JPH0282603A - Inductor and manufacture thereof - Google Patents

Inductor and manufacture thereof

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Publication number
JPH0282603A
JPH0282603A JP23545688A JP23545688A JPH0282603A JP H0282603 A JPH0282603 A JP H0282603A JP 23545688 A JP23545688 A JP 23545688A JP 23545688 A JP23545688 A JP 23545688A JP H0282603 A JPH0282603 A JP H0282603A
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JP
Japan
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layer
insulating layer
insulating
magnetic layer
inductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP23545688A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshiaki Yanai
利明 谷内
Goro Yamauchi
五郎 山内
Masato Mino
正人 三野
Satoshi Otsu
智 大津
Akio Tago
田子　章男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Abstract

PURPOSE:To reduce an inductor in size, to enhance its density, and to facilitate the molding of the inductor by forming an insulating layer on the surface of a magnetic layer on which columns are integrally implanted, and extending a conductor layer along the columns of the magnetic layer on the insulating layer. CONSTITUTION:A first magnetic layer 20 on which a plurality of columns 21 are sequentially integrally implanted in an arrangement is formed on a board 1 having an insulating surface 2. A first insulating layer 23 is formed except the upper faces of the columns 21 on the layer 20. Further, a conductor layer 24 is formed at the columns 21 of the layer 20 through the layer 23 on the layer 23. An insulating layer 25 having a plurality of windows 26 disposed externally are formed on the upper faces of the columns 21 of the layer 20. Further, another one magnetic layer 27 is extended to be connected to the upper faces of the columns 21 of the layer 20 on the layer 25 through the windows 26.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【産業上の利用分野］ 本発明は、導電体層に磁性体層が絶縁層を介して沿って延長している構成を有するインダクタ、及びその製法に関する。 【従来の技術】[Industrial application field] The present invention relates to an inductor having a structure in which a magnetic layer extends along a conductive layer with an insulating layer interposed therebetween, and a method for manufacturing the same. [Conventional technology]

従来、第７図及び第８図を伴って次に述べるインダクタ
が提案されている。 すなわち、絶縁性表面２を有づる基板１上に、導電体層
１０の一部になる複数のストライブ状導電体層部Ａが、
順次配列形成されている。 さらに、絶縁層３上に、相隣る導電体層部Ａ間において
、磁性体層４が形成されている。 また、絶縁層３上に、他の絶縁層５が、磁性体層４を覆
って形成されている。 さらに、絶縁層３及び５に、導電体層部Ａの両端部ａ及
びａ′をそれぞれ外部に臨ませる窓Ｏ及びＯ′が形成さ
れている。 また、絶縁層５上に、導電体層１０の他部になる複数の
Ｓ電体層Ｂが、順次配列形成されている。この場合、各
導電体層Ｂは、その一端すが、その導電体層Ｂに対応し
ている相隣る２つの導電体層Ａ中の一方の導電体層Ａの
Ｉｓ部ａに、窓Ｏを通じて、連結し、また、他端ｂ′が
、２つの導電体層Ａ中の他方の導電体層Ａの端部ａに、
窓Ｏ′を通じて連結している。 以上が、従来提案されているインダクタの構成である。 このような構成を有するインダクタは、複数の導電体層
部Ａ、！：複数の導電体層部Ｂとが直列に連結されて、
１つの導電体層１０が形成され、そして、その導電体層
１０に、その延長方向に沿った複数の位置において、磁
性体層４が絶縁層３及び５を介して沿っている構成を有
するので、磁心付きインダクタとしての機能が得られ、
そして、そのような機能の得られるインダクタが、ブレ
ナ型であるという特徴を有する。Conventionally, an inductor as described below with reference to FIGS. 7 and 8 has been proposed. That is, on a substrate 1 having an insulating surface 2, a plurality of strip-shaped conductor layer portions A, which become part of the conductor layer 10, are formed.
A sequential array is formed. Furthermore, a magnetic layer 4 is formed on the insulating layer 3 between adjacent conductive layer portions A. Further, another insulating layer 5 is formed on the insulating layer 3 so as to cover the magnetic layer 4 . Further, windows O and O' are formed in the insulating layers 3 and 5 so that both ends a and a' of the conductor layer portion A are exposed to the outside, respectively. Further, on the insulating layer 5, a plurality of S electric layers B, which are the other parts of the electric conductor layer 10, are sequentially arranged and formed. In this case, each conductor layer B has a window O in the Is portion a of one of the two adjacent conductor layers A corresponding to the conductor layer B. through, and the other end b' is connected to the end a of the other conductor layer A in the two conductor layers A,
They are connected through window O'. The above are the configurations of conventionally proposed inductors. The inductor having such a configuration includes a plurality of conductor layer portions A,! : A plurality of conductor layer parts B are connected in series,
One conductor layer 10 is formed, and the magnetic layer 4 runs along the conductor layer 10 at a plurality of positions along its extension direction, with the insulating layers 3 and 5 interposed therebetween. , the function as an inductor with a magnetic core is obtained,
The inductor that provides such a function is characterized by being of the Brenna type.

【発明が解決しようとする課題】[Problem to be solved by the invention]

しかしながら、第７図及び第８図に示す従来のインダク
タの場合、複数の導電体層部Ａと複数の導電体層部Ｂと
を形成する必要があるとともに、それら導電体層部Ａ及
びＢを直列に連結するのに、絶縁層３及び５に、導電体
層部Ａの両端部ａ及びａ′を外部に臨ませるための無視
し得ない大きさの窓Ｏ及びＯ′を形成する必要があり、
従って、インダクタを小型密実に、且つ容易に、製造す
ることができない、という欠点を有していた。 よって、本発明は、上述した欠点のない、新規なインダ
クタ、及びその製法を提案１／υとするものである。However, in the case of the conventional inductor shown in FIGS. 7 and 8, it is necessary to form a plurality of conductor layer parts A and a plurality of conductor layer parts B, and also to In order to connect them in series, it is necessary to form windows O and O' in the insulating layers 3 and 5 of non-negligible size so that both ends a and a' of the conductor layer portion A can be exposed to the outside. can be,
Therefore, there is a drawback that the inductor cannot be manufactured compactly and precisely and easily. Therefore, the present invention provides a novel inductor and a method for manufacturing the same without the above-mentioned drawbacks.

【課題を解決するための手段】[Means to solve the problem]

本発明によるインダクタは、絶縁性表面を有する基板上
に、柱状部を一体に植立している第１の磁性体層が形成
され、また、上記第１の磁性体層の表面上に、第１の絶
縁層が、上記柱状部の上面を除いた領域において、形成
され、さらに、上記第１の絶縁層上に、導電体層が、上
記第１の磁性体層の柱状部に当該箱１の絶縁層を介して
沿って、延長形成され、また、上記第１の磁性体層の柱
状部の上面上、上記第１の絶縁層の上端面上及び上記導
電体層の上面上に、上記第１の磁性体層の柱状部の上面
を外部に臨ませる窓を有する第２の絶縁層が連続延長し
て形成され、さらに、上記第２の絶縁層上に、第２の磁
性体層が、上記窓を通じて上記第１の磁性体層の柱状部
の上面上に連結延長して、形成されている、という構成
を有する。 また、本発明によるインダクタリの製法は、絶縁性表面
を有する基板上に、柱状部を一体に順次配列植立してい
る第１の磁性体層を形成する工程と、上記第１の磁性体
層上に、その上記柱状部の上面上及び側面上を含めて、
第１の絶縁層を形成する工程と、上記第１の絶縁層上に
、第１の導電体層を形成する工程と、上記第１の導電体
層及び上記第１の絶縁層に対するエツチング処理によっ
て、上記第１の絶縁層から、上記第１の磁性体層の表面
上に、その上記柱状部の上面を除いた領域において延長
している第２の絶縁層を形成し、且つ上記第１の導電体
層から、上記第２の絶縁層上に上記第１の磁性体層の柱
状部に当該第２の絶縁層を介して沿って延長している第
２の導電体層を形成する工程と、１記第１の磁性体層の
柱状部の上面上、上記第２の導電体層の上面上及び上記
第２の絶縁層の上端面上に延長し口つ上記第１の磁性体
層の柱状部を外部に臨ませる窓を有づる第３の絶縁層を
形成する工程と、上記第３の絶縁層上に、上記窓を通じ
て上記第１の磁性体層の柱状部の上面上に延長している
第２の磁性体層を形成する工程とを有する。In the inductor according to the present invention, a first magnetic layer having columnar parts integrally planted thereon is formed on a substrate having an insulating surface, and a first magnetic layer is formed on the surface of the first magnetic layer. A first insulating layer is formed in a region excluding the top surface of the columnar part, and a conductive layer is further formed on the first insulating layer to form a conductor layer on the columnar part of the first magnetic layer. is formed in an extended manner along the insulating layer, and on the upper surface of the columnar part of the first magnetic layer, the upper end surface of the first insulating layer, and the upper surface of the conductive layer. A second insulating layer having a window that exposes the top surface of the columnar part of the first magnetic layer to the outside is formed in a continuous manner, and further, a second magnetic layer is formed on the second insulating layer. , which are connected and extended on the upper surface of the columnar portion of the first magnetic layer through the window. Furthermore, the method for manufacturing an inductor according to the present invention includes the steps of forming a first magnetic layer in which columnar parts are integrally arranged and planted in sequence on a substrate having an insulating surface; on the layer, including on the top surface and side surface of the columnar part,
A step of forming a first insulating layer, a step of forming a first conductor layer on the first insulating layer, and an etching treatment for the first conductor layer and the first insulating layer. , forming a second insulating layer extending from the first insulating layer onto the surface of the first magnetic layer in a region excluding the top surface of the columnar part; forming a second conductive layer extending from the conductive layer onto the second insulating layer along the columnar part of the first magnetic layer via the second insulating layer; , (1) extending over the top surface of the columnar part of the first magnetic layer, the top surface of the second conductive layer, and the top surface of the second insulating layer; forming a third insulating layer having a window that exposes the columnar portion to the outside, and extending over the top surface of the columnar portion of the first magnetic layer through the window on the third insulating layer; and a step of forming a second magnetic layer.

【作用・効果］ 本発明によるインダクタ、及びその製法によれば、導電
体層が、第７図及び第８図で上述した従来のインダクタ
の場合のように複数の導電体層部を直列に連結して形成
されている、というものではなく、始めから１つの導電
体層であるので、第７図及び第８図で上述した従来につ
いて上述した欠点を伴うことなく、インダクタを、第７
図及び第８図で上述した従来のインダクタの場合に比し
、小型密実に、且つ容易に製造することができる。 【実施例】 次に、第１図〜第３図、及び第４図及び第５図を伴って
本発明によるインダクタの２つの実施例を述べるととも
に、第６図Ａ〜Ｆを伴って本発明のインダクタの製法の
実施例を述べよう。 まず、第１図〜第３図、及び第４図及び第５図を伴って
本発明によるインダクタの２つ実施例を述べよう。 第１図〜第３図、及び第４図及び第５図において、第７
図及び第８図との対応部分には同一符号を付して示す。 第１図〜第５図に示す本発明によるインダクタは、絶縁
性表面２を有する基板１に、複数の柱状部２１を一体に
順次配列植立している第１の磁性体層２０が形成されて
いる。 また、磁性体層２０の表面上に、第１の絶縁層２３が、
柱状部２１の上面を除いた領域において、形成されてい
る。この場合、絶縁層２３の上端面は、磁性体層２０の
柱状部２１の上面と同じ高さを有する。 さらに、絶縁層２３上に、導電体層２４がζ磁性体層２
０の複数の柱状部２１に絶縁層２３を介して沿って、延
長して形成されている。この場合、導電体層２４の上面
は、磁性体層２０の柱状部２１の上面及び絶縁層２３の
上端面と同じ高さを有している。 また、磁性体層２０の柱状部２１の上面上、絶縁層２３
の上端面上及び導電体層２４の上面上に、磁性体層２０
の複数の柱状部２１の上面をそれぞれ外部に臨ませる複
数の窓２６を有する絶縁層２５が、連結延長して、形成
されている。 さらに、絶縁層２５上に、第１図〜第３図の場合、他の
１つの磁性体層２７が、上述した複数の窓２６を通じて
、磁性体ＷＪ２０の複数の柱状部２１の上面上にそれぞ
れ連結延長して、形成され、また、第４図及び第５図の
場合、他の複数の磁性体層２７が、複数の窓２６を通じ
て、磁性体層２０の複数の柱状部２１の上面上にそれぞ
れ連結延長して、形成されている。 以上が、本発明によるインダクタの実施例の構成である
。 次に、第６図を伴って、上述した本発明によるインダク
タの実施例の製法の実施例を述べよう。 第６図において、第１図〜第５図との対応部分には同一
符号を付して、詳細説明を省略する。 本発明によるインダクタの製法の実施例においては、絶
縁性表面２を有する基板１を予め用意しく第６図△）、
その基板１上に、第１図〜第５図で上述したと同様の複
数の柱状部２１を有する磁性体ｍ２０を、それ自体は公
知の方法によって形成する（第６図Ｂ）ａ 次に、磁性体層２０上に、その柱状部２１の上面上及び
側面上を含めて、絶縁層２３′を形成する（第６図Ｃ）
。 次に、絶縁層２３′上に、導電体層２４′を形成する（
第６図Ｄ）。 次に、導電体層２４′及び絶縁層２３′に対する、例え
ば斜めイオンエツチング処理によるエツチング処理によ
って、絶縁層２３′から、第１図〜第５図で上述したと
同様の絶縁層２３を形成し、且つ導電体層２４′から、
絶縁層２３上に第１図〜第５図で上述したと同様の導電
体層２４を形成する（第６図Ｅ）。 次に、磁性体層２０の柱状部２１の上面上、導電体層２
４の上面及び絶縁層２３の上端面上に延長し且つ磁性体
層２０の柱状部２１を外部にそれぞれ臨ませる窓２６を
有する、第１図〜第５図で上述したと同様の絶縁層２５
を形成する（第６図Ｆ）。 次に、絶縁層２５上に、第１図〜第３図または第４図及
び第５図で上述した磁性体層２６を形成する（第１図〜
第３図または第４図及び第５図）。 以上が、第１図〜第３図または第４図及び第５図で上述
した本発明によるインダクタの実施例の製法の実施例で
ある。 以上で、本発明によるインダクタの実施例、及びその製
法の実施例が明らかとなった。 このような本発明によるインダクタの実施例、及びその
製法の実施例によれば、詳細説明は省略するが、[Operations/Effects] According to the inductor and the manufacturing method thereof according to the present invention, the conductor layer connects a plurality of conductor layer portions in series as in the case of the conventional inductor described above in FIGS. 7 and 8. Since the inductor is not formed as a single conductive layer from the beginning, but is formed as one conductive layer from the beginning, the inductor can be formed as a single conductive layer without having the drawbacks described above with respect to the conventional method as described in FIGS. 7 and 8.
Compared to the conventional inductors described above with reference to FIGS. [Embodiments] Next, two embodiments of the inductor according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3, and FIGS. 4 and 5, and FIGS. Let us now describe an example of the method for manufacturing an inductor. First, two embodiments of the inductor according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3 and FIGS. 4 and 5. In Figures 1 to 3, and Figures 4 and 5,
Corresponding parts to those in the figure and FIG. 8 are designated by the same reference numerals. The inductor according to the present invention shown in FIGS. 1 to 5 has a first magnetic layer 20 formed on a substrate 1 having an insulating surface 2, in which a plurality of columnar parts 21 are integrally arranged and planted in sequence. ing. Further, on the surface of the magnetic layer 20, a first insulating layer 23 is formed.
It is formed in the area excluding the upper surface of the columnar part 21. In this case, the upper end surface of the insulating layer 23 has the same height as the upper surface of the columnar part 21 of the magnetic layer 20. Further, on the insulating layer 23, a conductive layer 24 is formed on the ζ magnetic layer 2.
It is formed to extend along the plurality of columnar parts 21 of 0 with an insulating layer 23 interposed therebetween. In this case, the upper surface of the conductive layer 24 has the same height as the upper surface of the columnar part 21 of the magnetic layer 20 and the upper end surface of the insulating layer 23. Further, on the upper surface of the columnar part 21 of the magnetic layer 20, the insulating layer 23
A magnetic layer 20 is placed on the upper end surface and on the upper surface of the conductor layer 24.
An insulating layer 25 is formed by connecting and extending an insulating layer 25 having a plurality of windows 26 that allow the upper surfaces of the plurality of columnar parts 21 to respectively face the outside. Further, on the insulating layer 25, in the case of FIGS. 1 to 3, another magnetic layer 27 is formed on the upper surface of the plurality of columnar parts 21 of the magnetic material WJ20 through the plurality of windows 26 described above. In the case of FIGS. 4 and 5, other plurality of magnetic layers 27 are formed on the upper surface of the plurality of columnar parts 21 of the magnetic layer 20 through the plurality of windows 26. They are each connected and extended. The above is the configuration of the embodiment of the inductor according to the present invention. Next, referring to FIG. 6, an example of the manufacturing method of the inductor according to the above-mentioned embodiment of the present invention will be described. In FIG. 6, parts corresponding to those in FIGS. 1 to 5 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. In an embodiment of the inductor manufacturing method according to the present invention, a substrate 1 having an insulating surface 2 is prepared in advance (FIG. 6 △),
On the substrate 1, a magnetic material m20 having a plurality of columnar portions 21 similar to those described above in FIGS. 1 to 5 is formed by a method known per se (FIG. 6B) a. Next, An insulating layer 23' is formed on the magnetic layer 20, including the top and side surfaces of the columnar portion 21 (FIG. 6C).
. Next, a conductive layer 24' is formed on the insulating layer 23' (
Figure 6D). Next, an insulating layer 23 similar to that described above in FIGS. 1 to 5 is formed from the insulating layer 23' by etching the conductor layer 24' and the insulating layer 23', for example, by oblique ion etching. , and from the conductor layer 24',
A conductor layer 24 similar to that described above in FIGS. 1 to 5 is formed on the insulating layer 23 (FIG. 6E). Next, on the upper surface of the columnar part 21 of the magnetic layer 20, the conductive layer 2
4 and the upper end surface of the insulating layer 23, and has a window 26 that allows the columnar portions 21 of the magnetic layer 20 to be exposed to the outside, respectively, and is similar to that described above in FIGS.
(Fig. 6F). Next, the magnetic layer 26 described above in FIGS. 1 to 3 or 4 and 5 is formed on the insulating layer 25 (FIGS. 1 to 3).
3 or 4 and 5). The above is an example of the manufacturing method of the embodiment of the inductor according to the present invention described above with reference to FIGS. 1 to 3 or 4 and 5. The embodiments of the inductor and the method for manufacturing the same according to the present invention have been clarified above. According to the embodiments of the inductor and the method for manufacturing the same according to the present invention, although detailed explanation is omitted,

【作用
・効果】の項で上述した特徴を有する。 なお、上述においては、本発明によるインダクタの１つ
の実施例、及び本発明によるインダクタの製法の１つの
実施例を示したに過ぎず、本発明の精神を脱することな
しに、種々の変型、変更をなし得るであろう。It has the features described above in the [Operation/Effect] section. The above description merely shows one embodiment of the inductor according to the present invention and one embodiment of the method for manufacturing the inductor according to the present invention, and various modifications and variations may be made without departing from the spirit of the present invention. changes could be made.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は、本発明によるインダクタの実施例を示す一部
を切欠して示す路線的平面図である。 第２図及び第３図は、それぞれ第１図のｆｆ−■線上及
び■−■線上の断面図である。 第４図は、本発明によるインダクタの他の実施例を示す
一部を切欠して示す路線的平面図である。 第５図は、第４図のＶ−Ｖ線上の断面図である。 第６図Ａ〜Ｆは、第１図〜第３図または第４図及び第５
図に示す本発明によるインダクタの実施例の製法の実施
例を示す、順次の工程における路線的断面図である。 第７図は、従来のインダクタを示す路線的平面図である
。 第８図は、その■−■線上の断面図である。 ■ 第１　閃 出願人　　日本電信電話株式会社 代理人　　弁理士　１）中　正　治　　ノ第６ 図 １１４防 第５図 第６図FIG. 1 is a partially cutaway plan view showing an embodiment of an inductor according to the present invention. 2 and 3 are cross-sectional views taken along the line ff-■ and the line ■-■ in FIG. 1, respectively. FIG. 4 is a partially cutaway plan view showing another embodiment of the inductor according to the present invention. FIG. 5 is a sectional view taken along the line V-V in FIG. 4. Figures 6A to 6F are Figures 1 to 3 or Figures 4 and 5.
FIG. 3 is a line cross-sectional view of sequential steps showing an example of a manufacturing method of the example of the inductor according to the present invention shown in the figures. FIG. 7 is a schematic plan view showing a conventional inductor. FIG. 8 is a sectional view taken along the line ■-■. ■ First Applicant Nippon Telegraph and Telephone Corporation Agent Patent Attorney 1) Masaharu Naka No. 6 Figure 114 Figure 5 Figure 6

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] １．絶縁性表面を有する基板上に、柱状部を一体に植立
している第１の磁性体層が形成され、上記第１の磁性体
層の表面上に、第１の絶 縁層が、上記柱状部の上面を除いた領域において、形成
され、 上記第１の絶縁層上に、導電体層が、上記 第１の磁性体層の柱状部に当該第１の絶縁層を介して沿
って、延長形成され、 上記第１の磁性体層の柱状部の上面上、上 記第１の絶縁層の上端面上及び上記導電体層の上面上に
、上記第１の磁性体層の柱状部の上面を外部に臨ませる
窓を有する第２の絶縁層が連続延長して形成され、 上記第２の絶縁層上に、第２の磁性体層が、上記窓を通
じて上記第１の磁性体層の柱状部の上面上に連結延長し
て、形成されていることを特徴とするインダクタ。1. A first magnetic layer having columnar parts integrally planted thereon is formed on a substrate having an insulating surface, and a first insulating layer is formed on the surface of the first magnetic layer. A conductive layer is formed on the first insulating layer, extending along the columnar part of the first magnetic layer through the first insulating layer. The top surface of the columnar portion of the first magnetic layer is formed on the top surface of the columnar portion of the first magnetic layer, the top surface of the first insulating layer, and the top surface of the conductive layer. A second insulating layer having a window facing the outside is formed in a continuous manner, and a second magnetic layer is formed on the second insulating layer so that the columnar portion of the first magnetic layer passes through the window. An inductor characterized in that the inductor is formed by connecting and extending on the upper surface of the inductor. ２．絶縁性表面を有する基板上に、柱状部を一体に順次
配列植立している第１の磁性体層を形成する工程と、 上記第１の磁性体層上に、その上記柱状部 の上面上及び側面上を含めて、第１の絶縁層を形成する
工程と、 上記第１の絶縁層上に、第１の導電体層を 形成する工程と、 上記第１の導電体層及び上記第１の絶縁層 に対するエッチング処理によって、上記第１の絶縁層か
ら、上記第１の磁性体層の表面上に、その上記柱状部の
上面を除いた領域において延長している第２の絶縁層を
形成し、且つ上記第１の導電体層から、上記第２の絶縁
層上に上記第１の磁性体層の柱状部に当該第２の絶縁層
を介して沿って延長している第２の導電体層を形成する
工程と、 上記第１の磁性体層の柱状部の上面上、上 記第２の導電体層の上面上及び上記第２の絶縁層の上端
面上に延長し且つ上記第１の磁性体層の柱状部を外部に
臨ませる窓を有する第３の絶縁層を形成する工程と、 上記第３の絶縁層上に、上記窓を通じて上 記第１の磁性体層の柱状部の上面上に延長している第２
の磁性体層を形成する工程とを有することを特徴とする
インダクタの製法。2. forming a first magnetic layer in which columnar parts are integrally and sequentially planted on a substrate having an insulating surface; forming a first insulating layer on the first insulating layer and the first insulating layer; forming a first conductive layer on the first insulating layer; By etching the insulating layer, a second insulating layer is formed extending from the first insulating layer onto the surface of the first magnetic layer in a region excluding the top surface of the columnar part. and a second conductive layer extending from the first conductive layer onto the second insulating layer along the columnar part of the first magnetic layer via the second insulating layer. forming a body layer extending over the top surface of the columnar part of the first magnetic layer, the top surface of the second conductive layer, and the top end surface of the second insulating layer; forming a third insulating layer having a window that allows the columnar part of the magnetic layer to be exposed to the outside, and placing the upper surface of the columnar part of the first magnetic layer on the third insulating layer through the window; the second extending upwards
1. A method for manufacturing an inductor, comprising the step of forming a magnetic layer.
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JP (1) JPH0282603A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4317545A1 (en) * 1992-05-27 1993-12-02 Fuji Electric Co Ltd Thin film transformer

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DE4317545A1 (en) * 1992-05-27 1993-12-02 Fuji Electric Co Ltd Thin film transformer

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