JPH0284324U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0284324U JPH0284324U JP16487988U JP16487988U JPH0284324U JP H0284324 U JPH0284324 U JP H0284324U JP 16487988 U JP16487988 U JP 16487988U JP 16487988 U JP16487988 U JP 16487988U JP H0284324 U JPH0284324 U JP H0284324U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hangers
- carriers
- tank
- space
- etched
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例１を示す断面図、第２
図は本考案の実施例２を示す断面図、第３図は従
来の処理槽を示す断面図、第４図はハンガーがキ
ヤリアを離した状態を示す図、第５図はチヤツク
した状態を示す図である。 １…薬液、２，３…処理槽、ａ…ハンガー全開
状態寸法、ｂ…キヤリアが入るための最小寸法、
ｃ…キヤリアをチヤツクしたときの最小寸法。
図は本考案の実施例２を示す断面図、第３図は従
来の処理槽を示す断面図、第４図はハンガーがキ
ヤリアを離した状態を示す図、第５図はチヤツク
した状態を示す図である。 １…薬液、２，３…処理槽、ａ…ハンガー全開
状態寸法、ｂ…キヤリアが入るための最小寸法、
ｃ…キヤリアをチヤツクしたときの最小寸法。
Claims (1)
- 半導体基板をキヤリアごとハンガーに挾持して
投入、洗浄、エツチングする処理槽において、槽
内の上段に、少なくとも前記ハンガーの開閉に必
要な空間を確保し、下段の空間を前記キヤリアの
収納に必要な最小限の寸法としたことを特徴とす
る処理槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16487988U JPH0284324U (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16487988U JPH0284324U (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0284324U true JPH0284324U (ja) | 1990-06-29 |
Family
ID=31450863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16487988U Pending JPH0284324U (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0284324U (ja) |
-
1988
- 1988-12-20 JP JP16487988U patent/JPH0284324U/ja active Pending
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