JPH028731Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、平板状のワークを縦横に細かく切
断するダイシングマシンのワーク保持装置に関す
る。

従来の技術 従来、平板状のワークをテーブルに固定し、ス
ピンドルに連結されて回転するブレードをワーク
に接触させ、テーブルとブレードとを相対的に移
動させることにより、ワークを切断するようにし
たダイシングマシンが存する。また、ワークを保
持するために、テーブル１mm以下の多数の小孔を
数mmの間隔をもつて配列し、これらの小孔を負圧
発生部に接続し、テーブル上のワークを負圧によ
り吸引するようにしたワーク保持装置が使用され
ている。

考案が解決しようとする問題点 しかし、ワークを切断して形成されるチツプが
小さくなる程チツプに対して小孔の間隔が相対的
に大きくなり、チツプの面を均一に小孔に対面さ
せることができず、チツプの端部にしか小孔が対
面しないこともある。これにより、チツプをテー
ブルに吸引する力が不足し、チツプが切削抵抗に
より飛散し易くなる。

このため、切断前のワークの裏面にシート、セ
ラミツク、ガラス等の台座部材を接着し、この台
座部材を負圧によりテーブルに吸引している。し
たがつて、台座部材は全面でテーブル上の小孔を
閉塞するためテーブルに密着状態で保持され、切
断されたチツプは細かくても台座部材に接着状態
で保持されて飛散することがない。しかし、ワー
クに台座部材を接着する手間と装置とを必要と
し、切断作業後においても台座部材からワークを
剥離する手間と装置とを必要とし、加工費用が高
くなる。

問題点を解決するための手段 この考案は、モータに連結された回転自在のス
ピンドルと、このスピンドルに保持されたブレー
ドと、このブレードの下側に位置するとともに多
孔質物質により形成されて前記スピンドルの軸方
向と直交する方向に移動するテーブルと、このテ
ーブルに負圧を送る負圧発生部と、固定的に設け
られた支持体に保持されるとともに前記ブレード
の下部側方に配置されてワークを前記テーブルに
圧接する押圧体とよりなることを特徴とする。

作 用 したがつて、テーブルが多孔質部材で形成され
ているため、ワークは多数のチツプに切断されて
もその全面で多孔質部材の通孔を閉塞する。これ
により、チツプは負圧発生部の負圧によりテーブ
ルに強い吸引力で吸引され、さらに、チツプは押
圧体によりテーブルに圧接されているためテーブ
ルから飛散することがない。これにより、ワーク
にシート、セラミツク、ガラス等の台座部材を接
着する作業が省略される。

実施例 この考案の一実施例を図面に基づいて説明す
る。１はモータ（図示せず）に連結されたスピン
ドルで、このスピンドル１にはブレード２が固定
的に取付けられている。３は鋳物等の多孔質物質
により形成されたテーブルで、このテーブル３に
は互いに連続する多数の通孔４が形成されてい
る。これらの通孔４の断面積は、気体を流通させ
る程度の大きさであれば良い。また、テーブル３
は上面開口のケース５に密閉状態で嵌合され、こ
のケース５には通孔４を負圧発生部６に接続する
接続部７が形成されている。さらに、テーブル３
の上面には通気性を有する敷板８が敷設されてい
る。

さらに、ブレート２の上部及び両側を覆うブレ
ードカバー９にはブレード２の下部両側に位置す
る複数のコの字形の支持体１０が固定され、これ
らの支持体１０の下面には押圧体である複数のロ
ーラ１１がブレード２の回転軸心と平行な軸心を
もつて回転自在に保持されている。これらのロー
ラ１１は、例えば弾性を有する材料で形成する等
の手段により、敷板８上のワーク１２を弾発的に
押圧するように構成されているものである。

なお、スピンドル１とブレードカバー９と支持
体１０とは上下方向（Ｚ方向）及び前後方向（Ｙ
方向）に移動自在であり、テーブル３は左右方向
（Ｘ方向）及び旋回方向（Ｂ方向）に移動自在で
ある。

次いで、テーブル３の敷板８の上に保持された
ワーク１２の表面を観察する顕微鏡１３と、この
顕微鏡１３を上下方向及び前後方向に移動させる
顕微鏡駆動部１４とが設けられている。

このような構成において、負圧発生部６を駆動
するとテーブル３の上方から敷板８を通して外気
が吸引され、したがつて、敷板８の上にワーク１
２を載置すると通孔４がワーク１２により閉塞さ
れ、ワーク１２が負圧によりテーブル３に吸引さ
れる。そして、スピンドル１を下降させテーブル
３を左右方向に往復動させてブレード２をワーク
１２に接触させることにより、ワーク１２が切断
される。このような動作をスピンドル１を前後方
向に移動させる度に行うことにより、ワーク１２
に複数本の切削溝が平行に形成される。次に、テ
ーブル３を90度旋回し、前述した動作を繰り返し
てワーク１２を切断すると、ワーク１２は縦横に
切断され、多数の細かいチツプに細断される。

この時、テーブル３の通孔４が均一に分布され
ているため、チツプは全面で通孔４を閉塞する。
したがつて、チツプは強い吸引力によりテーブル
３上の敷板８に吸引される。さらに、ローラ１１
はテーブル３の移動にともない転動しながらブレ
ード２の両側においてワーク１２をテーブル３に
押える。したがつて、チツプは強い切削抵抗を受
けても飛散することがない。

また、ワーク１２を台座部材に接着することな
く直接テーブル３に載置することができるため、
切断作業前の段取時間を大幅に短縮することがで
き、さらに、負圧発生部６を停止することにより
細断された多数のチツプを敷板８とともに一度に
テーブル３から容易に取り外すことができる。

さらに、テーブル３のＸ方向の動作時にローラ
１１はワーク１２上を転動するが、ローラ１１は
テーブル３の往復動作の円滑性を損なう程の抵抗
をワーク１２に与えることはない。

なお、押圧体はローラ１１に限られるものでは
なく、弾性材或いは板ばねやそり状の板材を用い
ても良い。また、ブレードカバー９を支持体と
し、この支持体にこれらの押圧体を直接取付けて
も良い。

また、テーブル３を形成する多孔物質とは鋳物
に限られるものではない。例えば、多数の通孔が
不規則的に配列された硬質の海綿状のものでも良
い。その他、薄い板を細かく格子状に或いはハニ
カム状に組んだもので通孔が一定方向に規則的に
配列された多孔質物質によりテーブル３を形成し
ても良い。

考案の効果 この考案は上述のように構成したので、多孔質
物質により形成されたテーブルの通孔を負圧状態
に維持することができ、これにより、ワークを細
かい多数のチツプに切断してもチツプの全面で通
孔を閉塞することができ、これにより、負圧発生
部の負圧によりテツプを強い力でテーブルに吸引
することができ、さらに、押圧体によりチツプを
テーブルに圧接することができ、したがつて、テ
ーブルからのチツプの飛散を確実に防止すること
ができ、これにともない、ワークにシート、セラ
ミツク、ガラス等の台座部材を接着する作業を省
略して加工工数を低減しコストダウンを図ること
ができる等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示すもので、第１
図は拡大した縦断正面図、第２図は拡大した縦断
側面図、第３図は正面図、第４図は平面図であ
る。 １……スピンドル、２……ブレード、３……テ
ーブル、４……通孔、６……負圧発生部、７……
接続部、９……ブレードカバー（支持体）、１０
……支持体、１１……ローラ（押圧体）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. モータに連結された回転自在のスピンドルと、
   このスピンドルに保持されたブレードと、このブ
   レードの下側に位置するとともに多孔質物質によ
   り形成されて前記スピンドルの軸方向と直交する
   方向に移動するテーブルと、このテーブルに負圧
   を送る負圧発生部と、固定的に設けられた支持体
   に保持されるとともに前記ブレードの下部側方に
   配置されてワークを前記テーブルに圧接する押圧
   体とよりなることを特徴とするダイシングマシン
   のワーク保持装置。