JPH0283511A - テレセントリツクfθレンズ - Google Patents

テレセントリツクfθレンズ

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JPH0283511A
JPH0283511A JP63237141A JP23714188A JPH0283511A JP H0283511 A JPH0283511 A JP H0283511A JP 63237141 A JP63237141 A JP 63237141A JP 23714188 A JP23714188 A JP 23714188A JP H0283511 A JPH0283511 A JP H0283511A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、レーザープリンタ等の光ビーム走査装置に
用いられるテレセントリックな特性をもつfθレンズに
関するものである。
(従来の技術) 一般に、fθレンズは光ビーム走査装置に用いラレ、レ
ンズの焦点inをf、レンズへのビームの入射角をθ、
像面上でのビームスポットの光軸からの高さをyとする
とき、y=f・θという関係を満たすレンズ系である。
従って回転角速度が一定の回転多面鏡を偏向器として用
いる光ビーム走査装置では、像面上でのビームスポット
の移動速度が一定になる。
一方、テレセントリックな光学系は軸外のすべての主光
線が像面にほぼ垂直に入射するものであり、例えば像面
が円筒状のドラムで形成された光ビーム走査装置におい
ては、ドラムの回転軸取付は精度によっては、結像面が
光軸方向(回転軸と直交する方向)に偏位することにな
り、結果として、露光位置に位置ずれが生ずることにな
るが、テレセントリックな光学系を用いることによって
、記録サイズの寸法精度を比較的高精度に保つことがで
きる。
従って、特に高い寸法精度が要求される、例えば写真製
版用原板やプリント基板用原板の作成に使用されるレー
ザープリンタ等においては、テレセントリックfθレン
ズが用いられている。
この種のテレセントリックfθレンズとしては、従来よ
り例えば特開昭59−195211号公報に開示された
もの(以下前者という)、あるいは特開昭62−299
927号公報に開示されたもの(以下後者という)が知
られており、ちなみに、前者を第10図に示す。
それは、入射瞳側前方に配置した前方レンズ群FLと、
前方レンズ群FLから比較的大きな距離を隔てて像面側
後方に配置した後方レンズRLとから成り、前方レンズ
群FLが前方へ凹面を向けて配置された負のレンズL2
と、そのレンズL2の後側に順次配置された正のメニス
カスレンズLコ及びり、を備え、後方レンズRLが正の
平凸レンズL5で構成されている。
また、後者は前者と類似の基本的構成を備えながら、色
収差を改善するようにしたものである。
(発明が解決しようとする課題) 上記従来例ではいずれも前方レンズ群FLの負レンズL
2によるパワーが強過ぎるため、第11図に示すように
かなり大きい球面収差が正(+)側に生じ、非点収差が
負(−)側に生じることになる。
ところで、かかるレンズ構成では一般に非点収差が負側
に倒れるため、走査域全域にわたって良好な結像状態、
すなわち平坦な像面を得ようとすれば球面収差を負側に
倒す必要がある。
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、F
NO,が20以下で明かるく、かつ、諸収差を小さく抑
えたテレセントリックfθレンズの提供を課題とする。
(課題を解決するための手段) 本発明は上記課題を解決するものとして、以下のように
構成される。
即ち、第1図に示すように入射瞳側前方に配置した前方
レンズ群FLと、前方レンズ群FLから離間され、像面
側後方に配置した後方レンズRLとから成り、前方レン
ズ群FLが入射瞳EP側から順にいずれも入射側に凹面
を向けて配置されたそれぞれ正のパワーを有するメニス
カスの第1レンズL1と、負のパワーを有する第2レン
ズL2と、正のパワーを有するメニスカスの第3レンズ
L。
と、正のパワーを有するメニスカスの第4レンズとから
成り、後方レンズRLが入射側に平面を向けた正のパワ
ーを有する第5レンズL、とから成り、 0.65<r+/f <   0.25      −
(1)0.4 <d、/f< 1.16    ・・・
(2)1.61<f s/f <  3.5     
  ・・・(3)但し、 rlは第1レンズL1の前面の曲率半径d、は第4レン
ズL4の後面と第5レンズL、の前面との光軸上の空気
間隔 f、は第5レンズL、の焦点距離 fは全系の焦点距離 なる条件を満たすものである。
(作 用) 本発明に係るテレセントリックfθレンズは、上記のよ
うに第1レンズL1〜第4レンズL、が前方レンズ群F
Lを構成し、前方レンズ群FLは球面収差、コマ収差、
及び非点収差のほとんどを補正し、後方レンズRLであ
る第5レンズL、はテレセントリックな光学系を形成す
るためのものである。以下上記条件式(1)〜(3)の
意義について説明する。
条件式(1)は球面収差及び像面湾曲を補正するための
条件を示し、(1)式の上限を超える場合には球面収差
の補正が不足して、メリディオナル像面も負(−)側に
倒れ、画角端での非点収差が増大する。また、(1)式
の下限を超える場合には球面収差の補正が過多となり、
メリディオナル方向の高次非点収差が増大する。
条件式(2)及び(3)は、ともにテレセンドリンク性
の実現に関与する条件を示し、(2)式の下限を超える
とテレセンドリンク性の実現が困難になるだけでなく、
メリディオナル像面に高次の非点収差があられれる。ま
た、上限を超える場合には、球面収差が補正過多となり
、メリディオナル像面、サジタル像面ともに負(−)側
へ倒れる傾向があられれる。
(3)式の上限を超える場合にはメリディオナル像面、
サジタル像面ともに負側に倒れ、また、(3)式の下限
を超える場合にはメリディオナル像面に高次の非点収差
があられれ、いずれの場合にも良好な収差状態でのテレ
セントリック光学系の実現が困難となる。
つまり、負のパワーを有する第2レンズし2の前側に正
のパワーを有するメニスカスの第1レンズL、を付設配
置し、かつ上記条件式(1)〜(3)を満足することで
、球面収差が補正過剰になるのを防ぎ、もって、FIJ
O,が20以下で明かるく、かつ、諸収差を小さく抑え
たテレセントリックfθレンズを構成することが可能と
なる。
(実 施 例) 以下、本発明の実施例をレンズデータ表(表1〜表8)
とレンズ特性および諸収差を示すグラフ(第2図〜第9
図)とによって例示する。
なお、レンズデータ表中のNld+1njは第1図に示
すレンズ構成図中の各符号に対応する。
即ち、r、〜r1゜はそれぞれ、各レンズL1〜L。
の前面及び後面の曲率半径、d、は入射瞳EPと第1面
との光軸上の間隔、d1〜d、は各レンズの中心厚又は
光軸上でのレンズ間隔、n、〜n、は各レンズのd−線
による屈折率である。また、fは全系の焦点距離、FN
O,はレンズ系のFナンバー、λは本実施例で使用され
るレーザ光ビームの波長、γI〜γ、は各レンズのアツ
ベ数、f、は第5レンズし、の焦点距離である。
一方、レンズ特性を示すグラフ(第2図〜第9図)は各
実施例につき球面収差、非点収差、fθ特性を示す3種
のグラフを含む。なお非点収差を示すグラフにおいてS
はサジタル像面を、Mはメリディオナル像面を示す。ま
た、fθ特性は偏向角をθ、像面上の光軸からのビーム
スポット位置をyとしたとき、次式によって与えられる
等速度走査性を示す値である。
fθ特性=100X(y−fθ)/fθ (%)以下余
白 実施例1 本実施例のレンズデータを表1に、レンズ特性を第2図
に示す。
表1 f=100.OOFN、=2OA=632.8nm d
、=15.00r+         d+     
    nl         γ1−63.355 
2.10 1.7847225.7−39.601 8
.68 −21.347 1.00 1.5163364.12
78.868 7.72 −40.414 3.50 1,7847225.7−
35.688 0.90 −455.490 9.20 1,7847225.7
−40.843103.08 ■ 10.00 1.5163364.1−164.8
56 r1/f =−0,634da/f =1.031 f
5/f =3.20以下余白 X1倒1 本実施例のレンズデータを表2に、レンズ特性を第3図
に示す。
f=too、o。
g −25,000 −23,534 −18,738 −92,650 −58,459 −31,058 −103,512 −36,160 −134,791 r、/f =−0,25 表2 FN、=20   λ=632.8nm    d0=
15dr   ni   γt 2.00 1.7847225.7 15.55 1.00 1.7173629.5 1.75 5.50 1.7847225.7 0.25 9.00 1,7847225.7 78.72 11.50 1.5163364.1 da/ f =0.787  f s/ f =2.6
19ヌ1剥1 本実施例のレンズデータを表3に、 を第4図に示す。
レンズ特性 f=ioo、o。
「【 −49,574 −23,680 −17,325 245、713 −54,458 −49,970 −159,298 −38,543 −176,901 r、/f =−0,496 表 FNO=20 i 2.70 3.40 1.00 14、13 3.10 0.50 9.00 11B、00 9.50 λ=632.8nm j 1.78472 1.51633 1.78472 1.78472 1.51633 cl、=15.00 γj 25.7 64.1 25.7 25.7 64.1 d、/f=1.16  f、/f=3,438以下余白 以下余白 実施例4 本実施例のレンズデータを表4に、 を第5図に示す。
レンズ特性 表 F、J0=20 λ=632.8nasf = 100
.00 −40.018 −30,385 −20.391 −112.974 −35.100 −28,594 −102.502 −35.179 −83.148 r、/f ”−0,400 d; 2.00 11.33 1.00 2.46 4.20 3.70 9.50 40、00 14.50 d、/f =0.400 d、=15.00 1.71736 29.5 1.78472 25.7 1.71736 29.5 1.71736 29.5 1.51833 64.1 f s/f =1.616 実施例5 本実施例のレンズデータを表5に、 を第6図に示す。
レンズ特性 表 FN、=18,018 f=100.0゜ r; −42,984 −34,391 −21,164 −495,525 −38,567 −34,375 −221,116 −40,072 −119,132 r、/f =−0,430 λ=632.8nm d、=15.00 d。
1.900 12、103 1.000 5.807 3.600 0.200 8、800 71.294 11.600 1.78472 1.51633 1.78472 1.78472 1.51633 25.7 64.1 25.7 25.7 64.1 ds/f =0.713 f 5/f =2.315 以下余白 以下余白 実施例1 本実施例のレンズデータを表6に、 を第7図に示す。
レンズ特性 −37,850 −29,207 15,139 −101,234 −24,238 −21,767 −95,298 −24,567 −102,457 r、/f =−0,379 以下余白 表 f =100.00  FN0=20.00λ= 63
2.8r++* di      n。
1.000   1,78472 8、660 1.000   1.62004 2.070 2.500   1.78472 0.200 5.000   1,78472 105、425 10.000   1.51633 do=10.00 γj 25.7 36.3 25.7 25.7 64.1 da/f =1.054  f s/f =1.991
実施例7 本実施例のレンズデータを表7に、レンズ特性を第8図
に示す。
表7 f =100.00 FN 0=18,018λ=63
2.8nm d0=10.0Odi   n’   γ
1 1 −34.951 2,00 1.7847225.
72 −29.415 10.34 3 −16.813 1.00 4 −106.737 1.97 5 −28.750 3.00 6 −25.467 0.50 7 −94.188 7.00 8 −29.691 96.14 9   (X)  12.00 1.5163310 
−108.194 r+/f =−0,350 以下余白 64.1 25.7 64.1 1.78472 25.7 1.78472 1.51633 da/f ”0.981  f s/f =2.102
実施例8 本実施例のレンズデータを表7に、 を第8図に示す。
レンズ特性 表8 f ”100.00 F N o=18.018λ=4
88nm do=10.00ri   di   n+
  γ; 1 −39.861 2.00 1.7847225.
72 −33.433 11゜19 3 −17.846 1.00 4 −141.271 2.42 5 −29.362 3.00 6 −26.362 0.50 7 −119.853 7.00 8 −31.782 98.33 9   oo12.00 10 −112.015 r、/f =−0,399 以下余白 64.1 25.7 25.7 64.1 f s/f =2.147 1.78472 1.51633 1.78472 1.51633 ds/f =0.983 (発明の効果) 以上の説明で明らかなように、本発明では入射側に凹面
を向けた正のパワーを有するメニスカスの第1レンズを
負のパワーを有する第2レンズの前側に付設配置し、第
2レンズによって球面収差が補正過剰になるのを防ぐよ
うにしたので、諸収差を小さく抑え、かつFナンバーを
20以下に設定し得る明かるいテレセントリックfθレ
ンズを提供することができる。
これにより、レーザプリンタ等の大幅な精度向上を図る
ことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
$1図は本発明に係るテレセントリックfθレンズの配
置構成図、第2図〜第9図はそれぞれ実施例1〜実施例
8によるレンズ特性を示すグラフ、第10図は従来例に
よる第1図島相図、第11図はその従来例による球面収
差と非点収差を示すグラフである。 EP・・・入射瞳、    FL・・・前方レンズ群、
Ll・・・第1レンズ、L2・・・第2レンズ、L、・
・・第3レンズ、 L、・・・第4レンズ、 RL(L、)・・・後方レンズ(第5レンズ)。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、入射瞳側前方に配置した前方レンズ群F_Lと、前
    方レンズ群F_Lから離間され、像面側後方に配置した
    後方レンズR_Lとから成り、前方レンズ群F_Lが入
    射瞳EP側から順にいずれも入射側に凹面を向けて配置
    されたそれぞれ正のパワーを有するメニスカスの第1レ
    ンズL_1と、負のパワーを有する第2レンズL_2と
    、正のパワーを有するメニスカスの第3レンズL_3と
    、正のパワーを有するメニスカスの第4レンズL_4と
    から成り、後方レンズR_Lが入射側に平面を向けた正
    のパワーを有する第5レンズL_5とから成り、下記条
    件式(1)〜(3)を満足することを特徴とするテレセ
    ントリックfθレンズ −0.65<r_1/f<−0.25・・・(1)0.
    4<d_■/f<1.16・・・(2)1.61<f_
    5/f<3.5・・・(3)但し、 r_1は第1レンズL_1の前面の曲率半径d_■は第
    4レンズL_4の後面と第5レンズL_5の前面との光
    軸上の空気間隔 f_5は第5レンズL_5の焦点距離 fは全系の焦点距離
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