JPH0289328A - 半導体装置の樹脂封止用樹脂タブレット供給装置 - Google Patents
半導体装置の樹脂封止用樹脂タブレット供給装置Info
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- JPH0289328A JPH0289328A JP63242032A JP24203288A JPH0289328A JP H0289328 A JPH0289328 A JP H0289328A JP 63242032 A JP63242032 A JP 63242032A JP 24203288 A JP24203288 A JP 24203288A JP H0289328 A JPH0289328 A JP H0289328A
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- tablets
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0441—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/18—Feeding the material into the injection moulding apparatus, i.e. feeding the non-plastified material into the injection unit
- B29C45/1808—Feeding measured doses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/02—Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity
-
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- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14639—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
- B29C45/14655—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体装置の製造の過程においてその樹脂封
止に使用する樹脂タブレットを供給する樹脂タブレット
供給装置に関する。
止に使用する樹脂タブレットを供給する樹脂タブレット
供給装置に関する。
（従来の技術）
第４図及び第５図は、従来の、半導体の樹脂封止に用い
られる樹脂タブレットを供給する装置を示す。この供給
装置は、特に第４図かられかるように、アーム１を上動
させることによりタブレット２を１つ宛タブレットチャ
ック３に供給し、タブレットストッカ４ａ中のタブレッ
ト２を全て供給し終ったときには、ストッカテーブル５
を回転して他のタブレットストッカ４ｂを第４図のタブ
レットストッカ４ａの位置に移動し、上記の動作を繰り
返すようにしたものである。
られる樹脂タブレットを供給する装置を示す。この供給
装置は、特に第４図かられかるように、アーム１を上動
させることによりタブレット２を１つ宛タブレットチャ
ック３に供給し、タブレットストッカ４ａ中のタブレッ
ト２を全て供給し終ったときには、ストッカテーブル５
を回転して他のタブレットストッカ４ｂを第４図のタブ
レットストッカ４ａの位置に移動し、上記の動作を繰り
返すようにしたものである。
上記アーム１の上下駆動は、アーム上下駆動用モータ８
の回転によって行われる。即ち、そのモータ８の回転は
回転伝達機構９を介してねじ杆であるアーム上下駆動用
シャフト１０に伝えられる。
の回転によって行われる。即ち、そのモータ８の回転は
回転伝達機構９を介してねじ杆であるアーム上下駆動用
シャフト１０に伝えられる。
そのシャフト１０には雌ねじ体１１が相互に回転可能に
ねじ込まれており、シャフト１０の正逆回転に伴って雌
ねじ体１１が上下する。その雌ねじ体１１に前記アーム
１が固定されている。よって、アーム１は雌ねじ体１１
と一体的に上下動する。
ねじ込まれており、シャフト１０の正逆回転に伴って雌
ねじ体１１が上下する。その雌ねじ体１１に前記アーム
１が固定されている。よって、アーム１は雌ねじ体１１
と一体的に上下動する。
また、前記ストッカテーブル９の回転はストッカテーブ
ル駆動用モータ１３の回転によって行われる。即ち、そ
のモータ１３の回転は回転伝達機構１４によってストッ
カテーブル駆動機構１５に伝えられる。その駆動機構１
５は伝えられた回転をさらに軸１６の回転に変える。そ
の軸１６と一体的にステッカテーブル５が回転する。
ル駆動用モータ１３の回転によって行われる。即ち、そ
のモータ１３の回転は回転伝達機構１４によってストッ
カテーブル駆動機構１５に伝えられる。その駆動機構１
５は伝えられた回転をさらに軸１６の回転に変える。そ
の軸１６と一体的にステッカテーブル５が回転する。
上記のような動作によって、タブレットチャック３にタ
ブレット２が供給されると、タブレットチャック３はタ
ブレット２を挾持して、プリヒート工程もしくは直接モ
ールド工程へ供給する。
ブレット２が供給されると、タブレットチャック３はタ
ブレット２を挾持して、プリヒート工程もしくは直接モ
ールド工程へ供給する。
（発明が解決しようとする課題）
前記した従来の装置には以下のような問題があった。
（ａ） タブレット２のサイズ変更に際して、タブレ
ット２のサイズに合わせて前記チャック３及びストッカ
テーブル５を調整あるいは交換する必要があり、この作
業の間、タブレット２の供給が停止してしまい、装置の
稼動率が落ちる。
ット２のサイズに合わせて前記チャック３及びストッカ
テーブル５を調整あるいは交換する必要があり、この作
業の間、タブレット２の供給が停止してしまい、装置の
稼動率が落ちる。
（ｂ） タブレット２の連続供給のために、１個ある
いは複数個のタブレットストッカ４ａ、４ｂを設置する
領域が必要であり、さらに、タブレットストッカ４ａ、
４ｂ交換のために、ストッカテーブル５を平面内で回転
駆動する機構と領域が必要となり、装置が大型化し、機
構が複雑になると共に装置コストも増加する。
いは複数個のタブレットストッカ４ａ、４ｂを設置する
領域が必要であり、さらに、タブレットストッカ４ａ、
４ｂ交換のために、ストッカテーブル５を平面内で回転
駆動する機構と領域が必要となり、装置が大型化し、機
構が複雑になると共に装置コストも増加する。
（Ｃ） 前記チャック３へのタブレット２の供給位置
が限定されるため、装置領域の利用効率が悪い。
が限定されるため、装置領域の利用効率が悪い。
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的は、
タブレットストッカの複数を備えたタブレット供給装置
を、小形且つ構成の簡単なものとして提供すると共に、
タブレットサイズの変更にも簡単に対応し得るものとし
て提供することにある。
タブレットストッカの複数を備えたタブレット供給装置
を、小形且つ構成の簡単なものとして提供すると共に、
タブレットサイズの変更にも簡単に対応し得るものとし
て提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明のタブレット供給装置は、半導体装置の樹脂封止
に使用するほぼ円筒状の樹脂タブレットの複数を横向き
にして上下に積み重ねた状態で収納し、下端にタブレッ
ト取出口を有し、位置が固定された状態に設けられた複
数のタブレットストッカと、 前記各タブレットストッカに対応して設けられ、前記各
タブレットストッカ中の前記タブレットを１つ宛落下状
態に取り出すタブレット取出機構と、前記タブレット取
出機構によって１つ宛取り出された前記タブレットを大
きさに拘わりなく載置し、ガイドに沿ってタブレットチ
ャックに向けて搬送し、その載置及び搬送を前記タブレ
ットストッカのあるものについて繰り返した後他のもの
について順次繰り返すタブレット受と、 を備えたものとして構成される。
に使用するほぼ円筒状の樹脂タブレットの複数を横向き
にして上下に積み重ねた状態で収納し、下端にタブレッ
ト取出口を有し、位置が固定された状態に設けられた複
数のタブレットストッカと、 前記各タブレットストッカに対応して設けられ、前記各
タブレットストッカ中の前記タブレットを１つ宛落下状
態に取り出すタブレット取出機構と、前記タブレット取
出機構によって１つ宛取り出された前記タブレットを大
きさに拘わりなく載置し、ガイドに沿ってタブレットチ
ャックに向けて搬送し、その載置及び搬送を前記タブレ
ットストッカのあるものについて繰り返した後他のもの
について順次繰り返すタブレット受と、 を備えたものとして構成される。
（作 用）
各タブレットストッカは位置が固定された状態に設けら
れている。それらのストッカには、半導体装置の樹脂封
止に使用するほぼ円筒状の樹脂製のタブレットの複数が
、横向きにして上下に積み重ねた状態で収納されている
。それらのストッカの下端のタブレット取出口から、タ
ブレットが、タブレット取出機構によって、１つ宛落下
状態に取り出される。取り出されたタブレットはその大
きさに拘わりなくタブレット畳上に載置され、タブレッ
トチャックに搬送される。以上の動作がタブレフトスト
ッカのあるものについて繰り返えされ、その後他のタブ
レットストッカについて順次繰り返される。
れている。それらのストッカには、半導体装置の樹脂封
止に使用するほぼ円筒状の樹脂製のタブレットの複数が
、横向きにして上下に積み重ねた状態で収納されている
。それらのストッカの下端のタブレット取出口から、タ
ブレットが、タブレット取出機構によって、１つ宛落下
状態に取り出される。取り出されたタブレットはその大
きさに拘わりなくタブレット畳上に載置され、タブレッ
トチャックに搬送される。以上の動作がタブレフトスト
ッカのあるものについて繰り返えされ、その後他のタブ
レットストッカについて順次繰り返される。
（実施例）
第１図及び第２図は、本発明の一実施例の正面図及び側
面図である。この実施例は、タブレットストッカ２１Ａ
、２１Ｂを位置固定状態に設けておき、それらのストッ
カ２１Ａ、２１Ｂのいずれかから、自由に移動可能なタ
ブレット受２３にほぼ円筒状の樹脂タブレット２２を１
つずつ落下させ、タブレット２２を受は取ったタブレッ
ト受２３はそのタブレット２２を１つずつタブレットチ
ャック２４まで運搬してそのタブレットチャック２４に
与え、以上の動作を繰り返すようにしたものである。
面図である。この実施例は、タブレットストッカ２１Ａ
、２１Ｂを位置固定状態に設けておき、それらのストッ
カ２１Ａ、２１Ｂのいずれかから、自由に移動可能なタ
ブレット受２３にほぼ円筒状の樹脂タブレット２２を１
つずつ落下させ、タブレット２２を受は取ったタブレッ
ト受２３はそのタブレット２２を１つずつタブレットチ
ャック２４まで運搬してそのタブレットチャック２４に
与え、以上の動作を繰り返すようにしたものである。
以下に、上記実施例をより具体的に説明する。
即ち、固定状態の基板２７上にストッカプレート２８を
脚２９．２９・・・によって浮かした状態に取り付けて
いる。このプレート２８には、第１図において左右に走
る一直線上にタブレット取出孔３０Ａ、３０Ｂを穿設し
ている。それらの孔３０Ａ、３０Ｂに角筒状のタブレッ
トストッカ２１Ａ、２１Ｂの下端を挿入固定している。
脚２９．２９・・・によって浮かした状態に取り付けて
いる。このプレート２８には、第１図において左右に走
る一直線上にタブレット取出孔３０Ａ、３０Ｂを穿設し
ている。それらの孔３０Ａ、３０Ｂに角筒状のタブレッ
トストッカ２１Ａ、２１Ｂの下端を挿入固定している。
これらのストッカ２１Ａ、２１Ｂの下端部分を補強部材
３１Ａ、３１Ｂで補強して倒れないようにしている。上
記ストッカプレート２８には、ストッカ２１Ａ、２１Ｂ
の下端からタブレット２２を１つずつ取り出すためのタ
ブレット取出機構３２Ａ。
３１Ａ、３１Ｂで補強して倒れないようにしている。上
記ストッカプレート２８には、ストッカ２１Ａ、２１Ｂ
の下端からタブレット２２を１つずつ取り出すためのタ
ブレット取出機構３２Ａ。
３２Ｂを設けている。それらの機構３２Ａ。
３２Ｂは、タブレットストッパ３３Ａ、３３Ｂ及びスト
ッパ駆動用シリンダ３４Ａ、３４Ｂを備える。ただし、
第１図にはストッパ駆動用シリンダ３４Ａの図示は省略
している。上記タブレット取出機構３２Ａ、３２Ｂは共
に同一の構成を有し、よってタブレット取出機構３２Ｂ
について説明する。タブレット取出機構３２Ｂのタブレ
ットストッパ３３Ｂは、はぼＬ形のストッパ本体３５を
備え、その一端をビン３６で回転可能に枢着している。
ッパ駆動用シリンダ３４Ａ、３４Ｂを備える。ただし、
第１図にはストッパ駆動用シリンダ３４Ａの図示は省略
している。上記タブレット取出機構３２Ａ、３２Ｂは共
に同一の構成を有し、よってタブレット取出機構３２Ｂ
について説明する。タブレット取出機構３２Ｂのタブレ
ットストッパ３３Ｂは、はぼＬ形のストッパ本体３５を
備え、その一端をビン３６で回転可能に枢着している。
また、シリンダ３４Ｂのシリンダ本体３９がプレート２
８の下面に吊下状態に固定され、口・ンド４０の先端の
ほぼＵ字状のアーム４０ａがピン４１によりストッパ本
体３５を相互に回転可能に枢着している。従って、ロッ
ド４０が伸縮することにより、ストッパ本体３５はビン
３６のまわりに回転する。即ち、ストッパ本体３５は、
タブレット２２の落下を阻止する第１図に示した位置と
、ピン３６のまわりに反時計回り方向に回転変位してタ
ブレット２２の落下を許す位置（第３図Ｃ参照）とを取
り得るようになっている。
８の下面に吊下状態に固定され、口・ンド４０の先端の
ほぼＵ字状のアーム４０ａがピン４１によりストッパ本
体３５を相互に回転可能に枢着している。従って、ロッ
ド４０が伸縮することにより、ストッパ本体３５はビン
３６のまわりに回転する。即ち、ストッパ本体３５は、
タブレット２２の落下を阻止する第１図に示した位置と
、ピン３６のまわりに反時計回り方向に回転変位してタ
ブレット２２の落下を許す位置（第３図Ｃ参照）とを取
り得るようになっている。
タブレットストッカ２１Ａ、２１Ｂの下方には、それら
から受は止ったタブレット２２をタブレットチャック２
４まで運ぶタブレット受２３が設けられている。
から受は止ったタブレット２２をタブレットチャック２
４まで運ぶタブレット受２３が設けられている。
このタブレット受２３は、横向きにされた円筒状のタブ
レット２２の周側面を安定的に受けるため、横断面がＶ
字状の溝２３ａを有している。さらに、このタブレット
受２３は、その溝２３ａの上にタブレット２２が載置さ
れた状態か否かを検出するための光学形タブレット有無
検出センサ４３を有する。そのセンサ４３は相対向する
発光部と受光部とを備え、それらの間が検知片４３ａに
よって遮断、導通されてオン、オフが切り換えられる。
レット２２の周側面を安定的に受けるため、横断面がＶ
字状の溝２３ａを有している。さらに、このタブレット
受２３は、その溝２３ａの上にタブレット２２が載置さ
れた状態か否かを検出するための光学形タブレット有無
検出センサ４３を有する。そのセンサ４３は相対向する
発光部と受光部とを備え、それらの間が検知片４３ａに
よって遮断、導通されてオン、オフが切り換えられる。
その検知片４３ａは中央部分がピン４３ｂで回転可能に
軸支されている。そして、特に第３図Ａかられかるよう
に、タブレット２２がタブレット受２３上にない状態に
おいては同図Ａに破線で示すように検知片４３ａの右端
が自重により下動した状態にあって上記受発光部間を導
通してセンサ４３をオフし、一方タブレット２２がタブ
レット受２３に載置した状態においては、特に第３図Ｂ
かられかるように、検知片４３ａの左端がタブレット２
２によって押し下げられ、ビン４３ｂのまわりに回転し
て水平状態となり、検知片４３ａの右端が上記受発光部
間を遮断してセンサ４３をオンし、そのセンサ４３から
タブレット検知信号が出力されるように構成されている
。
軸支されている。そして、特に第３図Ａかられかるよう
に、タブレット２２がタブレット受２３上にない状態に
おいては同図Ａに破線で示すように検知片４３ａの右端
が自重により下動した状態にあって上記受発光部間を導
通してセンサ４３をオフし、一方タブレット２２がタブ
レット受２３に載置した状態においては、特に第３図Ｂ
かられかるように、検知片４３ａの左端がタブレット２
２によって押し下げられ、ビン４３ｂのまわりに回転し
て水平状態となり、検知片４３ａの右端が上記受発光部
間を遮断してセンサ４３をオンし、そのセンサ４３から
タブレット検知信号が出力されるように構成されている
。
このように構成されたタブレット受２３は、第１図にお
いて上下左右方向に移動可能に構成されている。即ち、
基板２７の下面に水平駆動用モータ４４及び一対の支持
板４５．４６が取り付けられている。このモータ４４に
より車４５ａが回転させられる。この車４５ａと、支持
板４６で自由回転可能に支持された車４５ｂとの間にベ
ルト４７が掛けられている。車４５ａの回転によりべル
ト４７が水平に往復動する。そのベルト４７と一体的に
タブレット受支持体４８が、支持板４５゜４６間に跨設
された水平移動用ガイド４９にガイドされて水平動する
。その支持体４８を所定の３つの位置、即ち、タブレッ
トチャック２４の下方の第１の位置、タブレットストッ
カ２１Ａの下方の第２の位置及びタブレットストッカ２
１Ｂの下方の第３の位置にそれぞれ停止させるため、そ
れらの各位置に水平位置位置決めセンサ５１Ａ〜５１Ｃ
を基板２７に対して固定的に設けている。
いて上下左右方向に移動可能に構成されている。即ち、
基板２７の下面に水平駆動用モータ４４及び一対の支持
板４５．４６が取り付けられている。このモータ４４に
より車４５ａが回転させられる。この車４５ａと、支持
板４６で自由回転可能に支持された車４５ｂとの間にベ
ルト４７が掛けられている。車４５ａの回転によりべル
ト４７が水平に往復動する。そのベルト４７と一体的に
タブレット受支持体４８が、支持板４５゜４６間に跨設
された水平移動用ガイド４９にガイドされて水平動する
。その支持体４８を所定の３つの位置、即ち、タブレッ
トチャック２４の下方の第１の位置、タブレットストッ
カ２１Ａの下方の第２の位置及びタブレットストッカ２
１Ｂの下方の第３の位置にそれぞれ停止させるため、そ
れらの各位置に水平位置位置決めセンサ５１Ａ〜５１Ｃ
を基板２７に対して固定的に設けている。
それらの位置決めセンサ５１Ａ〜５１Ｃは、上記タブレ
ット有無検出センサ４４と同様に、光学形センサとして
構成されたもので、第２図に示すように、溝５１ａを有
する。そのセンサ５１Ａ（５１Ｂ、５１Ｃ）の溝５１ａ
内に、支持体４８の背面側に固定された位置決め片５２
が、支持体４８の水平動に伴って入り込むと、発光部５
１ｂと受光部５１ｃとの間が遮断されてセンサ５１Ａ（
５１Ｂ、５１Ｃ）が作動し、第１〜第３の位置検出信号
を出力する。それらの位置検出信号に基づいて、水平駆
動用モータ４４の回転が制御装置５０によって制御され
、支持体４８（タブレット受２３）は上記第１〜第３の
位置のいずれかの位置に停止することになる。例えば、
支持体４８を第１図に図示した第１の位置からタブレッ
トストッカ２１Ｂ下の第３の位置に移動させるには、制
御装置５０からの信号によりモータ４４が回転して支持
体４８を右方へ移動させる。そして、やがてセンサ５１
Ｃが作動して第３の位置検出信号を出力し、制御装置５
０に伝える。これにより、制御装置５０はモータ４４を
停止させる。これにより、支持体４８はストッカ２１Ｂ
下の第３の位置に停止する。
ット有無検出センサ４４と同様に、光学形センサとして
構成されたもので、第２図に示すように、溝５１ａを有
する。そのセンサ５１Ａ（５１Ｂ、５１Ｃ）の溝５１ａ
内に、支持体４８の背面側に固定された位置決め片５２
が、支持体４８の水平動に伴って入り込むと、発光部５
１ｂと受光部５１ｃとの間が遮断されてセンサ５１Ａ（
５１Ｂ、５１Ｃ）が作動し、第１〜第３の位置検出信号
を出力する。それらの位置検出信号に基づいて、水平駆
動用モータ４４の回転が制御装置５０によって制御され
、支持体４８（タブレット受２３）は上記第１〜第３の
位置のいずれかの位置に停止することになる。例えば、
支持体４８を第１図に図示した第１の位置からタブレッ
トストッカ２１Ｂ下の第３の位置に移動させるには、制
御装置５０からの信号によりモータ４４が回転して支持
体４８を右方へ移動させる。そして、やがてセンサ５１
Ｃが作動して第３の位置検出信号を出力し、制御装置５
０に伝える。これにより、制御装置５０はモータ４４を
停止させる。これにより、支持体４８はストッカ２１Ｂ
下の第３の位置に停止する。
上記支持体４８は、さらに、タブレット受２３を支える
ロッド５４を、上下に摺動可能に支持している。タブレ
ット受２３の上下への駆動は、支持体４８が備える上下
駆動用シリンダ５５によって行われる。即ち、そのシリ
ンダ５５のシリンダ本体５６が支持体４８に取り付けら
れ、ロッド５７がタブレット受２３に取り付けられてい
る。
ロッド５４を、上下に摺動可能に支持している。タブレ
ット受２３の上下への駆動は、支持体４８が備える上下
駆動用シリンダ５５によって行われる。即ち、そのシリ
ンダ５５のシリンダ本体５６が支持体４８に取り付けら
れ、ロッド５７がタブレット受２３に取り付けられてい
る。
よって、シリンダ５５のロッド５７の伸縮に伴ってタブ
レット受２３が上下動する。そのタブレット受２３を所
定の２つの位置、即ち、上限位置（第３図Ｂ参照）及び
下限位置（第３図Ｅ参照）にそれぞれ停止させるため、
磁気動作形リードスイッチ等の上限位置センサ及び下限
位置センサ（共に図示せず）をシリンダ５５の外側に設
けている。さらに、タブレット受２３が上限位置から下
限位置に降下する際に、決められた位置、即ち、上限位
置からタブレットの径りだけ下がった位置を通過する際
のタイミング知得するため、位置検出センサ５９を設け
ている。上記センサ５９は、前記水平方向位置決めセン
サ５１Ａ〜５１Ｃと同様のものである。即ち、そのセン
サ５９は磁気センサとして構成され、第１図Ａかられか
るように、上下方向に走る溝５９ａを有し、その満５９
ａ内に、タブレット受２３の例えば背面に取り付けた磁
性体の位置決め片６１が、タブレット受２３の上下動に
伴って入り込むと、受発光部間が遮断されてセンサ５９
は中間位置検出信号を出力する。
レット受２３が上下動する。そのタブレット受２３を所
定の２つの位置、即ち、上限位置（第３図Ｂ参照）及び
下限位置（第３図Ｅ参照）にそれぞれ停止させるため、
磁気動作形リードスイッチ等の上限位置センサ及び下限
位置センサ（共に図示せず）をシリンダ５５の外側に設
けている。さらに、タブレット受２３が上限位置から下
限位置に降下する際に、決められた位置、即ち、上限位
置からタブレットの径りだけ下がった位置を通過する際
のタイミング知得するため、位置検出センサ５９を設け
ている。上記センサ５９は、前記水平方向位置決めセン
サ５１Ａ〜５１Ｃと同様のものである。即ち、そのセン
サ５９は磁気センサとして構成され、第１図Ａかられか
るように、上下方向に走る溝５９ａを有し、その満５９
ａ内に、タブレット受２３の例えば背面に取り付けた磁
性体の位置決め片６１が、タブレット受２３の上下動に
伴って入り込むと、受発光部間が遮断されてセンサ５９
は中間位置検出信号を出力する。
上記上限、下限位置センサからの信号が制御装置５０に
伝えられ、シリンダ５５の動きが制御され、タブレット
受２３は上動中において上限位置に、及び下動中におい
て下限位置にそれぞれ停止する。また、下動中において
、センサ５９からの信号により、後述するように、シリ
ンダ３９が制御され、ストッパ３２が開状態から閉状態
に動作する（第３図り参照）。
伝えられ、シリンダ５５の動きが制御され、タブレット
受２３は上動中において上限位置に、及び下動中におい
て下限位置にそれぞれ停止する。また、下動中において
、センサ５９からの信号により、後述するように、シリ
ンダ３９が制御され、ストッパ３２が開状態から閉状態
に動作する（第３図り参照）。
また、上記タブレットチャック２４は、タブレット受２
３で運ばれてきたタブレット２２を挾み取る２本のアー
ム２４ ａ ＋ ２４ ａを有し、それらのアーム２
４ａ、２４ａが開閉動作をするように構成されている。
３で運ばれてきたタブレット２２を挾み取る２本のアー
ム２４ ａ ＋ ２４ ａを有し、それらのアーム２
４ａ、２４ａが開閉動作をするように構成されている。
このタブレットチャック２４は、タブレット受２３上の
タブレット２２を挾み、次工程の装置又は金型ポットに
向けてそのタブレット２２を送る。
タブレット２２を挾み、次工程の装置又は金型ポットに
向けてそのタブレット２２を送る。
次に、上記のように構成した装置の動作を説明する。先
ず、水平駆動用モータ４４によって支持体４８をストッ
カ２１Ａの下方に位置させる。その状態でシリンダ５５
によりタブレット受２３を上限位置まで上動させる。そ
の後、タブレット受２３を下限位置まで下動させる。そ
の下動の途中において、ストッパ３３Ａ、３３Ｂが開閉
動作して、タブレット受２３上にタブレット２２が１つ
載った状態で下限位置に達する。この後、タブレット受
２２をタブレットチャック２４の下方に移動させる。そ
のタブレットチャック２４はタブレット受２３上のタブ
レット２２をアーム２４ａ。
ず、水平駆動用モータ４４によって支持体４８をストッ
カ２１Ａの下方に位置させる。その状態でシリンダ５５
によりタブレット受２３を上限位置まで上動させる。そ
の後、タブレット受２３を下限位置まで下動させる。そ
の下動の途中において、ストッパ３３Ａ、３３Ｂが開閉
動作して、タブレット受２３上にタブレット２２が１つ
載った状態で下限位置に達する。この後、タブレット受
２２をタブレットチャック２４の下方に移動させる。そ
のタブレットチャック２４はタブレット受２３上のタブ
レット２２をアーム２４ａ。
２４ａで挾んで次工程の装置に運び、これを繰り返し、
タブレットストッカ２１Ａのタブレット２２が全てなく
なったら、ストッカ２１Ｂタブレツト２２について上記
の動作を繰り返す。
タブレットストッカ２１Ａのタブレット２２が全てなく
なったら、ストッカ２１Ｂタブレツト２２について上記
の動作を繰り返す。
次に、ストッカ２１Ａ（２１Ｂ）からタブレット２２を
タブレットチャック２４まで運ぶ動作について第３図Ａ
〜第３図Ｅを参照して詳細に説明する。
タブレットチャック２４まで運ぶ動作について第３図Ａ
〜第３図Ｅを参照して詳細に説明する。
第３図Ａは、タブレット受２３がタブレットをタブレッ
トチャック２４に与え、ストッカ２１Ａに戻る直前の状
態を示している。センサ４３によりタブレット２２の喪
失が検出され、タブレット受２３は、図面上右方に水平
移動し、ストッカ２１Ａの下方の第２の位置に至ったら
上動し、上限位置に達する（第３図Ｂ）。
トチャック２４に与え、ストッカ２１Ａに戻る直前の状
態を示している。センサ４３によりタブレット２２の喪
失が検出され、タブレット受２３は、図面上右方に水平
移動し、ストッカ２１Ａの下方の第２の位置に至ったら
上動し、上限位置に達する（第３図Ｂ）。
この状態においては、タブレット受２３の溝２３ａ内に
最下端のタブレット２２の下面が接し、検出片４３ａが
水平となりセンサ４３が動作する。
最下端のタブレット２２の下面が接し、検出片４３ａが
水平となりセンサ４３が動作する。
即ち、センサ４３によりタブレット２２の存在が検出さ
れる。センサ４３からの信号が制御装置５０に伝えられ
る。これにより、ストッパ３５がビン３６のまわりに反
時計回り方向に回転させられ開放する。これにより、上
記最下端のタブレ・シト２２の支持が解かれ、全てのタ
ブレット２２゜２２・・・が降下の許された状態となる
（第３図Ｃ）。
れる。センサ４３からの信号が制御装置５０に伝えられ
る。これにより、ストッパ３５がビン３６のまわりに反
時計回り方向に回転させられ開放する。これにより、上
記最下端のタブレ・シト２２の支持が解かれ、全てのタ
ブレット２２゜２２・・・が降下の許された状態となる
（第３図Ｃ）。
この状態において、タブレット受２３は降下を開始する
。タブレット受２３と共に全てのタブレット２２．２２
・・・が降下する。下から２番目のタブレットが、第３
図Ａの最下端のタブレット２２の位置まで降下すると（
第３図Ｄ）、センサ５９が作動してストッパ３５が時計
回り方向に回転させられて閉じる。これにより、下から
２番目のタブレット２２はストッパ３５で支えられ、そ
れよりも上のタブレット２２が降下阻止状態となる。
。タブレット受２３と共に全てのタブレット２２．２２
・・・が降下する。下から２番目のタブレットが、第３
図Ａの最下端のタブレット２２の位置まで降下すると（
第３図Ｄ）、センサ５９が作動してストッパ３５が時計
回り方向に回転させられて閉じる。これにより、下から
２番目のタブレット２２はストッパ３５で支えられ、そ
れよりも上のタブレット２２が降下阻止状態となる。
この後もタブレット受２３は降下し、下限位置に達する
（第３図Ｅ）。この後、タブレット受２３は図面上左方
へ移動し、第３図Ａの状態に戻る。
（第３図Ｅ）。この後、タブレット受２３は図面上左方
へ移動し、第３図Ａの状態に戻る。
タブレット受２３上のタブレット２２はタブレットチャ
ック２４に与えられる。以上の動作が繰り返される。
ック２４に与えられる。以上の動作が繰り返される。
本発明の実施例によれば、以下の効果が得られる。即ち
、タブレット２２をタブレットストッカ２１Ａ、２１Ｂ
の底部からタブレット受２３に取り出し、そのタブレッ
ト受２３でタブレット２２をタブレットチャック２４へ
搬送する機構としたので、タブレットストッカ２１Ａ、
２１Ｂを移動する必要がなく、その移動のための機構も
領域（スペース）も不要にすることができる。さらに、
上記のようにしたことから、タブレットストッカ２１Ａ
、２１Ｂを効率的に設置できるようになり、大幅に装置
の小型化及び機構の簡略化さらには低コスト化を図るこ
とができる。また、タブレット受２３が移動するため、
チャック位置による制限が少なくなり、装置領域の効率
利用が図れ、装置の小型化が図れる。さらに、タブレッ
ト受２３の構造をタブレット２２のサイズに対してフレ
キシブルにしたので、タブレット２２のサイズが嚢更し
ても、それに伴ってタブレット受２３やタブレットチャ
ック２４の部品や部材の調整、交換の必要がなく、効率
的である。
、タブレット２２をタブレットストッカ２１Ａ、２１Ｂ
の底部からタブレット受２３に取り出し、そのタブレッ
ト受２３でタブレット２２をタブレットチャック２４へ
搬送する機構としたので、タブレットストッカ２１Ａ、
２１Ｂを移動する必要がなく、その移動のための機構も
領域（スペース）も不要にすることができる。さらに、
上記のようにしたことから、タブレットストッカ２１Ａ
、２１Ｂを効率的に設置できるようになり、大幅に装置
の小型化及び機構の簡略化さらには低コスト化を図るこ
とができる。また、タブレット受２３が移動するため、
チャック位置による制限が少なくなり、装置領域の効率
利用が図れ、装置の小型化が図れる。さらに、タブレッ
ト受２３の構造をタブレット２２のサイズに対してフレ
キシブルにしたので、タブレット２２のサイズが嚢更し
ても、それに伴ってタブレット受２３やタブレットチャ
ック２４の部品や部材の調整、交換の必要がなく、効率
的である。
本発明によれば、複数のタブレットストッカを固定状態
に設け、タブレットストッカからタブレットを受は取る
タブレット受をガイドに沿って移動可能としたので、タ
ブレットストッカを回転可能とした場合に比して、小形
で機構の簡単なものとでき、さらに、タブレット受をタ
ブレットの大きさに拘わりなく動作可能としたので、タ
ブレットの大きさが変った場合においても、装置の動作
を止めて各部分を１′７８整したりすることなく、動作
させることができる。
に設け、タブレットストッカからタブレットを受は取る
タブレット受をガイドに沿って移動可能としたので、タ
ブレットストッカを回転可能とした場合に比して、小形
で機構の簡単なものとでき、さらに、タブレット受をタ
ブレットの大きさに拘わりなく動作可能としたので、タ
ブレットの大きさが変った場合においても、装置の動作
を止めて各部分を１′７８整したりすることなく、動作
させることができる。
第１図及び第２図は本発明の一実施例の正面図及び平面
図、第１図Ａはその垂直方向位置決めセンサの一部切断
説明図、第３図Ａ〜第３図Ｅは上記実施例の動作を説明
するための部分正面図、第４図及び第５図は従来例の正
面図及び平面図である。 ２１Ａ、２１Ｂ・・・タブレットストッカ、２２・・・
タブレット、２３・・・タブレット受、２４・・・タブ
レットチャック、３２Ａ、３２Ｂ・・・タブレット取出
機構。
図、第１図Ａはその垂直方向位置決めセンサの一部切断
説明図、第３図Ａ〜第３図Ｅは上記実施例の動作を説明
するための部分正面図、第４図及び第５図は従来例の正
面図及び平面図である。 ２１Ａ、２１Ｂ・・・タブレットストッカ、２２・・・
タブレット、２３・・・タブレット受、２４・・・タブ
レットチャック、３２Ａ、３２Ｂ・・・タブレット取出
機構。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 半導体装置の樹脂封止に使用するほぼ円筒状の樹脂タブ
レットの複数を横向きにして上下に積み重ねた状態で収
納し、下端にタブレット取出口を有し、位置が固定され
た状態に設けられた複数のタブレットストッカと、 前記各タブレットストッカに対応して設けられ、前記各
タブレットストッカ中の前記タブレットを１つ宛落下状
態に取り出すタブレット取出機構と、前記タブレット取
出機構によって１つ宛取り出された前記タブレットを大
きさに拘わりなく載置し、ガイドに沿ってタブレットチ
ャックに向けて搬送し、その載置及び搬送を前記タブレ
ットストッカのあるものについて繰り返した後他のもの
について順次繰り返すタブレット受と、 を備えたことを特徴とする半導体装置の樹脂封止用樹脂
タブレット供給装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63242032A JPH0618219B2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 半導体装置の樹脂封止用樹脂タブレット供給装置 |
| US07/415,558 US5080552A (en) | 1988-09-27 | 1989-09-26 | Apparatus for supplying resin tablets for use in encapsulating semiconductor device |
| KR1019890013913A KR960009981B1 (ko) | 1988-09-27 | 1989-09-27 | 반도체장치의 수지밀봉용 수지태블릿 공급장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63242032A JPH0618219B2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 半導体装置の樹脂封止用樹脂タブレット供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0289328A true JPH0289328A (ja) | 1990-03-29 |
| JPH0618219B2 JPH0618219B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=17083257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63242032A Expired - Lifetime JPH0618219B2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 半導体装置の樹脂封止用樹脂タブレット供給装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5080552A (ja) |
| JP (1) | JPH0618219B2 (ja) |
| KR (1) | KR960009981B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100427519B1 (ko) * | 2000-04-21 | 2004-04-27 | 아피쿠 야마다 가부시키가이샤 | 수지 몰딩 장치 및 수지 타블렛 이송 장치 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1237307B (it) * | 1989-11-30 | 1993-05-27 | Prima Ind Spa | Dispositivo trasferitore di materiali in foglio. |
| JP3293004B2 (ja) * | 1993-08-31 | 2002-06-17 | コニカ株式会社 | 感光材料処理装置 |
| US5634764A (en) * | 1994-08-12 | 1997-06-03 | Replogle; Charles R. | Workpiece placement system and method having a vacuum holding the workpiece |
| US5925384A (en) * | 1997-04-25 | 1999-07-20 | Micron Technology, Inc. | Manual pellet loader for Boschman automolds |
| WO2017012628A1 (de) * | 2015-07-18 | 2017-01-26 | Harro Höfliger Verpackungsmaschinen GmbH | Verfahren und vorrichtung zur abgrenzung und übergabe von pellets |
| EP3205601A1 (en) * | 2016-02-11 | 2017-08-16 | The Procter and Gamble Company | Packaged product |
| JOP20190030A1 (ar) * | 2017-06-14 | 2019-02-26 | Grow Solutions Tech Llc | رؤوس وسيلة وضع بذور دقيقة ومكونات وسيلة وضع بذور والتي تتضمن رؤوس وسيلة وضع بذور دقيقة |
| JP6861776B1 (ja) * | 2019-10-24 | 2021-04-21 | Ｔｏｗａ株式会社 | 樹脂供給機構、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 |
| US12272201B2 (en) * | 2020-10-14 | 2025-04-08 | Barbara Coatney | Medication dispensing systems and methods |
| JP7135186B1 (ja) * | 2021-09-15 | 2022-09-12 | Ｔｏｗａ株式会社 | 樹脂供給装置、樹脂成形システム、及び、樹脂成形品の製造方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1278771B (de) * | 1963-02-06 | 1968-09-26 | Seitz Automaten Ges Mit Beschr | Muenzausloesevorrichtung fuer Warenselbstverkaeufer |
| US3300090A (en) * | 1965-03-24 | 1967-01-24 | Carden Columbus Heard | Tablet and capsule dispenser |
| BE758569A (fr) * | 1969-11-06 | 1971-05-06 | Westinghouse Electric Corp | Portillon de distribution pour distributeurs automatiques a tablette inclinee |
| GB2111033B (en) * | 1981-10-31 | 1985-09-11 | Tdk Electronics Co Ltd | Electronic component selection and supply apparatus |
| US4623293A (en) * | 1985-02-08 | 1986-11-18 | Amp Incorporated | Apparatus for orientating elongate bodies |
| JPS6288703A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-23 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | アンロ−ダのマガジン検出装置 |
| JPS6351216A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-03-04 | Nippei Toyama Corp | 搬送用の中間ストツク装置 |
| US4739872A (en) * | 1987-03-05 | 1988-04-26 | Amsted Industries Incorporated | Automated parts handling apparatus |
| US4809881A (en) * | 1987-04-16 | 1989-03-07 | Total Tote, Inc. | Bin dispensing machine |
-
1988
- 1988-09-27 JP JP63242032A patent/JPH0618219B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-09-26 US US07/415,558 patent/US5080552A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-27 KR KR1019890013913A patent/KR960009981B1/ko not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100427519B1 (ko) * | 2000-04-21 | 2004-04-27 | 아피쿠 야마다 가부시키가이샤 | 수지 몰딩 장치 및 수지 타블렛 이송 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5080552A (en) | 1992-01-14 |
| KR900005581A (ko) | 1990-04-14 |
| JPH0618219B2 (ja) | 1994-03-09 |
| KR960009981B1 (ko) | 1996-07-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080309 Year of fee payment: 14 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090309 Year of fee payment: 15 |