JPH0280954A - 超音波顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、測定対象物に対して超音波を送信し、測定対
象物の表面および内部からの反射波をとらえて音響−電
気変換を行ない、その反射信号を取出して表示するよう
にした超音波顕微鏡に関し、特にその反射信号を時間分
離して取出し、測定対象物の深部における音響的ＪＩ４
造を画像表示する手段の改良に関する。

〔従来の技術〕

第５図（ａ）は従来から知られている超音波探傷装置の
一構成例を示すブロック図である６第５図（ａ）におい
て、■は超音波探触子てあり、２は測定対象物としての
試料である。この超音波探触子１および試料２は、相対
的に走査可能なように構成されており、ＸＹ定走査３に
より二次元的なＸＹ平面走査が行なわれるものとなって
いる。

このときＸＹ定走査３にて発生したＸ方向およびＹ方向
の時間的に等間隔なタイミングパルスは、パルスコント
ローラ４へ入力する。パルスコントローラ４は上記入力
したパルスに基づいて送信トリガパルスをつくり、これ
を超音波・送受信回路５へ与える。この送受信回路５は
送信トリガパルスを与えられると、送信パルスを発生さ
せ、その送信パルスを超音波探触子１へ供給する。この
ため超音波探触子１から超音波が発生し、カプラ液体で
ある水６を介して試料２へ入射する。試料２の表面およ
び内部からの反射波は、再び超音波探触子１へ入射して
電気信号に戻され、送受信回路５へ入力する。送受信回
路５に入力した反射波に対応する反射信号は、増幅され
てゲート７へ入る。

ゲート７は、パルスコントローラ４からのゲートコント
ロールパルスによって、必要な反射信号のみを抽出する
如＜０Ｎ−ＯＦＦ制御される。ゲート７を通過した反射
信号は包絡線検波器８にて包路線検波され、その振幅が
検出される。検出された上記振幅を示す信号は、パルス
コントローラ４からの制御パルスに応動するＡ／Ｄ変換
器９によって、ある単位時間毎にディジタル信号に変換
される。かくして試料２の内部からの反射波強度などの
情報が、順次距離（深さ）を変えた状態で検出されるこ
とになる。このようにして検出された情報信号は、パル
スコントローラ４からの制御パルスに応動する画像メモ
リ１０に入力され、ディジタルデータとして記憶される
。この記憶されたディジタルデータすなわち反射波強度
などの情報信号は、ＴＶ信号に変換されてＣＲＴモニタ
１１に供給され、Ｂモード画像として表示される。

第５図（ｂ）は、第５図（ａ）に示した装置の一部を変
形した他の構成例を示す図である０図に示すように、本
例では包絡線検波器８に代えてピーク検波器１２を用い
ている。なお、ピーク検波器１２を用いて試料２の各深
さ位置に対応する反射波強度を分離抽出するためには、
得られたピーク値を順次リセットする必要がある。そこ
で図示の如く、パルスコントローラ４からピーク検波器
１２に対し、リセット信号を出力するようにしている。

〔発明が解決しようとするＢ題〕

上記した従来技術のうち、第５図（ａ）に示した包絡線
検波を行なうようにしたものでは、ある時間間隔（深さ
間隔）における所定時点の反射波強度を検出しているこ
とになる。このため第６図（ａ）に示すように、必ずし
もその時間間隔中の最大値を検出していることにはなら
ず、超音波の反射波強度を正しく検出していないという
欠点がある。

また第５図（ｂ）に示したピーク検波を行なうようにし
たものでは、ある時間間隔（深さ間隔）においてピーク
値を検出している。したがって、その時間間隔中の最大
値を検出していることにはなるが、第６図（ｂ）に示す
ようにリセット時には検出が行なわれないので、いわゆ
る「検出抜け」が生じる。このため、本例においても超
音波の反射波強度を正しく検出し得ないという欠点があ
る。

そこで本発明の目的は、測定対象物の内部構造を示す反
射波強度などの情報を、正確にしかも「検出抜け」が生
じない状態で適確に検出することができ、Ａモード情報
、Ｂモード情報、３次元情報等を取込んで表示すること
のできる超音波顕微鏡を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記課題を解決し目的を達するために次のよう
な手段を講じた。すなわち、音響レンズを用いて超音波
の集束球面波を発生させ、測定対象物の表面および内部
からの反射波を再び音響レンズでとらえて音響−電気変
換を行ない、その反射信号を取出して表示するようにし
た超音波顕微鏡において、所定時間領域内の反射信号を
分離抽出して導入可能なゲートおよびこのゲートにより
導入された反射信号を検波し反射波強度などの情報を検
出する検波器等を備えた受信回路を′ａ数糸系統並列接
続してなる受信回路群と、この受信回路群における各系
統のゲートを制御することにより各系統の受信回路を順
次周期的に作動させる制御手段と、この制御手段により
順次周期的に作動する各系統の受信回路で検出された情
報信号を順次選択して取出し一連の信号列となす信号取
出し手段と、この信号取出し手段にて取出された信号列
を処理して測定対象物の音響的内部構造を画像表示する
手段とを備えるようにしな。

〔作用〕

このような手段を講じたことにより、次のような作用を
呈する。すなわち、受信回路群として例えばピーク検波
器およびそのリセット回路を含む受信回路を二系統分並
列に接続したものを用いた場合には、ゲートの働きに応
じて所定時間々隔毎に分離されて取込まれた反射信号が
、各系統の受信回路に対して順次交互に入力するものと
なる。

したがって一番目の反＠信号が有している反射波強度（
情報）のピーク値は、一方の側のピーク検波器により検
出されかつ保持される。二番目の反射信号が有している
反射波強度（情報）のピーク値は、他方の側のピーク検
波器により検出されかつ保持される。以下同様にして交
互にピーク値の検出および保持が行なわれる。なお一方
のＩＩＩ！１（ｆｌ！！方の（ｉｌｌ）でピーク値の検
出および保持が行なわれている間、他方の側（一方の側
）においては先に検出、＃、持されたピーク値のリセッ
トが行なわれる。上記のように交互にピーク値を検出さ
れかつ保持されたｇＩ報倍信号、切換えスイッチ等から
なる信号取出し手段を介して交互に取出されて、一つの
時系列的な信号列とされる。この信号列は信号処理され
て画像表示される。かくして測定対象物の音響的内部構
造を示す超音波の反射波強度などの情報が、正確にしか
も「検出抜け」のない状態で検出されかつ表示可能とな
る。

〔実施例〕

第１図は本発明の第１実施例の構成を示すブロック図で
ある。第１図において図中左方の中央部位に示す符号２
０は圧電トランスジューサであり、音響レンズ２１と結
合されている。この音響レンズ２１と測定対象物として
の試料２２とは、相対的にＸＹ走査可能な如く構成され
ており、ＸＹ定走査２３により二次元的にＸＹ平面走査
が行なわれるものとなっている。ＸＹ定走査２３からは
Ｘ走査におけるＸ位置に応じたパルスＳＸと、Ｙ走査に
おけるＹ位置に応じたパルスＳＹとが送出される。上記
のパルスＳＸは後述する同期回路２５へ与えられ、パル
スＳＹは後述する画像メモリ３０へ与えられる。

基準タロツク発生器２４は、タイミングパルスとしての
基準タロツクＣＫを発生させる。この基準タロツクＣＫ
は、一方において同期回路２５へ供給される。同期回路
２５は、基準クロ・ツクＣＫと前記ＸＹ走査部２３から
のパルスＳＸとの同期をとり、送信トリガパルスＴＴを
つくり、これを送信パルス発生器２６へ供給する。送信
パルス発生器２６は、例えば周波数が３０ＭＨ２〜１０
０ＭＨｚ程度の比較的低い周波数帯の送信パルスＳを出
力する。この送信パルスＳは、サーキュレータ２７を通
って前記圧電トランスジューサ２０に印加される。圧電
トランスジューサ２０は、送信パルスＳについての電気
−音響変換を行なって超音波を発生させる。この発生し
た超音波は、音響レンズ２１によって集束球面波とされ
、カプラ液体である水６を伝搬して試料２２に照射され
る。照射された超音波の一部は試料２２の表面で反射さ
れるが、他の一部は試料２２の内部に進入する。

試料２２の表面、底面、又は試料内部の音響的不均一部
分から反射した反射波は、再び音響レンズ２１を通って
圧電トランスジューサ２０に戻り、音響−電気変換され
る。このようにして得られた反射波に対応する反射信号
は、サーキュレータ２７を通りプリアンプ２８へ導かれ
る。プリアンプ２８により増幅された反射信号は、後述
する受信回路群すなわち二系統並列構成の受信回路４０
ａ、４０ｂに入力する。

前記基準クロック発生器２４で発生した基準タロツクＣ
Ｋは、他方において遅延回路２９へ供給され、ここで遅
延されたのち画像メモリ３０ヘサンプリングパルスＳＫ
として供給される。また前記基準タロツクＣＫは、ＸＺ
位置パルスコントローラ３１．同期分周回路３２へ供給
される。前記同期回路２５からの送信トリガパルスＴＴ
も上記ＸＺ位置パルスコントローラ３１．同期分周回路
３２へ供給される。ＸＺ位置パルスコントローラ３１は
、画像メモリ３０内のＸ位置に相当しなアドレスと、Ｚ
位置（深さ位置）のスタートアドレスとを設定する。上
記スタート位置は、７位置設定器３３により設定される
。また同期分周回路３２は前記基準タロツクを２分周す
るが、そのリセット信号として前記送信トリガパルスＴ
Ｔを用い、これによりＸ走査パルス毎の同期をとる。同
期分周回路３２で分周したパルスＳＤは、ゲートパルス
コントローラ３４．リセットパルスコントローラ３５．
信号切換えパルスコントローラ３６に与えられる。

二系統並列構成の受信回路４０ａと４０ｂとは、全く同
一構成となっている。したがってここでは受信回路４０
ａに例をとってその構成を説明する。

アンプ４１ａは入力した反射信号を増幅して、ゲ−ト４
２　ａに入力させる。ゲート４２ａはゲートパルスコン
トローラ３４からの制御パルスＧ、Ｇにより０Ｎ−ＯＦ
Ｆ制御され、ＯＮのとき前記アンプ４１ａの出力を通過
させて次のアンプ４３ａに与える。アンプ４３ａは入力
した信号をさらに増幅し、ピーク検波器４４ａに与える
。ピーク検波器４４ａは入力した信号のピーク値を検出
し、その値を保持する。リセット器４５ａは前記リセッ
トパルスコントローラ３５からのリセットパルスＲａに
よりＯＮにされると、前記ピーク検波器４４ａのコンデ
ンサに蓄積されている電荷をディスチャージし、リセッ
トを行なう、アンプ４６ａは上記リセット前のピークホ
ールド信号を増幅し、アナログ式切換えスイッチ（以下
切換えスイッチという）４７の一方の端子ａへ与える。

上記受信回路４０ａと並列に接続されている同一構成の
他の受信回路４０ｂにおけるアンプ４６ｂは、その出力
信号を切換えスイッチ４７の他方の端子すへ与える。

なお、ａ系統のゲート４２ａとｂ系統のゲート４２ｂ、
およびａ系統のリセッ！・器４５ａとｂ系統のリセット
器４５ｂとが、それぞれ交互に動作するように、ゲート
パルスコントローラ３４、リセットパルスコントローラ
３５により、各々制御される。そしてａ系統およびｂ系
統の各受信回路４０ａ、４０ｂの出力信号を交互に取出
すように、切換えスイッチ４７を信号切換えパルスコン
トローラ３６により切換制御する。

切換えスイッチ４７により選択して取出された一連の信
号列は、次段のバッファアンプ４８にて増幅される。バ
ッファアンプ４８の出力信号Ｓ■は画像メモリ３０に送
られる０画像メモリ３０は送られてきた上記信号Ｓ■を
、前記サンプリングパルスＳＫにてサンプリングし、順
次Ａ／Ｄ変換して記憶する。この場合のアドレスは、Ｘ
Ｙ定走査２３からのＹ位置パルスＳＹと、ＸＺＬ１置パ
ルスコントローラ３１からのＸ　７１　’ｆｆおよびＺ
ｉｉ置装ルスとにより定められる６画像メモリ３０に記
憶された画像データは、画像処理装置５０により種々の
信号処理を行なわれたのち、ＣＲＴモニタ５１へ供給さ
れる。ＣＲＴモニタ５１は供給された画像データを可視
化し、試料２２の内部構造を表示する。なお画像データ
の取込みは、リセットスイッチ５２のリセット操作によ
り開始される。

次に、このように構成された本装置の動作を説明する。

先ずリセットスイッチ５２をＯＮさせると、第２図のＳ
Ｒのようなリセット信号が画像メモリ３０および画像処
理装置５０に入力し、メモリクリア、アドレスリセット
等が行なわれる。

そこでＸＹ定走査２３を動作させ、音響レンズ２１と試
料２２とを相対的にＸＹ定走査る。このとき、先ずＹ方
向に１ステツプ走査し、そのｔｌｔ　Ｘ方向にライン走
査する。Ｙ走査における位置パルスＳＹは、画像メモリ
３０に伝えられ、Ｘ走査における位置パルス例えば５１
２点のパルスＳＸは、同期回路２５に入力する。この場
合の一点が試料２２のＸＹ平面内の一点にあたる、基準
タロツク発生器２４からのタロツクパルスＣＫが同期回
路２５に与えられると、先のパルスＳＸとの同期がとら
れ、送信トリガパルスＴＴが発生する。この送信トリガ
パルスＴＴが送信パルス発生器２６に入力すると、この
発生器２６により第２図の信号ＳにＳｏとして示すよう
なパルス幅の狭い高電圧パルスが発生する。このパルス
Ｓｏがサーキュレータ２７を通り、圧電トランスジュー
サ２０へ与えられると、上記パルスＳｏの電気−音響変
換が行なわれ、超音波が発生する。この超音波は音響レ
ンズ２１にて集束球面波とされ、水６を介して試料２２
へ入射する。試料２２で透過、散乱、反射、吸収なる作
用を受けた超音波のうち、試料表面や試料内部で反射し
た反射波は、再び音響レンズ２１に戻り、圧電トランス
ジューサ２０によって超音波から電気信号に変換され、
サーキュレータ２７を通ってプリアンプ２８に信号Ｓ（
α、β。

γ）として入力する。プリアンプ２８にて高周波増幅さ
れた反射信号は、二系統並列構成の受信回路４０ａ、４
０ｂにおけるアンプ４１ａ、４１ｂに同時に供給される
。

一方、同期分周回路３２に基準タロツクＣＫおよび送信
トリガパルスＴＴが入力すると、この回路３２から第２
図のＳＤのような基準タロツクＣＫに同期した２分周パ
ルスが発生する。このパルスＳＤがゲートパルスコント
ローラ３４に入力すると、第２図のＧ、Ｇに示すような
り、Ｈが互いに反転したパルスがゲート４２ａ、４２ｂ
に制御パルスとして入力する。各ゲート４２ａ、４２ｂ
はＧ、ＧがＨのときにＯＮとなり、ＬのときにＯＦＦと
なるように設定されているので、前記アンプ４１ａ、４
１ｂで増幅された反射信号α、β。

γは第２図のＳａ３　、Ｓｂｌのように交互にゲートさ
れ、アンプ４３ａ、、４３ｂに供給される。アンプ４３
ａ、４３ｂで増幅された信号は、ピーク検波器４４ａ、
４４ｂにてそれぞれピーク値を検出され、かつ保持され
る。このピーク値を保持された状態はゲート４２ａ、４
２ｂが次にＯＮする前にリセットする必要がある。これ
に対処するために、リセットパルスコントローラ３５で
は、同期分周回路３２からの信号ＳＤを受けると、リセ
ットパルス信号Ｒａ、Ｒｂを出力する。この信号Ｒａ、
Ｒｈがリセット器４５ａ、４５ｂにそれぞれ与えられる
と、同リセット器４５ａ、４５ｂはそれぞれの時点でＯ
Ｎとなり、ピーク検波器４４ａ、４４ｂをリセットする
。第２図のＲａ、Ｒｂの記載部分に書込んである時間ｔ
ｒは、ゲートがＯＮとなってからＯＦＦになるまでの時
間幅である。この時Ｈ幅ｔｒとリセットパルスＲａ、Ｒ
ｂの時間幅との和は、信号ＳＤの１周期分よりも短いも
のとなるように設定されている。このようにして反射信
号をピークホールドし、かつその後リセットした状態の
波形は、第２図中Ｓａ２．Ｓｂ２として示すようなもの
となる。この信号はアンプ４６ａ、４６ｂにて各々増幅
され、切換えスイッチ４７の各端子に入力する。切換え
スイッチ４７は信号切換えパルスコントローラ３６から
の信号ＳＳがＨのときはａ系統側に切換わり、信号ＳＳ
がＬのときはｂ系統側に切換わる。このような切換えス
イッチ４７の切換動作に応じてアンプ４６ａまたはアン
プ４６ｂの出力信号が選択的に取出される。この取出さ
れた信号は一連の信号列となってバッファアンプ４８を
通り、第２図のＳ■なる信号として画像メモリ３０に与
えられる。

Ｘｚ位置パルスコントローラ３１からは、２位置設定器
３３にて設定された２位置情報に基づいて、送信トリガ
パルスＴＴの立下がり時点から時間ｔｚだけ遅れた時点
でパルスＳＰが発生する。

このパルスＳＰにより画像メモリ３０のＸ位置に相当し
たアドレスが設定されると共に、２方向（深さ方向）で
の画像データ取込みスタートアドレスが設定される。そ
こで例えば第２図のＳ■におけるα′、β′、γ′のと
ころの値をサンプリングして２効できるように、遅延回
路２９により時間ｔｓだけ遅らせたサンプリングパルス
ＳＫを発生させ、画像メモリ３０に与える。こうするこ
とにより、あるＸ位置での２方向の反射波のピーク値が
２個だけ、Ａ／Ｄ変換され、ディジタル信号として記録
される。上記の個数℃は、Ｚ方向での分割数であり、例
えばλ＝３２とする０以上の動作をＸＹ定走査２３での
Ｘ走査において、Ｘ方向にｎ点、例えばｎ＝５１２をと
れば、「Ｘ方向ｎ点」Ｘｒｚ方向２点」のいわゆるＢモ
ード画像データが画像メモリ３０に記録される。ＸＹ定
走査２３でＹ走査をｍ本、例えばｍ＝５１２となるよう
にＹ走査を行なえば、ｒｎＸｍＸβノなる三次元内部画
像データが、画像メモリ３０に取込まれる。この取込ま
れた画像データは、次段の画像処理装置５０で画像信号
変換等の処理を行なわれ、ＣＲＴモニタ５１へ送られる
。かくしてＣＲＴモニタ５１にて試料の内部構造を示す
画像が表示される。

このように本実施例においては、二系統並列楕成の受信
回路４０ａ、４０ｂにより、試料２２の内部からの反射
波のピーク値を交互に検出するようにしたので、反射波
のピーク値を欠落なしに正確に検出することができる。

なお上記実施例では二系統並列構成の受信回路を例示し
たが、三系統以上の並列構成を有する受信回路であって
もよい、また上記実施例では検波手段としてピーク検波
器を用いた例を示したが、例えば直交検波器、位相検波
器等１、他の検波手段を用いてもよい。

第３図は本発明の第２実施例の主要部の構成を示すブロ
ック図である０本実施例が前記第１実施例と異なる点は
、第１．実施例では基準クロックを２分周した信号ＳＤ
でゲート制御等を行なったのに対し、本実施例ではデユ
ーティ比を異ならせた信号によって制御するようにした
点である。

第３図に示す如く、同期・任意デユーティ発生回路６０
と、任意デユーティ股定器６１とを付加した構成となっ
ている。同期任意デユーティ発生回路６０は、基準タロ
ツク発生器２４にて発生した基準タロツクＣＫのデユー
ティを任意のデユティに変えて遅延回路２９．ＸＺ位置
パルスコントローラ３１．同期分周回路３２に供給する
回路であり、任意デユーティ設定器６１は所望のデユー
ティを設定操作するためのものである。

第４図は第３図に示す回路の動作タイミングを示す図で
ある。以下第４図を適時参照して動作説明を行なう。

基準クロック発生器２４から送出される基準クロックＣ
Ｋのデユーティを変えるべく、任意デユーティ発生器６
１にてデユーティ設定操作を行なう、そうすると、」−
記設定操作に応じて、同期任意デユーティ発生回路６０
が作動し、第４図の８１゛に示すようにデユーティが逐
次異なるような態様のパルス列が生成される。このパル
ス列Ｓ′Ｆに基づいて遅延回ＩＫ２９．ＸＺ位置パルス
コンｌ−口一ラ３１．同期分周回路３２が作動する。し
たがって信号ＳＫ、ＳＰ、ＳＤは第４図に示すようにな
る。この結果、ゲー）４２ａ、４２ｂで制御される時間
幅が種々異なるものとなり、超音波の反射波を検出する
際のＺ方向く深さ方向）の時間分割の割合が所望状態に
変化したものとなる。したがって試料２２の材質や！ｆ
４遣に、応じて反射波を任意分割でとらえることができ
る０例えば音速の異なる二媒質が深さ方向に連なってい
るような構造を有する試料の場合、音速の速い部分では
時間分割の幅を細かくし、音速の遅い部分では時間分割
の幅を粗くして、超音波の反射波をとらえるようにすれ
ば、表面から内部または裏面までをＺ方向に等間隔にサ
ンプリングすることができ、音速差による画像の歪みを
除去できることになる。また例えば同一媒質からなる試
料の場合であっても、ある深さ領域については時間分割
の幅を細かくし、他の深さ領域については時間分割の幅
を粗くすることにより、必要な領域における内部構造を
拡大または縮小した状態で表示することがＩＩｆ能とな
る９このように本実施例においては、ゲート０ＮＯＦＦ
のタイミングのデユーティを任意に変えることができる
ので、試料２２の深さ方向の画像の伸縮を容易に行なえ
る利点がある。

なお本発明は上述した各実施例に堰定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能
であるのは勿論である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、所定時間領域内の反射信号を分離抽出
して導入可能なゲートおよびこのゲートにより導入され
た反射信号を検波し反射波強度等の情報を検出する検波
器等を備えた受信回路を複数系統並列に接続して受信回
路群を′！Ｒ成し、この受信回路群における各系統のゲ
ートを制御することにより各系統の受信回路を順次周期
的に作動させ、各系統の受信回路で検出された情報信号
を順次選択して取出すことにより一連の信号列となし、
この信号列を処理して測定対象物の音響的内部構造を画
像表示するようにしたので、測定対象物の内部Ｍ　Ｐを
示す反射波強度等の情報を、正確にしかも「検出抜けＪ
が生じない状慇で適確に検出することができ、Ａモード
情報、Ｂモード情報、３次元情報等を取込んで表示する
ことのできる超音波顕＠鎚を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の構成を示すブロック図、
第２図は同実施例の動作タイミングを示す波形図、第３
図は本発明の第２実施例の主要部の構成を示すブロック
図、第４図は同実施例の動作タイミングを示す波形図で
ある。第５図（ａ）（ｂ）は従来例を示すブロック図、
第６図（ａ）（ｂ）は同従来例の動作タイミングを示す
波形図である。 ２０・・・圧電トランスシュ〜す、２１・・・音響レン
ズ、２２−・・試料（測定対象物）、４０ａ、４０ｂ・
・・二系統の受信回路、４２ａ、４２ｂ・・・ゲート、
４４ａ、４４ｂ−ピーク検波器、４５ａ、４５ｂ・・・
リセット器、４７・・・アナログ式切換えスイッチ。 出願人代理人　弁理士　坪　井　淳

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 音響レンズを用いて超音波の集束球面波を発生させ、測
   定対象物の表面および内部からの反射波を再び音響レン
   ズでとらえて音響−電気変換を行ない、その反射信号を
   取出して表示するようにした超音波顕微鏡において、 所定時間領域内の反射信号を分離抽出して導入可能なゲ
   ートおよびこのゲートにより導入された反射信号を検波
   し反射波強度などの情報を検出する検波器等を備えた受
   信回路を複数系統並列に接続してなる受信回路群と、こ
   の受信回路群における各系統のゲートを制御することに
   より各系統の受信回路を順次周期的に作動させる制御手
   段と、この制御手段により順次周期的に作動する各系統
   の受信回路で検出された情報信号を順次選択して取出し
   一連の信号列となす手段と、この手段にて得られた信号
   列を処理して測定対象物の音響的内部構造を画像表示す
   る手段とを備えたことを特徴とする超音波顕微鏡。