JPH02825U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02825U JPH02825U JP7741588U JP7741588U JPH02825U JP H02825 U JPH02825 U JP H02825U JP 7741588 U JP7741588 U JP 7741588U JP 7741588 U JP7741588 U JP 7741588U JP H02825 U JPH02825 U JP H02825U
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- JP
- Japan
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- pattern
- substrate
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave element
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims 2
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
第１図ａ，ｂは本考案の一実施例を説明するた
めのチツプの平面図及びＡ―Ａ′線断面拡大図、
第２図及び第３図は従来のパターンの形状を示す
平面図、第４図は従来のチツプが正常にダイボン
デイングされた場合のパターンの反射光と受光器
の関係を示す模式図、第５図は従来のチツプが傾
いてダイボンデイングされた場合のパターンの反
射光と受光器の関係を示す模式図である。 １…基板、２…パターン、３…薄膜、４…入射
光、５…反射光、６…透過光、７…チツプ、８…
パツケージ、９…受光器。
めのチツプの平面図及びＡ―Ａ′線断面拡大図、
第２図及び第３図は従来のパターンの形状を示す
平面図、第４図は従来のチツプが正常にダイボン
デイングされた場合のパターンの反射光と受光器
の関係を示す模式図、第５図は従来のチツプが傾
いてダイボンデイングされた場合のパターンの反
射光と受光器の関係を示す模式図である。 １…基板、２…パターン、３…薄膜、４…入射
光、５…反射光、６…透過光、７…チツプ、８…
パツケージ、９…受光器。
Claims (1)
- 基板上に形成し前記基板のボンデイング用座標
を検出するためのパターンを有する弾性表面波素
子において、前記パターンが膜厚の１／２乃至２
倍の幅を有する短冊状の薄膜を複数配列して形成
されることを特徴とする弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7741588U JPH02825U (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7741588U JPH02825U (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02825U true JPH02825U (ja) | 1990-01-05 |
Family
ID=31302401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7741588U Pending JPH02825U (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02825U (ja) |
-
1988
- 1988-06-10 JP JP7741588U patent/JPH02825U/ja active Pending