JPH028377B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH028377B2
JPH028377B2 JP10599280A JP10599280A JPH028377B2 JP H028377 B2 JPH028377 B2 JP H028377B2 JP 10599280 A JP10599280 A JP 10599280A JP 10599280 A JP10599280 A JP 10599280A JP H028377 B2 JPH028377 B2 JP H028377B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
displacement
optical system
measured
amount
light beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP10599280A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5733442A (en
Inventor
Ryoichi Imanaka
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP10599280A priority Critical patent/JPS5733442A/ja
Publication of JPS5733442A publication Critical patent/JPS5733442A/ja
Publication of JPH028377B2 publication Critical patent/JPH028377B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/095Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble
    • G11B7/0956Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following specially adapted for discs, e.g. for compensation of eccentricity or wobble to compensate for tilt, skew, warp or inclination of the disc, i.e. maintain the optical axis at right angles to the disc

Landscapes

  • Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレコード盤等の偏芯あるいは面振れな
どの変位を測定する装置に関する。
従来、ビデオデイスクのトラツク歪、偏芯、面
振れ等の測定は光学的顕微鏡を用いた非常に効率
の悪いものである。
そこで本発明は上記問題点を回避すべく成され
たものであつて、直接に測定することができない
物体の変位を精度よく、しかも容易に測定するこ
とができるものを提供するにある。
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
第1図はビデオデイスクのトラツク歪、偏芯を
測定する追従測定装置の構成を示し、(1)は被測定
物の光学方式ビデオデイスク、2はターンテーブ
ルで、モータ3によつて回転駆動される。4はレ
ーザー装置で、光ビームはハーフミラー5を経て
可動体としてのトラツキングミラー7でビデオデ
イスク1側に反射され、読み取りレンズ11によ
りビデオデイスク1上に読み取り用ビームスポツ
トが形成される。なお読み取り用ビームスポツト
によつて読み取られた信号は、読み取りレンズ1
1とトラツキングミラー7を介してハーフミラー
5で光デイテクタ6に向けて反射され、光デイテ
クタ6で電気信号に変換される。トラツキングミ
ラー7は前記読み取り用ビームスポツトが情報ト
ラツク走査方向と直交する方向に移動できるよう
軸8を中心として矢印12方向に回動可能に構成
されており、このトラツキングミラー7の回動は
ビデオデイスク1の情報トラツクを読み取り用ビ
ームスポツト1が追跡するよう公知の技術でトラ
ツキング制御される。例えば、前記公知の技術と
しては特公昭53―13123号を挙げることができる。
ここで前記トラツキングミラー7は、読み取り
用の光ビームと読み取り用ビームスポツトで読み
取られた信号を反射する面()の反対側の面
()も反射面に形成されており、この面()
にレーザー装置4とは別のレーザー装置10から
光ビームが入射され、光デイテクタ9によつてト
ラツキングミラー7の面()からの反射光を検
出する。
第2図は光デイテクタ9の構造と検出回路を示
す。21,22は受光面が三角形状の第1,第2
の光デイテクタ、第1の光デイクタ21と第2の
光デイテクタ22とは個々に独立して光ビームを
検出できるよう構成されている。なおトラツク歪
あるいは偏芯のない時、トラツキングミラー7か
らの光ビーム20は第2図のように第1と第2の
光デイテクタ21と22に跨がつて位置するよう
光デイテクタ9は配設され、トラツク歪等があつ
て、前記読み取り用ビームスポツト()を情報
トラツクに追従させるべくトラツキングミラー7
が回動すると、光デイテクタ9上の光ビーム20
は矢印25方向に沿つてトラツキングミラー7の
回動方向に対応して上方あるいは下方に移動す
る。よつて、第1,第2の光デイテクタ21と2
2の出力をそれぞれ差動アンプ23の非反転入力
(+)と反転入力(−)とに入力すれば、光ビー
ム20の矢印25方向への移動によつて、差動ア
ンプ23の出力24に光ビーム20位置の変位を
表わす電気信号が発生する。
第3図はビデオデイスク1の1つの情報トラツ
クの形状を模型的に示したもので、30は実際の
トラツク、31は偏芯、歪のない情報トラツク、
33はビデオデイスク1の回転方向である。読み
取りビームスポツト()はトラツキングミラー
7によつて実際のトラツク30を追従するよう移
動させられ、この時のトラツキングミラー7の変
位は第4図に示される。なおθはビデオデイスク
1の回転角を表わす。
このようなトラツキングミラー7の変位によつ
て、前述のように光デイテクタ9上の光ビーム2
0の位置も移動し、差動アンプ23出力には第4
図に示すトラツキングミラー7の変位に対応する
信号が発生するものである。
なお上記実施例ではビデオデイスク1のトラツ
ク歪,偏芯の測定を例に挙げて説明したが、同様
にデイスクの面振れについても適用できるもので
あつて、直接に測定できない物体の変位を容易に
測定できるものである。
第5図はビデオデイスクの面振れを検出する場
合の実施例を示し、51はビデオデイスクで、a
の位置、bの位置がその表面であり、面振れによ
つてa〜bに変位していることを表わしている。
52はレンズで、リニアモータ53によつて上下
方向〔矢印e方向〕に移動可能に支持されてお
り、その位置は外部からリニアモータ53に供給
される電圧に応じて変位する。54はレーザで、
そのビームはレンズ52を通り、aの位置で反射
された場合には経路cで照射位置検出機能を有す
る光デイテクタ55上に達し、bの位置で反射し
た時には経路dをとつて光デイテクタ55上に達
する。従つて光デイテクタ55上ではビデオデイ
スク51の表面の変位に伴つてビームの位置が変
化することになるので、検出装置56に光デイテ
クタ55出力を入力することによつて、ビーム位
置を直流レベルの変化として検出できる。検出さ
れた直流レベルは駆動アンプ57により増幅さ
れ、前記リニアモータ53に供給される。その結
果、ビデオデイスク51の変位(面振れ)にレン
ズ52が追従するクローズドループが形成され
る。このレンズ52は、クローズドループが形成
されているため、ビデオデイスク51の面振れに
追従して変位している。したがつてレンズ52の
変位量を別の手段(例えば市販のFOTONICセン
サなど)で測定することによつてビデオデイスク
51の面振れ量を測定できる。
このようにビデオデイスクの記録面に制御素子
を経由して光ビームを照射し、デイスクの偏芯,
面振れに光ビームに追従させるとその結果、制御
素子はデイスクの偏芯または面振れに応答して偏
移するようになる。
したがつて、制御素子の偏移量の別の手段で測
定することによつてデイスクの偏芯、または面振
れ量を測定できる。
一般に前述したクローズドループの利得をK1
とすれば、制御素子がビデオデイスクの偏芯ある
いは面振れに追従させた時の追従誤差は1/K1
程度となる。前記クローズドループの利得は通常
1000倍程度に設定することができるため、約1/
1000=0.1%の精度で制御素子が偏芯、あるいは
面振れに追従することになる。
したがつてもし、ビデオデイスクの反射率が50
%変化して前記利得が500倍になつたとしても、
0.2%の精度で制御素子が偏芯、あるいは面振れ
に追従するためこの制御素子の偏移を測定すれば
0.2%の精度で偏芯あるいは面振れ量を測定でき
る。
ところが、一般にビデオデイスクの偏芯、ある
いは面振れをビデオデイスクに光ビームを照射し
て直接測定した場合は、反射率の変化とともに測
定値が変化し、例えば反射率が50%変化すると測
定値も50%程度変化してしまう。(例えば昭和49
年11月20日コロナ社発行「制御工学概論」第144
ページ〜第145ページ参照) さらにビデオデイスクの面振れ量を測定する手
段としては、マイクロメータをビデオデイスクに
接触して測定することが従来行なわれたが、この
ような測定方法では、ビデオデイスクに傷をつけ
てしまい、好ましい方法ではなかつた。
以上説明のように本発明によると、被測定物に
光ビームを照射するための第1の光学系と、前記
第1の光学系を介して照射された光ビームの反射
光を受光することによつて前記被測定物の変位を
検出する第1の変位検出手段と、前記第1の変位
検出手段で検出した変位量に追従して前記第1の
光学系を移動させる移動手段と、前記第1の光学
系の移動量を検出する第2の変位検出手段とを備
え、前記第2の変位検出手段は前記第1の光学系
とは独立した第2の光学系からなると共に、前記
第1の変位検出手段で検出した変位量を一定に制
御した上で、前記第1の光学系の移動量を検出す
ることにより前記被測定物の変位を間接的に測定
するため、直接に測定することが困難であつた
り、光学顕微鏡等でしか測定できなかつた円盤状
記録媒体のトラツク歪、偏芯をサーボループによ
り追従制御される変位量をサーボループとは別の
変位検出装置で測定するため、変位検出装置だけ
で測定精度を変更することができ、測定の自由度
が高いものである。さらに、本発明では被測定物
の変位量を検出するために、第2の光学系を独立
して設けたため、第1の光学系を駆動する駆動装
置の影響を受けることなく、離れた場所で高精度
に被測定物の変位量を正確に測定することがで
き、その結果、被測定物の変位も高精度に測定で
きるものである。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示し、第1図は追従測
定装置の構成図、第2図は第1図の要部構成図、
第3図はビデオデイスクトラツクの説明図、第4
図はトラツキングミラーの変位説明図、第5図は
本発明の他の実施例を示す構成図である。 1……ビデオデイスク、4,10……レーザー
装置、8……トラツキングミラー、6,9……光
デイテクタ、21,22……光デイテクタ、23
……差動アンプ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 被測定物に光ビームを照射するために第1の
    光学系と、前記第1の光学系を介して照射された
    光ビームの反射光を受光することによつて前記被
    測定物の変位を検出する第1の変位検出手段と、
    前記第1の変位検出手段で検出した変位量に追従
    して前記第1の光学系を移動させる移動手段と、
    前記第1の光学系の移動量を検出する第2の変位
    検出手段とを備え、前記第2の変位検出手段は前
    記第1の光学系とは独立した第2の光学系からな
    ると共に、前記第1の変位検出手段で検出した変
    位量を一定に制御した上で、前記第1の光学系の
    移動量を検出することにより前記被測定物の変位
    を間接的に測定することを特徴とする円盤状記録
    媒体の追従測定装置。
JP10599280A 1980-07-31 1980-07-31 Following measuring device Granted JPS5733442A (en)

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JPS5733442A JPS5733442A (en) 1982-02-23
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