易くなるので実用的でない。
なり、３次曲線の測定データを２次曲線で補正しても３
次曲線成分は残る事になる。従って２次曲線補正では不
十分て、３次曲線補正が必要となる。また、４次以上の
高次の曲線も理論的には考えられるが、データの分解能
から演算誤差を生じ易くなるので実用的でない。
第４図では本発明に係る第２実施例の構造が示されてい
る。第２実施例ではデジタル式の表面粗さ等輪郭形状測
定機が示されている。即ち、マイケルソンの干渉計を構
成する光源４２から出た光はハーフミラ−４３で反射さ
れてワーク２２の表面に照射され、この反射光は基準面
４４からの反射光と干渉して干渉縞を発生する。発生し
た干渉縞は変位カウンタ４６でカウントされ曲線補正演
算部３０に送られる。曲線補正演算部３０では、第１実
施例と同様に、■式の３次曲線を求め、これを０式から
引いて表面粗さ信号を求める。測定信号はデジタルフィ
ルタ４８に送られ、ここでうねりの信号等成分が除去さ
れる。粗さパラメータ演算部３８の処理は第１実施例と
同様である。
る。第２実施例ではデジタル式の表面粗さ等輪郭形状測
定機が示されている。即ち、マイケルソンの干渉計を構
成する光源４２から出た光はハーフミラ−４３で反射さ
れてワーク２２の表面に照射され、この反射光は基準面
４４からの反射光と干渉して干渉縞を発生する。発生し
た干渉縞は変位カウンタ４６でカウントされ曲線補正演
算部３０に送られる。曲線補正演算部３０では、第１実
施例と同様に、■式の３次曲線を求め、これを０式から
引いて表面粗さ信号を求める。測定信号はデジタルフィ
ルタ４８に送られ、ここでうねりの信号等成分が除去さ
れる。粗さパラメータ演算部３８の処理は第１実施例と
同様である。
以上説明したように本発明に係る表面粗さ等輪郭形状測
定機は、測定データから最小自乗法によって曲面形状曲
線を求め、これを測定データから除いて粗さ曲線を求め
ることができるので、どのような曲面形状の粗さでも正
確に測定することが出来る。
定機は、測定データから最小自乗法によって曲面形状曲
線を求め、これを測定データから除いて粗さ曲線を求め
ることができるので、どのような曲面形状の粗さでも正
確に測定することが出来る。
第１図は本発明に係る表面粗さ等輪郭形状測定機の構成
を示すブロック図、第２図は測定子の形状を示す説明図
、第３図は曲面形状と触針の関係を示す説明図、第４図
は本発明に係る第２実施例の構造を示すブロック図であ
る。 １８・・・測定子、 ２０・・・触針、 ２２・・・
ワーク、３０・・・曲線補正演算部、 ３４・・バイパ
スフィルタ。
を示すブロック図、第２図は測定子の形状を示す説明図
、第３図は曲面形状と触針の関係を示す説明図、第４図
は本発明に係る第２実施例の構造を示すブロック図であ
る。 １８・・・測定子、 ２０・・・触針、 ２２・・・
ワーク、３０・・・曲線補正演算部、 ３４・・バイパ
スフィルタ。
Claims (1)
- （１）被測定物の表面形状を接触式又は非接触式で測定
し、これから得られる測定信号を処理して表面粗さ等の
輪郭形状を求める測定機に於いて、測定信号から最小自
乗法により輪郭形状に沿った３次曲線を求め、測定信号
から求めた３次曲線信号成分を除いて粗さ曲線信号を出
力する演算部と、 演算部と直列に接続され粗さ曲線信号成分の所定の帯域
成分を除去するフィルタ手段と、を有して成る表面粗さ
等輪郭形状測定機。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63232661A JPH0280909A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 表面粗さ等輪郭形状測定機 |
| US07/403,359 US5041988A (en) | 1988-09-19 | 1989-09-06 | Method and device for measuring a surface contour |
| DE3931132A DE3931132A1 (de) | 1988-09-19 | 1989-09-18 | Verfahren und vorrichtung zum messen einer oberflaechenkontur |
| GB8921194A GB2222886B (en) | 1988-09-19 | 1989-09-19 | Method and device for measuring surface roughness |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63232661A JPH0280909A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 表面粗さ等輪郭形状測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0280909A true JPH0280909A (ja) | 1990-03-22 |
Family
ID=16942810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63232661A Pending JPH0280909A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 表面粗さ等輪郭形状測定機 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5041988A (ja) |
| JP (1) | JPH0280909A (ja) |
| DE (1) | DE3931132A1 (ja) |
| GB (1) | GB2222886B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06294649A (ja) * | 1993-04-09 | 1994-10-21 | Mitsutoyo Corp | 表面粗さ測定装置 |
| JPH0716107U (ja) * | 1993-08-25 | 1995-03-17 | 株式会社東京精密 | 三次元表面粗さ・輪郭形状測定機 |
| JP2002098519A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-04-05 | Olympus Optical Co Ltd | 被検面上のうねり成分を抽出する測定手法 |
| JP2006284351A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Hitachi High-Tech Science Systems Corp | ホールラフネス計測方法および装置 |
| JP2007017436A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-25 | Snecma | ターボ機械ローラベアリングのローラの円筒部とテーパとの間の接続部ゾーンの外形検査方法 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6215269B1 (en) * | 1996-05-21 | 2001-04-10 | Kent Gregg | Method of exposing a path on a curved, or otherwise irregularly shaped, surface |
| DE19849793C1 (de) * | 1998-10-28 | 2000-03-16 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Erfassung von Unebenheiten in einer gewölbten Oberfläche |
| US7147338B2 (en) | 2001-04-09 | 2006-12-12 | Kent Gregg | Circuit on a curved, or otherwise irregularly shaped, surface, such as on a helmet to be worn on the head, including a fiber optic conductive path |
| FR2892502B1 (fr) * | 2005-10-25 | 2008-02-01 | Snecma Sa | Procede de controle du profil de la zone de raccordement entre la partie cylindrique et la depouille d'un rouleau pour palier a roulement de turbomachine |
| CN104180787A (zh) * | 2014-07-18 | 2014-12-03 | 苏州市职业大学 | 一种内外圆锥面直径及圆度检测装置及其检测方法 |
| CN104279946B (zh) * | 2014-09-16 | 2017-01-11 | 大连理工大学 | 一种电涡流传感器球面位移测量的标定方法 |
| CN119756138A (zh) * | 2024-11-14 | 2025-04-04 | 北京工业大学 | 一种新型岩体裂隙粗糙度测量装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50118748A (ja) * | 1974-01-25 | 1975-09-17 | ||
| JPS52142456A (en) * | 1976-05-21 | 1977-11-28 | Nippon Steel Corp | Form pattern recognition and expression method of strip |
| JPS61205815A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-12 | Sanyo Kiko Kk | ワ−ク表面の法線方向とうねりの同時測定装置 |
| JPS62162908A (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面プロフイ−ル測定方法及び装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1129962A (en) * | 1965-01-18 | 1968-10-09 | Rank Organisation Ltd | Improvements in or relating to the assessing of surface profiles |
| DE3002185A1 (de) * | 1980-01-22 | 1981-07-30 | Feinprüf Feinmeß- und Prüfgeräte GmbH, 3400 Göttingen | Oberflaechen- und formpruefgeraet |
| DE3313067C2 (de) * | 1983-04-12 | 1987-04-09 | ELGEMA GmbH, 8057 Eching | Anordnung zur Verarbeitung des Tastsignals bei Welligkeits-, insbesondere Rundheitsmeßgeräten |
| US4593193A (en) * | 1983-05-31 | 1986-06-03 | Rca Corporation | Apparatus and method for generating calibrated optical encoder pulses |
| JPS6217328A (ja) * | 1985-07-15 | 1987-01-26 | Diesel Kiki Co Ltd | 内燃機関車輛用制御装置 |
| US4829449A (en) * | 1986-02-05 | 1989-05-09 | Rockwell International Corporation | Method and apparatus for measuring and providing corrected gas flow |
-
1988
- 1988-09-19 JP JP63232661A patent/JPH0280909A/ja active Pending
-
1989
- 1989-09-06 US US07/403,359 patent/US5041988A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-18 DE DE3931132A patent/DE3931132A1/de not_active Withdrawn
- 1989-09-19 GB GB8921194A patent/GB2222886B/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50118748A (ja) * | 1974-01-25 | 1975-09-17 | ||
| JPS52142456A (en) * | 1976-05-21 | 1977-11-28 | Nippon Steel Corp | Form pattern recognition and expression method of strip |
| JPS61205815A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-12 | Sanyo Kiko Kk | ワ−ク表面の法線方向とうねりの同時測定装置 |
| JPS62162908A (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 表面プロフイ−ル測定方法及び装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06294649A (ja) * | 1993-04-09 | 1994-10-21 | Mitsutoyo Corp | 表面粗さ測定装置 |
| JPH0716107U (ja) * | 1993-08-25 | 1995-03-17 | 株式会社東京精密 | 三次元表面粗さ・輪郭形状測定機 |
| JP2002098519A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-04-05 | Olympus Optical Co Ltd | 被検面上のうねり成分を抽出する測定手法 |
| JP2006284351A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Hitachi High-Tech Science Systems Corp | ホールラフネス計測方法および装置 |
| JP2007017436A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-25 | Snecma | ターボ機械ローラベアリングのローラの円筒部とテーパとの間の接続部ゾーンの外形検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2222886A (en) | 1990-03-21 |
| GB8921194D0 (en) | 1989-11-08 |
| DE3931132A1 (de) | 1990-03-22 |
| GB2222886B (en) | 1992-08-19 |
| US5041988A (en) | 1991-08-20 |
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