JPH0284249U - - Google Patents

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JPH0284249U
JPH0284249U JP16416188U JP16416188U JPH0284249U JP H0284249 U JPH0284249 U JP H0284249U JP 16416188 U JP16416188 U JP 16416188U JP 16416188 U JP16416188 U JP 16416188U JP H0284249 U JPH0284249 U JP H0284249U
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JP
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ion source
source chamber
coil
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microwave oscillator
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JP16416188U
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案のイオン源の概略断面図。第２
図は第１図中の―断面図。第３図はスタブを
出入れした時の基本モードＴＥ１１の軸直角面に
おける電気力線の変化を示す図。ａはもとのＴＥ
１１モード、ｂは９０°の方向にスタブを入れた
もの、ｃは４５°の方向にスタブを入れたもの。
ｄは０°の方向にスタブを入れたもの。第４図は
従来のイオン源チヤンバの略断面図。 １…イオン源チヤンバ、２…コイル、３…引出
電極、４…誘電体、５…導波管、６…整合器（ス
リースタブチユーナー）、７…方向性結合器、８
…アイソレータ、９…マイクロ波発振器、１０…
テーパー導波管、１１…スタブ機構、１２…ガス
導入系。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空に引く事ができ導入されたガスをプラズマ
    にする空間を与えるイオン源チヤンバ１と、イオ
    ン源チヤンバ１に軸方向の磁場を生ずるためのコ
    イル２と、イオン源チヤンバ１からイオンビーム
    を引出すため、イオン源チヤンバ１の出口側に設
    けられた引出電極３と、前記磁場による電子のサ
    イクロトロン周波数にほぼ等しい周波数のマイク
    ロ波を生ずるマイクロ波発振器９と、マイクロ波
    発振器９で生じたマイクロ波をイオン源チヤンバ
    １の中へ広い誘電体４の窓を通して導入するため
    の拡径するテーパー導波管１０と、テーパー導波
    管１０の途中に進退自在に設けられた導体の棒で
    ある複数のスタブからなるスタブ機構１１とより
    なる事を特徴とするイオン源。
JP16416188U 1988-12-19 1988-12-19 Pending JPH0284249U (ja)

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JPH0284249U true JPH0284249U (ja) 1990-06-29

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