JPH0287433A - 微圧スイッチ - Google Patents
微圧スイッチInfo
- Publication number
- JPH0287433A JPH0287433A JP23655688A JP23655688A JPH0287433A JP H0287433 A JPH0287433 A JP H0287433A JP 23655688 A JP23655688 A JP 23655688A JP 23655688 A JP23655688 A JP 23655688A JP H0287433 A JPH0287433 A JP H0287433A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure
- displacement
- pressure switch
- contact
- Prior art date
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- Pending
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- Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、流体の圧力変化を検知することにより、流体
の漏れ等を検知するための、高感度を必要とする微圧ス
イッチに関するものである。
の漏れ等を検知するための、高感度を必要とする微圧ス
イッチに関するものである。
ダイヤプラムを用いた微圧スイッチとして、第３図に示
す実開昭６３−１０１４３５号公報記載のものが知られ
ている。同図において、受圧面板ａには複数の圧力導入
孔すが穿設され、ダイヤフラムＣに流体の圧力が加わる
ようになっている。
す実開昭６３−１０１４３５号公報記載のものが知られ
ている。同図において、受圧面板ａには複数の圧力導入
孔すが穿設され、ダイヤフラムＣに流体の圧力が加わる
ようになっている。
ダイヤフラムＣは流体の圧力によって変形するが、作動
軸ｄの一方の端部がこの変形面に圧接しており、変形面
に追従して移動する。作動軸ｄは他端で弾性片ｅを変位
させ、固定接点ｆと弾性片ｅに設けられた可動接点ｇと
を接離して、スイッチ動作をする。
軸ｄの一方の端部がこの変形面に圧接しており、変形面
に追従して移動する。作動軸ｄは他端で弾性片ｅを変位
させ、固定接点ｆと弾性片ｅに設けられた可動接点ｇと
を接離して、スイッチ動作をする。
ところで、この種の微圧スイッチでは、例えば０．００
３ ｋｇ／ｃ＋７の圧力変動を検知する必要があり、こ
の際における作動軸ｄの動作範囲が２／１００鶴程度の
高感度が要求されるのに対し、第３図の構成では変位量
が少なく、感度の正確性についての要求を満たし得ない
ものであった。
３ ｋｇ／ｃ＋７の圧力変動を検知する必要があり、こ
の際における作動軸ｄの動作範囲が２／１００鶴程度の
高感度が要求されるのに対し、第３図の構成では変位量
が少なく、感度の正確性についての要求を満たし得ない
ものであった。
本発明は、上記の事実に鑑みてなされたものであり、複
合ダイヤフラムを使用することにより、高感度で作動の
安定性にも優れた微圧スイッチを提供することを目的と
している。
合ダイヤフラムを使用することにより、高感度で作動の
安定性にも優れた微圧スイッチを提供することを目的と
している。
上記の目的を達成するために本発明は、流体の圧力変化
に対応して変形するダイヤフラムと、該ダイヤフラムに
圧接してその変位に追従する作動軸と、該作動軸の移動
によって接離する接点とを有する微圧スイッチにおいて
、 二枚のダイヤフラムを空間を介在させて対置し、外縁部
を接続して圧力室を形成し、一方のダイヤフラムに上記
圧力室に連通ずる圧力導入孔を穿設し、該圧力導入孔を
有するダイヤフラムの中央部を固定し、他方のダイヤフ
ラムの中央部と上記作動軸とを圧接させた構成としてい
る。
に対応して変形するダイヤフラムと、該ダイヤフラムに
圧接してその変位に追従する作動軸と、該作動軸の移動
によって接離する接点とを有する微圧スイッチにおいて
、 二枚のダイヤフラムを空間を介在させて対置し、外縁部
を接続して圧力室を形成し、一方のダイヤフラムに上記
圧力室に連通ずる圧力導入孔を穿設し、該圧力導入孔を
有するダイヤフラムの中央部を固定し、他方のダイヤフ
ラムの中央部と上記作動軸とを圧接させた構成としてい
る。
第１図は、本発明に係る微圧スイッチを示し、第２図は
、複合ダイヤフラムの詳細を示している。
、複合ダイヤフラムの詳細を示している。
筒状の本体ケース１には、その一端側から本体ケース１
内に嵌入する凸部を有する受圧面板２が係合され溶接さ
れている。受圧面板２には中心部に圧力導入孔２ａが形
成され、該圧力導入孔２ａの周囲において複合ダイヤフ
ラム３が内部に設けられたワッシャー４によって正確に
位置決めして、気密状態で溶接固定されている。複合ダ
イヤフラム３は、２／Ｌｏｏｆｌ〜４／１００富ｌの薄
いステンレス材より形成され、外側のダイヤフラム３ａ
と内側のダイヤフラム３ｂを空間を介して対置し、それ
ぞれの起立周壁３ｃ 、３ｄによって外縁部を接続し、
受圧室Ｒを形成している。起立周壁３ｃ。
内に嵌入する凸部を有する受圧面板２が係合され溶接さ
れている。受圧面板２には中心部に圧力導入孔２ａが形
成され、該圧力導入孔２ａの周囲において複合ダイヤフ
ラム３が内部に設けられたワッシャー４によって正確に
位置決めして、気密状態で溶接固定されている。複合ダ
イヤフラム３は、２／Ｌｏｏｆｌ〜４／１００富ｌの薄
いステンレス材より形成され、外側のダイヤフラム３ａ
と内側のダイヤフラム３ｂを空間を介して対置し、それ
ぞれの起立周壁３ｃ 、３ｄによって外縁部を接続し、
受圧室Ｒを形成している。起立周壁３ｃ。
３ｄは端部を外方に屈曲させて環状補強フランジ３ｅを
形成し、複合ダイヤフラム３の変形を防止し、形状保持
に役立っている。外側ダイヤフラム３ａの中心部には、
前記圧力導入孔２ａに連通ずる圧力導入孔３ｆが穿設さ
れ、受圧室Ｒに連通し、上述したようにワッシャー４で
補強された状態で受圧面板２に固定されている。
形成し、複合ダイヤフラム３の変形を防止し、形状保持
に役立っている。外側ダイヤフラム３ａの中心部には、
前記圧力導入孔２ａに連通ずる圧力導入孔３ｆが穿設さ
れ、受圧室Ｒに連通し、上述したようにワッシャー４で
補強された状態で受圧面板２に固定されている。
５は合成樹脂等の電気絶縁材よりなるスイッチボックス
であり、雄ねじ５ａを介して本体ケース１の雌ねじ１ｂ
に螺合され、雌ねじｌｂの終端に形成されたストッパー
１ａに当接して位置決めされ固定されている。スイッチ
ボックス５の内端には複合ダイヤフラム３に対するスト
ッパー板６が、スイッチボックス５の段部５ｂを介して
固定され、該ストッパー板６の中心部の支持孔６ａにお
いて内側ダイヤフラム３ｂの中央のフラット部３ｇに後
端の突起７ｂによって点接触する作動軸７が摺動自在に
支持される。
であり、雄ねじ５ａを介して本体ケース１の雌ねじ１ｂ
に螺合され、雌ねじｌｂの終端に形成されたストッパー
１ａに当接して位置決めされ固定されている。スイッチ
ボックス５の内端には複合ダイヤフラム３に対するスト
ッパー板６が、スイッチボックス５の段部５ｂを介して
固定され、該ストッパー板６の中心部の支持孔６ａにお
いて内側ダイヤフラム３ｂの中央のフラット部３ｇに後
端の突起７ｂによって点接触する作動軸７が摺動自在に
支持される。
スイッチボックス５の内部には、可動接点板８と固定接
点板９よりなるマイクロスイッチＳが設けられ、該可動
接点板８と急速反転ばね１０を介して連結される弾性駆
動板１１に対して作動軸７の尖端７ａが点接触している
。８ａは可動接点、９ａは固定接点、１２は固定接点板
９を駆動して接点８ａ 、９ｄ間を調整するディファレ
ンシャル８周整ねしである。
点板９よりなるマイクロスイッチＳが設けられ、該可動
接点板８と急速反転ばね１０を介して連結される弾性駆
動板１１に対して作動軸７の尖端７ａが点接触している
。８ａは可動接点、９ａは固定接点、１２は固定接点板
９を駆動して接点８ａ 、９ｄ間を調整するディファレ
ンシャル８周整ねしである。
上記構成において、組立時においては予め複合ダイヤフ
ラム３が取付けられている本体ケース１ニ対し、マイク
ロスイッチＳと作動軸７を組み込んだスイッチボックス
５を螺合し本体ケース１のストッパー１３に当接させて
接着固定する。
ラム３が取付けられている本体ケース１ニ対し、マイク
ロスイッチＳと作動軸７を組み込んだスイッチボックス
５を螺合し本体ケース１のストッパー１３に当接させて
接着固定する。
本発明の作用について説明する。複合ダイヤフラム４の
圧力導入孔３ｆから圧力流体が受圧室Ｒ内に進入する。
圧力導入孔３ｆから圧力流体が受圧室Ｒ内に進入する。
複合ダイヤフラム３は第２図の二点鎖線に示すようＬこ
膨らむ。内側ダイヤフラム３ｂの中央のフラット部３ｇ
は３ｇ′の位置に移動する。このときの変位量は図のＨ
である。一方外側ダイヤフラム３ａのみの変位量は周辺
部の実線と二点鎖線間の距離りであり、フラット部は３
ｇ“の位置にくると考えられる。従って、内側ダイヤフ
ラム３ｂのみの変位量は、３ｇ“から３ｇ′間の距離で
、ｈ′で表される。そしてこれらの間にはＨ＝ｈ＋ｈ’
の関係が成り立つ。すなわち、複合ダイヤフラム４の変
位量は、外側ダイヤフラム４ａの変位量と内側ダイヤフ
ラム４ｂの変位量の和になる。従って、従来のダイヤフ
ラム−枚の微圧スイッチに比して変位量が逓増し、検知
し易（なる。
膨らむ。内側ダイヤフラム３ｂの中央のフラット部３ｇ
は３ｇ′の位置に移動する。このときの変位量は図のＨ
である。一方外側ダイヤフラム３ａのみの変位量は周辺
部の実線と二点鎖線間の距離りであり、フラット部は３
ｇ“の位置にくると考えられる。従って、内側ダイヤフ
ラム３ｂのみの変位量は、３ｇ“から３ｇ′間の距離で
、ｈ′で表される。そしてこれらの間にはＨ＝ｈ＋ｈ’
の関係が成り立つ。すなわち、複合ダイヤフラム４の変
位量は、外側ダイヤフラム４ａの変位量と内側ダイヤフ
ラム４ｂの変位量の和になる。従って、従来のダイヤフ
ラム−枚の微圧スイッチに比して変位量が逓増し、検知
し易（なる。
以上に説明したように本発明の微圧スイッチは、複合ダ
イヤフラムを使用したことによって、圧力の変化による
ダイヤフラムの変位量が逓増するので、高感度の微圧ス
イッチを得ることができる。
イヤフラムを使用したことによって、圧力の変化による
ダイヤフラムの変位量が逓増するので、高感度の微圧ス
イッチを得ることができる。
第１図は本発明の微圧スイッチの断面図、第２図は複合
ダイヤフラムの断面図、 第３図は従来例を示す断面図である。 Ｒ・・・圧力室、１・・・本体ケース、３・・・複合ダ
イヤフラム、３ａ・・・外側ダイヤフラム、３ｂ・・・
内側ダイヤフラム、３ｆ・・・圧力導入孔、７・・・作
動軸、８ａ・・・可動接点、９ａ・・・固定接点。 特許出願人 株式会社鷺宮製作所第 ３図 第 図 第 図 ■午庁長官 手 −」し＝ 続 （甫 田文毅 正 殿 書（自発 昭和６３年１１月１８日 羽生の耘 昭和６３年特許願第２３６５５６号 発明の名称 微圧スイッチ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都中野区若宮２丁目５５番５号４゜ 名 代 称 理 人 株式会社 警官製作所 ６、 補正により増加する請求項の数 補正の内容（特願昭６３−２３６５５６号）１．明細書
第６頁第２行目から第３行目の「複合ダイヤフラム４」
の記載を「複合ダイヤフラム３」と補正する。 ２、明細書第６頁第１３行目から第１５行目の「複合ダ
イヤフラム４の変位量は、外側ダイヤフラム４ａの変位
量と内側ダイヤフラム４ｂの変位量」の記載を「複合ダ
イヤフラム３の変位量は、外側ダイヤフラム３ａの変位
量と内側ダイヤフラム３ｂの変位量」と補正する。
ダイヤフラムの断面図、 第３図は従来例を示す断面図である。 Ｒ・・・圧力室、１・・・本体ケース、３・・・複合ダ
イヤフラム、３ａ・・・外側ダイヤフラム、３ｂ・・・
内側ダイヤフラム、３ｆ・・・圧力導入孔、７・・・作
動軸、８ａ・・・可動接点、９ａ・・・固定接点。 特許出願人 株式会社鷺宮製作所第 ３図 第 図 第 図 ■午庁長官 手 −」し＝ 続 （甫 田文毅 正 殿 書（自発 昭和６３年１１月１８日 羽生の耘 昭和６３年特許願第２３６５５６号 発明の名称 微圧スイッチ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都中野区若宮２丁目５５番５号４゜ 名 代 称 理 人 株式会社 警官製作所 ６、 補正により増加する請求項の数 補正の内容（特願昭６３−２３６５５６号）１．明細書
第６頁第２行目から第３行目の「複合ダイヤフラム４」
の記載を「複合ダイヤフラム３」と補正する。 ２、明細書第６頁第１３行目から第１５行目の「複合ダ
イヤフラム４の変位量は、外側ダイヤフラム４ａの変位
量と内側ダイヤフラム４ｂの変位量」の記載を「複合ダ
イヤフラム３の変位量は、外側ダイヤフラム３ａの変位
量と内側ダイヤフラム３ｂの変位量」と補正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 流体の圧力変化に対応して変形するダイヤフラムと、該
ダイヤフラムに圧接してその変位に追従する作動軸と、
該作動軸の移動によって接離する接点とを有する微圧ス
イッチにおいて、 二枚のダイヤフラムを空間を介在させて対置し、外縁部
を接続して圧力室を形成し、一方のダイヤフラムに上記
圧力室に連通する圧力導入孔を穿設し、該圧力導入孔を
有するダイヤフラムの中央部を固定し、他方のダイヤフ
ラムの中央部と上記作動軸とを圧接させたことを特徴と
する微圧スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23655688A JPH0287433A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 微圧スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23655688A JPH0287433A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 微圧スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287433A true JPH0287433A (ja) | 1990-03-28 |
Family
ID=17002397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23655688A Pending JPH0287433A (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | 微圧スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0287433A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998038663A1 (de) * | 1997-02-27 | 1998-09-03 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Mit einem mineralölhaltigen stoff benetzter kunststoffkörper als schalteinrichtung |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6130369A (ja) * | 1984-07-19 | 1986-02-12 | Toshiba Corp | 研磨装置 |
| JPS63173865A (ja) * | 1987-01-13 | 1988-07-18 | Res Dev Corp Of Japan | 流体与減圧装置 |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP23655688A patent/JPH0287433A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6130369A (ja) * | 1984-07-19 | 1986-02-12 | Toshiba Corp | 研磨装置 |
| JPS63173865A (ja) * | 1987-01-13 | 1988-07-18 | Res Dev Corp Of Japan | 流体与減圧装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998038663A1 (de) * | 1997-02-27 | 1998-09-03 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Mit einem mineralölhaltigen stoff benetzter kunststoffkörper als schalteinrichtung |
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