JPH0283017U - - Google Patents

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JPH0283017U
JPH0283017U JP16094588U JP16094588U JPH0283017U JP H0283017 U JPH0283017 U JP H0283017U JP 16094588 U JP16094588 U JP 16094588U JP 16094588 U JP16094588 U JP 16094588U JP H0283017 U JPH0283017 U JP H0283017U
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porous filtration
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  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による濾過器の概略断面図、第
２図は第１図の濾過器の平面図、第３図は本考案
による濾過器をプラズマエツチング装置用電極と
して用いたプラズマエツチング装置を示す概略断
面図、第４図は本考案による濾過器の他の例を示
す概略断面図、第５図は従来の濾過器の概略断面
図、第６図は従来の濾過器をプラズマエツチング
装置用電極として用いたプラズマエツチング装置
を示す概略断面図である。 １，２１，３１…濾過器、２，２２，３２…流
出口、３，２３，３３…多孔質濾過材、４，２４
，３４…流入口、５，２５，３５…流体、１１，
４１…ケーシング、１２，４２…エツチング室、
１３，４３…上部電極（濾過器）、１３ａ，４３
ａ…流入口、１３ｂ，４３ｂ…流出口、１３ｃ，
４３ｃ…多孔質濾過材、１４，４４…下部電極、
１４ａ，４４ａ…水冷部分、１５，４５…反応性
ガス、１６，４６…基板、１７，４７…高周波電
源、１８，４８…排気口。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 上流中央に小径の流体流入口を有するとともに
    、下流に大径の流出口を具え、この流出口に多孔
    質濾過材を配設した濾過器であつて、前記多孔質
    濾過材を、中央部を厚肉とするとともに、端部に
    向けて順次薄肉とした凸レンズ形状としたことを
    特徴とする濾過器。
JP1988160945U 1988-12-12 1988-12-12 多孔質電極 Expired - Lifetime JPH069020Y2 (ja)

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JP1988160945U JPH069020Y2 (ja) 1988-12-12 1988-12-12 多孔質電極

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JPH0283017U true JPH0283017U (ja) 1990-06-27
JPH069020Y2 JPH069020Y2 (ja) 1994-03-09

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11149995A (ja) * 1997-11-14 1999-06-02 Foi:Kk プラズマ処理装置
JP2022061936A (ja) * 2020-10-07 2022-04-19 株式会社リコー フィルタ保持装置、現像装置、プロセスカートリッジ、及び、画像形成装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59162918U (ja) * 1983-04-18 1984-10-31 株式会社共立 エア−クリ−ナ

Patent Citations (1)

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JP2022061936A (ja) * 2020-10-07 2022-04-19 株式会社リコー フィルタ保持装置、現像装置、プロセスカートリッジ、及び、画像形成装置

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JPH069020Y2 (ja) 1994-03-09

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