JPH0286877A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

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Publication number
JPH0286877A
JPH0286877A JP28057888A JP28057888A JPH0286877A JP H0286877 A JPH0286877 A JP H0286877A JP 28057888 A JP28057888 A JP 28057888A JP 28057888 A JP28057888 A JP 28057888A JP H0286877 A JPH0286877 A JP H0286877A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solvent
heat exchanger
cleaning
refrigerant
bathtubs
Prior art date
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Pending
Application number
JP28057888A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuru Hoshino
充 星野
Atsusuke Sakaida
敦資 坂井田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
NipponDenso Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NipponDenso Co Ltd filed Critical NipponDenso Co Ltd
Priority to JP28057888A priority Critical patent/JPH0286877A/ja
Publication of JPH0286877A publication Critical patent/JPH0286877A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は洗浄装置に関し、特に油脂、フラックス等が付
着したIC部品や電子部品を洗浄する洗浄装置の構造改
良に関する。
[従来の技術] かかる洗浄装置はフロン、トリクロルエチレン等の有機
洗浄溶剤により上記IC部品等の被洗浄物を洗浄するも
ので、その−例を第5図に示す。
図において、装置容器1は底壁11と側壁12.13に
所定厚の断熱材を内設した密閉体であり、一方の側壁1
3の上端部に搬入口14が設けである。上記容器1内に
は底壁11上に洗浄溶剤を満たした浴槽2A、2B、2
Cが比較的薄い断熱層を介して隣接して設けである。
本例では、浴槽2A〜2Cはそれぞれ温浴槽、冷浴槽、
ベーパ槽となっており、浴槽2A、2Cには底壁11よ
りU字形のヒータ3A、3Bが突出せしめである。また
、浴槽2Bには底面に超音波振動子6が設けられるとと
もに、側面内周には冷却水を流通せしめる蛇管71が配
設しである。
また、これら各浴槽2A、2Bの上方の容器1内壁に蛇
管72が設けてあり、該蛇管72により上記各浴槽2A
〜2Cより蒸発した溶剤蒸気を凝縮回収している。
上記容器1内にはコンベヤ8が配設してあり、これは各
浴槽2A、2Bの洗浄溶剤中と浴槽2Cの洗浄溶剤上を
通過し、搬入口14を経て容器1外に延出している。上
記コンベア8に設けた治具に被洗浄物を収納したマガジ
ン81を装着し、図中矢印の如く順次上記各浴槽2A〜
2Cに搬送して洗浄する。
すなわち、温浴槽2Aでは被洗浄物に付着している油脂
等を膨脹させてその一部を洗浄液中に溶解させ、冷浴槽
2Bでは超音波により上記油脂等を剥離せしめるととも
に被洗浄物を冷却し、次いでベーパ槽2Cでは溶剤蒸気
を被洗浄物の表面で凝縮せしめて、すすぎ洗いを行なう
なお、上記各蛇管71.72は装置容器外の冷却水供給
器5へ配管接続されて冷却水の供給を受ける(図中矢印
)。
[発明が解決しようとする課題] 上記従来の洗浄装置において、特に加熱された温浴槽と
ベーパ槽からは多量の溶剤蒸気が発生せしめられる。こ
れら溶剤蒸気の大部分は、上述の如く、冷却用蛇管によ
り回収されるが、一部は搬入口等から容器外へ消散する
。操業中の溶剤の消散はある程度不可避であるものの、
操業停止後も浴槽内の洗浄液の温度低下は断熱材の効果
で緩やかであり、発明者等の試算では一日8時間操業し
、残る時間を停止して、−カ月稼働せしめた場合の溶剤
消散量は1001以上にも達する。
そこで、溶剤回収装置を新たに増設する等の対策が採ら
れているが、これは設備費が大幅に上昇するという問題
がある。
本発明はかかる問題点を解決するもので、比較的低コス
トで溶剤消散量を極めて少なくできる洗浄装置を提供す
ることを目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明の構成を第1図で説明すると、断熱壁12.13
で構成した装置容器1内に洗浄溶剤を満たした複数の浴
槽2A、2B、2Cを設けて、上記装置容器1内に搬入
した被洗浄物を洗浄するようになし、かつ上記浴槽2A
〜2Cの少なくとも一つに洗浄溶剤を加熱するヒータ3
A、3Bを付設してなる洗浄装置には、上記断熱壁12
.13の、上記ヒータ3A、3Bを設けた浴槽2A、2
Cに接する壁面内に熱交換器4を設けるとともに、上記
ヒータ3A、3B停止時に上記熱交換器4に冷媒を供給
する冷媒供給器5を設けである。
[作用] 上記構成の洗浄装置において、操業を止めてヒータを停
止すると、熱交換器に冷媒が供給され、熱交換器はこれ
に接する浴槽を急速に冷却して溶剤蒸気の発生を防止す
る。これにより、−溶剤の消散量は小さく抑えられる。
[実施例] 本発明の一実施例を従来例との相違点を中心に説明する
第1図において、断熱材を内設した底壁11および側壁
12.13を有する密閉の装置容器1内には、底壁11
上に浴槽2A、2B、2Cが設けられ、このうち浴槽2
A、2B内にはヒータ3A、3Bが突設されて洗浄溶剤
を加熱している。
上記側壁12.13の段付に小径となった下半部には、
上記各浴槽2A、2Cの側面に接する壁面内に熱交換器
4が設けである。上記熱交換器4は壁内に一定厚さで上
下方向に延設され、図略の前後の側壁内にも設けられて
互いに連通し、そのハウジング内には交互にフィン41
を突設しである。
上記熱交換器4には装置容器1外の冷却水供給器5より
自動弁51を介して冷却水が供給されており、該自動弁
51は上記各ヒータ3A、3Bへの通電が停止すると電
気信号により開放作動せしめられる。
他の構造は従来と同一である。
かかる洗浄装置において、操業を停止し、ヒータ3A、
3Bへの通電を止めると、熱交換器4に冷却水が供給さ
れて浴槽2A、2Cの急速冷却がなされる。これを第2
図の線Xで示し、線yは熱交換器4を設けない従来例を
示す。
図より知られる如く、熱交換器の冷却作用により溶剤温
度は急速に沸点(47,57℃)近くから常温(20℃
)まで低下している。溶剤温度とその蒸気圧は第3図に
示す如く比例関係にあるから、溶剤温度が高い程その消
散量も大きい。しかして、第2図の斜線で示す部分は熱
交換器を設けた装置の溶剤消散量の節約分となり、発明
者等の実験では、溶剤をフロンとした場合、熱交換器を
設けることにより上記消散量は一操業当り約5gから約
2gへと60%程度も減少する。
なお、熱交換器4の構造は上記のものに限られず、例え
ば第4図に示す如く、蛇管42を積層配設したものでも
良い。
冷媒は上記冷却水に限られず、油あるいは空気等を使用
できる。また、自動弁に代えて手動弁としても良い。
洗浄液の有機溶剤はフロン以外にトリクロルエチレン、
トリクロルエタン等が使用できる。
さらに、上記熱交換器4に、操業開始前に温水等の熱線
体を通すようになせば、洗浄溶剤のヒータ加熱が効率的
になされて装置の立上がり時間が短縮されるとともに、
これに伴い洗浄溶剤の消散も低く抑えることができる。
[発明の効果] 以上の如く、本発明の洗浄装置は、浴槽に接する装置容
器の壁面内に冷媒を通す熱交換器を設置する簡単かつ安
価な構造により、洗浄溶剤の消散量を大幅に低減して洗
浄コストの低減を実現したものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す洗浄装置の概略断面図
、第2図は溶剤冷却効果を従来と比較する図、第3図は
溶剤温度とその蒸気圧の関係を示す図、第4図は熱交換
器の他の例を示す洗浄装置の概略断面図、第5図は従来
例を示す洗浄装置の概略断面図である。 1・・・装置容器 12.13・・・側壁(断熱壁) 2A、2B、2C・・・浴槽 3A、3B・・・ヒータ 4・・・熱交換器 41・・・フィン 42・・・蛇管 5・・・冷却水供給器(冷媒供給器) 51・・・自動弁 6・・・超音波振動子 8・・・コンベヤ 第1図 第2図 出 刑 温 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  断熱壁で構成した装置容器内に洗浄溶剤を満たした複
    数の浴槽を設けて、上記装置容器内に搬入した被洗浄物
    を洗浄するようになし、かつ上記浴槽の少なくとも一つ
    に洗浄溶剤を加熱するヒータを付設してなる洗浄装置に
    おいて、上記断熱壁の、上記ヒータを設けた浴槽に接す
    る壁面内に熱交換器を設けるとともに、上記ヒータ停止
    時に上記熱交換器に冷媒を供給する冷媒供給器を設けた
    ことを特徴とする洗浄装置。
JP28057888A 1988-06-27 1988-11-07 洗浄装置 Pending JPH0286877A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28057888A JPH0286877A (ja) 1988-06-27 1988-11-07 洗浄装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63-158933 1988-06-27
JP15893388 1988-06-27
JP28057888A JPH0286877A (ja) 1988-06-27 1988-11-07 洗浄装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0286877A true JPH0286877A (ja) 1990-03-27

Family

ID=26485898

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28057888A Pending JPH0286877A (ja) 1988-06-27 1988-11-07 洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0286877A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0621785U (ja) * 1992-08-27 1994-03-22 東芝ホームテクノ株式会社 超音波洗浄機
JP2015141923A (ja) * 2014-01-27 2015-08-03 信越半導体株式会社 半導体ウェーハの洗浄槽及び貼り合わせウェーハの製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0621785U (ja) * 1992-08-27 1994-03-22 東芝ホームテクノ株式会社 超音波洗浄機
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