JPH0284325U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図である。 １１…容器、１２…エツチング液、１３…エツ
チング台、１４…ウエハー、１５…撹拌子、１６
…回転軸、１７…マグネツト、２０…隔壁、２０
１…気体出口、２１…第１室、３０…蓋、３１…
第２室、３２…環流搭、３３…冷却水出口、３４
…冷却水入口、３５…冷却水、３６…冷却チユー
ブ、３７…電磁石、４０…ヒータ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 揮発性エツチング液の収納される容器と、該容
   器に配置されウエハーが置かれるエツチング台と
   、該エツチング台の上方に配置された撹拌子と、
   該撹拌子の外周に取付けられたマグネツトと、前
   記撹拌子に一端が取付けられた回転軸と、前記容
   器と第１室を構成し該回転軸の他端を軸支する隔
   壁と、該隔壁に設けられた気体出口と、前記隔壁
   と第２室を構成する蓋と、該蓋に一端が取付けら
   れた環流搭と、該環流搭の他端に取付けられた冷
   却水出口と、前記蓋の環流搭の取付け位置の反対
   側に取付けられた冷却水入口と、前記第２室に満
   たされた冷却水と、前記気体出口に一端が取付け
   られ前記環流搭を貫通し他端が大気開放される冷
   却チユーブと、前記容器の外周面に前記マグネツ
   トに対向して取付けられた複数対の電磁石とを具
   備してなるエツチング装置。