JPH0618219B2 - 半導体装置の樹脂封止用樹脂タブレット供給装置 - Google Patents
半導体装置の樹脂封止用樹脂タブレット供給装置Info
- Publication number
- JPH0618219B2 JPH0618219B2 JP63242032A JP24203288A JPH0618219B2 JP H0618219 B2 JPH0618219 B2 JP H0618219B2 JP 63242032 A JP63242032 A JP 63242032A JP 24203288 A JP24203288 A JP 24203288A JP H0618219 B2 JPH0618219 B2 JP H0618219B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tablet
- stockers
- receiver
- state
- lowermost
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0441—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/18—Feeding the material into the injection moulding apparatus, i.e. feeding the non-plastified material into the injection unit
- B29C45/1808—Feeding measured doses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/02—Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14639—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
- B29C45/14655—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体装置の製造の過程においてその樹脂封
止に使用する樹脂タブレットを供給する樹脂タブレット
供給装置に関する。
止に使用する樹脂タブレットを供給する樹脂タブレット
供給装置に関する。
（従来の技術） 第４図及び第５図は、従来の、半導体の樹脂封止に用い
られる樹脂タブレットを供給する装置を示す。この供給
装置は、特に第４図からわかるように、アーム１を上動
させることによりタブレット２を１つ宛タブレットチャ
ック３に供給し、タブレットストッカ４ａ中のタブレッ
ト２を全て供給し終ったときには、ストッカテーブル５
を回転して他のタブレットストッカ４ｂを第４図のタブ
レットストッカ４ａの位置に移動し、上記の動作を繰り
返すようにしたものである。
られる樹脂タブレットを供給する装置を示す。この供給
装置は、特に第４図からわかるように、アーム１を上動
させることによりタブレット２を１つ宛タブレットチャ
ック３に供給し、タブレットストッカ４ａ中のタブレッ
ト２を全て供給し終ったときには、ストッカテーブル５
を回転して他のタブレットストッカ４ｂを第４図のタブ
レットストッカ４ａの位置に移動し、上記の動作を繰り
返すようにしたものである。
上記アーム１の上下駆動は、アーム上下駆動用モータ８
の回転によって行われる。即ち、そのモータ８の回転は
回転伝達機構９を介してねじ杆であるアーム上下駆動用
シャフト１０に伝えられる。
の回転によって行われる。即ち、そのモータ８の回転は
回転伝達機構９を介してねじ杆であるアーム上下駆動用
シャフト１０に伝えられる。
そのシャフト１０には雌ねじ体１１が相互に回転可能に
ねじ込まれており、シャフト１０の正逆回転に伴って雌
ねじ体１１が上下する。その雌ねじ体１１に前記アーム
１が固定されている。よって、アーム１は雌ねじ体１１
と一体的に上下動する。
ねじ込まれており、シャフト１０の正逆回転に伴って雌
ねじ体１１が上下する。その雌ねじ体１１に前記アーム
１が固定されている。よって、アーム１は雌ねじ体１１
と一体的に上下動する。
また、前記ストッカテーブル９の回転はストッカテーブ
ル駆動用モータ１３の回転によって行われる。即ち、そ
のモータ１３の回転は回転伝達機構１４によってストッ
カテーブル駆動機構１５に伝えられる。その駆動機構１
５は伝えられた回転をさらに軸１６の回転に変える。そ
の軸１６と一体的にステッカテーブル５が回転する。
ル駆動用モータ１３の回転によって行われる。即ち、そ
のモータ１３の回転は回転伝達機構１４によってストッ
カテーブル駆動機構１５に伝えられる。その駆動機構１
５は伝えられた回転をさらに軸１６の回転に変える。そ
の軸１６と一体的にステッカテーブル５が回転する。
上記のような動作によって、タブレットチャック３にタ
ブレット２が供給されると、タブレットチャック３はタ
ブレット２を挾持して、プリヒート工程もしくは直接モ
ールド工程へ供給する。
ブレット２が供給されると、タブレットチャック３はタ
ブレット２を挾持して、プリヒート工程もしくは直接モ
ールド工程へ供給する。
（発明が解決しようとする課題） 前記した従来の装置には以下のような問題があった。
(ａ)タブレット２のサイズ変更に際して、タブレット２
のサイズに合わせて前記チャック３及びストッカテーブ
ル５を調整あるいは交換する必要があり、この作業の
間、タブレット２の供給が停止してしまい、装置の稼働
率が落ちる。
のサイズに合わせて前記チャック３及びストッカテーブ
ル５を調整あるいは交換する必要があり、この作業の
間、タブレット２の供給が停止してしまい、装置の稼働
率が落ちる。
(ｂ)タブレット２の連続供給のために、１個あるいは複
数個のタブレットストッカ４ａ，４ｂを設置する領域が
必要であり、さらに、タブレットストッカ４ａ，４ｂ交
換のために、ストッカテーブル５を平面内で回転駆動す
る機構と領域が必要となり、装置が大型化し、機構が複
雑になると共に装置コストも増加する。
数個のタブレットストッカ４ａ，４ｂを設置する領域が
必要であり、さらに、タブレットストッカ４ａ，４ｂ交
換のために、ストッカテーブル５を平面内で回転駆動す
る機構と領域が必要となり、装置が大型化し、機構が複
雑になると共に装置コストも増加する。
(ｃ)前記チャック３へのタブレット２の供給位置が限定
されるため、装置領域の利用効率が悪い。
されるため、装置領域の利用効率が悪い。
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的は、
タブレットストッカの複数を備えたタブレット供給装置
を、小形且つ構成の簡単なものとして提供すると共に、
タブレットサイズの変更にも簡単に対応し得るものとし
て提供することにある。
タブレットストッカの複数を備えたタブレット供給装置
を、小形且つ構成の簡単なものとして提供すると共に、
タブレットサイズの変更にも簡単に対応し得るものとし
て提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明のタブレット供給装置は、固定状態としたプレー
ト上に立設状態に固定された複数のタブレットストッカ
であり、前記各タブレットストッカは、その内部に、半
導体装置の樹脂封止に使用するほぼ円筒状の樹脂タブレ
ットの複数を横向きにして上下に積み重ねた状態で収納
可能であり、下端に外部に開口したタブレット取出口を
有する、複数のタブレットストッカと、 前記各タブレットストッカに対応して設けられ、前記各
タブレットストッカ中の前記タブレットを下動させて１
つ宛外部に取り出すタブレット取出機構であって、最下
端の前記タブレットをそれが前記取出口より下方に突出
した状態にその下方から下側側面を支えて最下端のタブ
レット及びそれに重った他のタブレットの落下を防止す
る阻止位置と、前記最下端のタブレットを解放して最下
端のタブレット及びそれに重った他のタブレットの下方
への移動を許容する解放位置とを、駆動装置によって切
り換え可能に採り得るストッパ本体を備えた、タブレッ
ト取出機構と、 前記タブレット取出機構の任意のものとタブレットチャ
ックとの間の往復可能に設けられ、且つ前記タブレット
機構の任意のものの下方においてそのタブレット機構に
対して接離すべく上下動可能に設けられ、前記タブレッ
ト取出機構のあるものによって１つ宛取り出した前記タ
ブレットを大きさに拘わりなく載置するための、横断面
が略Ｖ字状の上方が開放したタブレット載置面を有し、
そのタブレット載置面に載置したタブレットをガイドに
そって前記タブレットチャックに向けて搬送し、その載
置及び搬送を前記タブレットストッカのあるものについ
て繰り返した後他のものについて順次繰り返す搬送駆動
機構を有するタブレット受であって、前記ストッパ本体
によって前記取出口から下方に突出した状態に支持され
た最下端のタブレットの下面を、下方から上動して支持
し、前記ストッパ本体の解放位置への切り換わりに伴っ
て下動し、前記ストッパ本体が下から２番目のタブレッ
トに当接してそのタブレット及びそれよりも上方のタブ
レットの下動を阻止する阻止位置への切り換わりに伴っ
て最下端のタブレットのみを前記タブレット取出機構か
ら受け取る、タブレット受と、 を備えたものとして構成される。
ト上に立設状態に固定された複数のタブレットストッカ
であり、前記各タブレットストッカは、その内部に、半
導体装置の樹脂封止に使用するほぼ円筒状の樹脂タブレ
ットの複数を横向きにして上下に積み重ねた状態で収納
可能であり、下端に外部に開口したタブレット取出口を
有する、複数のタブレットストッカと、 前記各タブレットストッカに対応して設けられ、前記各
タブレットストッカ中の前記タブレットを下動させて１
つ宛外部に取り出すタブレット取出機構であって、最下
端の前記タブレットをそれが前記取出口より下方に突出
した状態にその下方から下側側面を支えて最下端のタブ
レット及びそれに重った他のタブレットの落下を防止す
る阻止位置と、前記最下端のタブレットを解放して最下
端のタブレット及びそれに重った他のタブレットの下方
への移動を許容する解放位置とを、駆動装置によって切
り換え可能に採り得るストッパ本体を備えた、タブレッ
ト取出機構と、 前記タブレット取出機構の任意のものとタブレットチャ
ックとの間の往復可能に設けられ、且つ前記タブレット
機構の任意のものの下方においてそのタブレット機構に
対して接離すべく上下動可能に設けられ、前記タブレッ
ト取出機構のあるものによって１つ宛取り出した前記タ
ブレットを大きさに拘わりなく載置するための、横断面
が略Ｖ字状の上方が開放したタブレット載置面を有し、
そのタブレット載置面に載置したタブレットをガイドに
そって前記タブレットチャックに向けて搬送し、その載
置及び搬送を前記タブレットストッカのあるものについ
て繰り返した後他のものについて順次繰り返す搬送駆動
機構を有するタブレット受であって、前記ストッパ本体
によって前記取出口から下方に突出した状態に支持され
た最下端のタブレットの下面を、下方から上動して支持
し、前記ストッパ本体の解放位置への切り換わりに伴っ
て下動し、前記ストッパ本体が下から２番目のタブレッ
トに当接してそのタブレット及びそれよりも上方のタブ
レットの下動を阻止する阻止位置への切り換わりに伴っ
て最下端のタブレットのみを前記タブレット取出機構か
ら受け取る、タブレット受と、 を備えたものとして構成される。
（作 用） 各タブレットストッカは位置が固定された状態に設けら
れている。それらのストッカには、半導体装置の樹脂封
止に使用するほぼ円筒状の樹脂製のタブレットの複数
が、横向きにして上下に積み重ねた状態で収納されてい
る。それらのストッカの下端のタブレット取出口から、
タブレットが、タブレット取出機構によって、１の宛取
り出される。取り出されたタブレットはその大きさに拘
わりなくタブレット受上に載置され、タブレットチャッ
クに搬送される。以上の動作がタブレットストッカのあ
るものについて繰り返され、その後他のタブレットスト
ッカについて順次繰り返される。
れている。それらのストッカには、半導体装置の樹脂封
止に使用するほぼ円筒状の樹脂製のタブレットの複数
が、横向きにして上下に積み重ねた状態で収納されてい
る。それらのストッカの下端のタブレット取出口から、
タブレットが、タブレット取出機構によって、１の宛取
り出される。取り出されたタブレットはその大きさに拘
わりなくタブレット受上に載置され、タブレットチャッ
クに搬送される。以上の動作がタブレットストッカのあ
るものについて繰り返され、その後他のタブレットスト
ッカについて順次繰り返される。
上記タブレットストッカからのタブレットの取り出しに
おいては、タブレットはその大きさに拘りなく、且つ破
損、損傷することなくタブレット受に渡されて、タブレ
ットチャックへ搬送される。即ち、タブレットストッカ
内のタブレットは、ストッパ本体によって、最下端のタ
ブレットがタブレット取出口よりも下方に突出した状態
に支持されている。この状態において、タブレット受は
タブレット取出機構の下方から上動して最下端のタブレ
ットの下面を支持する。この後、ストッパ本体は解放位
置に切り換わる。この切り換わりに伴って、タブレット
はタブレット受に支えられているものの、タブレット受
と共に下動可能な状態となる。この後、タブレット受は
最下端のタブレットを支えたままタブレットストッカ内
の複数のタブレットと共に下動する。この後、ストッパ
本体が阻止位置に切り換わり、下から２番目のタブレッ
トを阻止する。これにより、下から２番目のタブレット
及びその上の複数のタブレットも下動を阻止される。こ
の後、タブレット受は、先に受け取った最下端のタブレ
ットのみをタブレットチャックへ向けて搬送する。而し
て、最下端のタブレットは取出口から下方へ突出した状
態に支持されており、且つ、タブレット受はいわゆる横
断面がＶ字状のタブレット載置面を有することから、タ
ブレットのサイズ（径）に拘わらず、タブレット受にタ
ブレットが受け渡される。
おいては、タブレットはその大きさに拘りなく、且つ破
損、損傷することなくタブレット受に渡されて、タブレ
ットチャックへ搬送される。即ち、タブレットストッカ
内のタブレットは、ストッパ本体によって、最下端のタ
ブレットがタブレット取出口よりも下方に突出した状態
に支持されている。この状態において、タブレット受は
タブレット取出機構の下方から上動して最下端のタブレ
ットの下面を支持する。この後、ストッパ本体は解放位
置に切り換わる。この切り換わりに伴って、タブレット
はタブレット受に支えられているものの、タブレット受
と共に下動可能な状態となる。この後、タブレット受は
最下端のタブレットを支えたままタブレットストッカ内
の複数のタブレットと共に下動する。この後、ストッパ
本体が阻止位置に切り換わり、下から２番目のタブレッ
トを阻止する。これにより、下から２番目のタブレット
及びその上の複数のタブレットも下動を阻止される。こ
の後、タブレット受は、先に受け取った最下端のタブレ
ットのみをタブレットチャックへ向けて搬送する。而し
て、最下端のタブレットは取出口から下方へ突出した状
態に支持されており、且つ、タブレット受はいわゆる横
断面がＶ字状のタブレット載置面を有することから、タ
ブレットのサイズ（径）に拘わらず、タブレット受にタ
ブレットが受け渡される。
（実施例） 第１図及び第２図は、本発明の一実施例の正面図及び側
面図である。この実施例は、タブレットストッカ２１
Ａ，２１Ｂを位置固定状態に設けておき、それらのスト
ッカ２１Ａ，２１Ｂのいずれかから、自由に移動可能な
タブレット受２３にほぼ円筒状の樹脂タブレット２２を
１つずつ落下させ、タブレット２２を受け取ったタブレ
ット受２３はそのタブレット２２を１つずつタブレット
チャック２４まで運搬してそのタブレットチャック２４
に与え、以上の動作を繰り返すようにしたものである。
面図である。この実施例は、タブレットストッカ２１
Ａ，２１Ｂを位置固定状態に設けておき、それらのスト
ッカ２１Ａ，２１Ｂのいずれかから、自由に移動可能な
タブレット受２３にほぼ円筒状の樹脂タブレット２２を
１つずつ落下させ、タブレット２２を受け取ったタブレ
ット受２３はそのタブレット２２を１つずつタブレット
チャック２４まで運搬してそのタブレットチャック２４
に与え、以上の動作を繰り返すようにしたものである。
以下に、上記実施例をより具体的に説明する。
即ち、固定状態の基板２７上にストッカプレート２８を
脚２９，２９…によって浮かした状態に取り付けてい
る。このプレート２８には、第１図において左右に走る
一直線上にタブレット取出孔３０Ａ，３０Ｂを穿設して
いる。それらの孔３０Ａ，３０Ｂに角筒状のタブレット
ストッカ２１Ａ，２１Ｂの下端を挿入固定している。こ
れらのストッカ２１Ａ，２１Ｂの下端部分を補強部材３
１Ａ，３１Ｂで補強して倒れないようにしている。上記
ストッカプレート２８には、ストッカ２１Ａ，２１Ｂの
下端からタブレット２２を１つずつ取り出すためのタブ
レット取出機構３２Ａ，３２Ｂを設けている。それらの
機構３２Ａ，３２Ｂは、タブレットストッパ３３Ａ，３
３Ｂ及びストッパ駆動用シリンダ３４Ａ，３４Ｂを備え
る。ただし、第１図にはストッパ駆動用シリンダ３４Ａ
の図示は省略している。上記タブレット取出機構３２
Ａ，３２Ｂは共に同一の構成を有し、よってタブレット
取出機構３２Ｂについて説明する。タブレット取出機構
３２Ｂのタブレットストッパ３３Ｂは、ほぼＬ形のスト
ッパ本体３５を備え、その一端をピン３６で回転可能に
枢着している。
脚２９，２９…によって浮かした状態に取り付けてい
る。このプレート２８には、第１図において左右に走る
一直線上にタブレット取出孔３０Ａ，３０Ｂを穿設して
いる。それらの孔３０Ａ，３０Ｂに角筒状のタブレット
ストッカ２１Ａ，２１Ｂの下端を挿入固定している。こ
れらのストッカ２１Ａ，２１Ｂの下端部分を補強部材３
１Ａ，３１Ｂで補強して倒れないようにしている。上記
ストッカプレート２８には、ストッカ２１Ａ，２１Ｂの
下端からタブレット２２を１つずつ取り出すためのタブ
レット取出機構３２Ａ，３２Ｂを設けている。それらの
機構３２Ａ，３２Ｂは、タブレットストッパ３３Ａ，３
３Ｂ及びストッパ駆動用シリンダ３４Ａ，３４Ｂを備え
る。ただし、第１図にはストッパ駆動用シリンダ３４Ａ
の図示は省略している。上記タブレット取出機構３２
Ａ，３２Ｂは共に同一の構成を有し、よってタブレット
取出機構３２Ｂについて説明する。タブレット取出機構
３２Ｂのタブレットストッパ３３Ｂは、ほぼＬ形のスト
ッパ本体３５を備え、その一端をピン３６で回転可能に
枢着している。
また、シリンダ３４Ｂのシリンダ本体３９がプレート２
８の下面に吊下状態に固定され、ロッド４０の先端のほ
ぼＵ字状のアーム４０ａがピン４１によりストッパ本体
３５を相互に回転可能に枢着している。従って、ロッド
４０が伸縮することにより、ストッパ本体３５はピン３
６のまわりに回転する。即ち、ストッパ本体３５は、タ
ブレット２２の落下を阻止する第１図に示した位置と、
ピン３６のまわりに反時計回り方向に回転変位してタブ
レット２２の落下を許す位置（第３図Ｃ参照）とを取り
得るようになっている。
８の下面に吊下状態に固定され、ロッド４０の先端のほ
ぼＵ字状のアーム４０ａがピン４１によりストッパ本体
３５を相互に回転可能に枢着している。従って、ロッド
４０が伸縮することにより、ストッパ本体３５はピン３
６のまわりに回転する。即ち、ストッパ本体３５は、タ
ブレット２２の落下を阻止する第１図に示した位置と、
ピン３６のまわりに反時計回り方向に回転変位してタブ
レット２２の落下を許す位置（第３図Ｃ参照）とを取り
得るようになっている。
タブレットストッカ２１Ａ，２１Ｂの下方には、それか
ら受け止ったタブレット２２をタブレットチャック２４
まで運ぶタブレット受２３が設けられている。
ら受け止ったタブレット２２をタブレットチャック２４
まで運ぶタブレット受２３が設けられている。
このタブレット受２３は、横向きにされた円筒状のタブ
レット２２の周側面を安定的に受けるため、横断面がＶ
字状の溝２３ａを有している。さらに、このタブレット
受２３は、その溝２３ａの上にタブレット２２が載置さ
れた状態か否かを検出するための光学形タブレット有無
検出センサ４３を有する。そのセンサ４３は相対向する
発光部と受光部とを備え、それらの間が検知片４３ａに
よって遮断、導通されてオン、オフが切り換えられる。
その検知片４３ａは中央部分がピン４３ｂで回転可能に
軸支されている。そして、特に第３図Ａからわかるよう
に、タブレット２２がタブレット受２３上にない状態に
おいては同図Ａに破線で示すように検知片４３ａの右端
が自重により下動した状態にあって上記受発光部間を導
通してセンサ４３をオフし、一方タブレット２２がタブ
レット受２３に載置した状態においては、特に第３図Ｂ
からわかるように、検知片４３ａの左端がタブレット２
２によって押し下げられ、ピン４３ｂのまわりに回転し
て水平状態となり、検知片４３ａの右端が上記受発光部
間を遮断してセンサ４３をオンし、そのセンサ４３から
タブレット検知信号が出力されるように構成されてい
る。
レット２２の周側面を安定的に受けるため、横断面がＶ
字状の溝２３ａを有している。さらに、このタブレット
受２３は、その溝２３ａの上にタブレット２２が載置さ
れた状態か否かを検出するための光学形タブレット有無
検出センサ４３を有する。そのセンサ４３は相対向する
発光部と受光部とを備え、それらの間が検知片４３ａに
よって遮断、導通されてオン、オフが切り換えられる。
その検知片４３ａは中央部分がピン４３ｂで回転可能に
軸支されている。そして、特に第３図Ａからわかるよう
に、タブレット２２がタブレット受２３上にない状態に
おいては同図Ａに破線で示すように検知片４３ａの右端
が自重により下動した状態にあって上記受発光部間を導
通してセンサ４３をオフし、一方タブレット２２がタブ
レット受２３に載置した状態においては、特に第３図Ｂ
からわかるように、検知片４３ａの左端がタブレット２
２によって押し下げられ、ピン４３ｂのまわりに回転し
て水平状態となり、検知片４３ａの右端が上記受発光部
間を遮断してセンサ４３をオンし、そのセンサ４３から
タブレット検知信号が出力されるように構成されてい
る。
このように構成されたタブレット受２３は、第１図にお
いて上下左右方向に移動可能に構成されている。即ち、
基板２７の下面に水平駆動用モータ４４及び一対の支持
板４５，４６が取り付けられている。このモータ４４に
より車４５ａが回転させられる。この車４５ａと、支持
板４６で自由回転可能に支持された車４５ｂとの間にベ
ルト４７が掛けられている。車４５ａの回転によりベル
ト４７が水平に往復動する。そのベルト４７と一体的に
タブレット受支持体４８が、支持板４５，４６間に跨設
された水平移動用ガイド４９にガイドされて水平動す
る。その支持体４８を所定の３つの位置、即ち、タブレ
ットチャック２４の下方の第１の位置、タブレットスト
ッカ２１Ａの下方の第２の位置及びタブレットストッカ
２１Ｂの下方の第３の位置にそれぞれ停止させるため、
それらの各位置に水平位置位置決めセンサ５１Ａ〜５１
Ｃを基板２７に対して固定的に設けている。
いて上下左右方向に移動可能に構成されている。即ち、
基板２７の下面に水平駆動用モータ４４及び一対の支持
板４５，４６が取り付けられている。このモータ４４に
より車４５ａが回転させられる。この車４５ａと、支持
板４６で自由回転可能に支持された車４５ｂとの間にベ
ルト４７が掛けられている。車４５ａの回転によりベル
ト４７が水平に往復動する。そのベルト４７と一体的に
タブレット受支持体４８が、支持板４５，４６間に跨設
された水平移動用ガイド４９にガイドされて水平動す
る。その支持体４８を所定の３つの位置、即ち、タブレ
ットチャック２４の下方の第１の位置、タブレットスト
ッカ２１Ａの下方の第２の位置及びタブレットストッカ
２１Ｂの下方の第３の位置にそれぞれ停止させるため、
それらの各位置に水平位置位置決めセンサ５１Ａ〜５１
Ｃを基板２７に対して固定的に設けている。
それらの位置決めセンサ５１Ａ〜５１Ｃは、上記タブレ
ット有無検出センサ４４と同様に、光学形センサとして
構成されたもので、第２図に示すように、溝５１ａを有
する。そのセンサ５１Ａ（５１Ｂ，５１Ｃ）の溝５１ａ
内に、支持体４８の背面側に固定された位置決め片５２
が、支持体４８の水平動に伴って入り込むと、発光部５
１ｂと受光部５１ｃとの間が遮断されてセンサ５１Ａ
（５１Ｂ，５１Ｃ）が作動し、第１〜第３の位置検出信
号を出力する。それらの位置検出信号に基づいて、水平
駆動用モータ４４の回転が制御装置５０によって制御さ
れ、支持体４８（タブレット受２３）は上記第１〜第３
の位置のいずれかの位置に停止することになる。例え
ば、支持体４８を第１図に図示した第１の位置からタブ
レットストッカ２１Ｂ下の第３の位置に移動させるに
は、制御装置５０からの信号によりモータ４４が回転し
て支持体４８を右方へ移動させる。そして、やがてセン
サ５１Ｃが作動して第３の位置検出信号を出力し、制御
装置５０に伝える。これにより、制御装置５０はモータ
４４を停止させる。これにより、支持体４８はストッカ
２１Ｂ下の第３の位置に停止する。
ット有無検出センサ４４と同様に、光学形センサとして
構成されたもので、第２図に示すように、溝５１ａを有
する。そのセンサ５１Ａ（５１Ｂ，５１Ｃ）の溝５１ａ
内に、支持体４８の背面側に固定された位置決め片５２
が、支持体４８の水平動に伴って入り込むと、発光部５
１ｂと受光部５１ｃとの間が遮断されてセンサ５１Ａ
（５１Ｂ，５１Ｃ）が作動し、第１〜第３の位置検出信
号を出力する。それらの位置検出信号に基づいて、水平
駆動用モータ４４の回転が制御装置５０によって制御さ
れ、支持体４８（タブレット受２３）は上記第１〜第３
の位置のいずれかの位置に停止することになる。例え
ば、支持体４８を第１図に図示した第１の位置からタブ
レットストッカ２１Ｂ下の第３の位置に移動させるに
は、制御装置５０からの信号によりモータ４４が回転し
て支持体４８を右方へ移動させる。そして、やがてセン
サ５１Ｃが作動して第３の位置検出信号を出力し、制御
装置５０に伝える。これにより、制御装置５０はモータ
４４を停止させる。これにより、支持体４８はストッカ
２１Ｂ下の第３の位置に停止する。
上記支持体４８は、さらに、タブレット受２３を支える
ロッド５４を、上下に摺動可能に支持している。タブレ
ット受２３の上下への駆動は、支持体４８が備える上下
駆動用シリンダ５５によって行われる。即ち、そのシリ
ンダ５５のシリンダ本体５６が支持体４８に取り付けら
れ、ロッド５７がタブレット受２３に取り付けられてい
る。よって、シリンダ５５のロッド５７の伸縮に伴って
タブレット受２３が上下動する。そのタブレット受２３
を所定の２つの位置、即ち、上限位置（第３図Ｂ参照）
及び下限位置（第３図Ｅ参照）にそれぞれ停止させるた
め、磁気動作形リードスイッチ等の上限位置センサ及び
下限位置センサ（共に図示せず）をシリンダ５５の外側
に設けている。さらに、タブレット受２３が上限位置か
ら下限位置に降下する際に、決められた位置、即ち、上
限位置からタブレットの径Ｄだけ下がった位置を通過す
る際のタイミング知得するため、位置検出センサ５９を
設けている。上記センサ５９は、前記水平方向位置決め
センサ５１Ａ〜５１Ｃと同様のものである。即ち、その
センサ５９は磁気センサとして構成され、第１図Ａから
わかるように、上下方向に走る溝５９ａを有し、その溝
５９ａ内に、タブレット受２３の例えば背面に取り付け
た磁性体の位置決め片６１が、タブレット受２３の上下
動に伴って入り込むと、受発光部間が遮断されてセンサ
５９は中間位置検出信号を出力する。
ロッド５４を、上下に摺動可能に支持している。タブレ
ット受２３の上下への駆動は、支持体４８が備える上下
駆動用シリンダ５５によって行われる。即ち、そのシリ
ンダ５５のシリンダ本体５６が支持体４８に取り付けら
れ、ロッド５７がタブレット受２３に取り付けられてい
る。よって、シリンダ５５のロッド５７の伸縮に伴って
タブレット受２３が上下動する。そのタブレット受２３
を所定の２つの位置、即ち、上限位置（第３図Ｂ参照）
及び下限位置（第３図Ｅ参照）にそれぞれ停止させるた
め、磁気動作形リードスイッチ等の上限位置センサ及び
下限位置センサ（共に図示せず）をシリンダ５５の外側
に設けている。さらに、タブレット受２３が上限位置か
ら下限位置に降下する際に、決められた位置、即ち、上
限位置からタブレットの径Ｄだけ下がった位置を通過す
る際のタイミング知得するため、位置検出センサ５９を
設けている。上記センサ５９は、前記水平方向位置決め
センサ５１Ａ〜５１Ｃと同様のものである。即ち、その
センサ５９は磁気センサとして構成され、第１図Ａから
わかるように、上下方向に走る溝５９ａを有し、その溝
５９ａ内に、タブレット受２３の例えば背面に取り付け
た磁性体の位置決め片６１が、タブレット受２３の上下
動に伴って入り込むと、受発光部間が遮断されてセンサ
５９は中間位置検出信号を出力する。
上記上限、下限位置センサからの信号が制御装置５０に
伝えられ、シリンダ５５の動きが制御され、タブレット
受２３は上動中において上限位置に、及び下動中におい
て下限位置にそれぞれ停止する。また、下動中におい
て、センサ５９からの信号により、後述するように、シ
リンダ３９が制御され、ストッパ３２が開状態から閉状
態に動作する（第３図Ｄ参照）。
伝えられ、シリンダ５５の動きが制御され、タブレット
受２３は上動中において上限位置に、及び下動中におい
て下限位置にそれぞれ停止する。また、下動中におい
て、センサ５９からの信号により、後述するように、シ
リンダ３９が制御され、ストッパ３２が開状態から閉状
態に動作する（第３図Ｄ参照）。
また、上記タブレットチャック２４は、タブレット受２
３で運ばれてきたタブレット２２を挾み取る２本のアー
ム２４ａ，２４ａを有し、それらのアーム２４ａ，２４
ａが開閉動作をするように構成されている。このタブレ
ットチャック２４は、タブレット受２３上のタブレット
２２を挾み、次工程の装置又は金型ポットに向けてその
タブレット２２を送る。
３で運ばれてきたタブレット２２を挾み取る２本のアー
ム２４ａ，２４ａを有し、それらのアーム２４ａ，２４
ａが開閉動作をするように構成されている。このタブレ
ットチャック２４は、タブレット受２３上のタブレット
２２を挾み、次工程の装置又は金型ポットに向けてその
タブレット２２を送る。
次に、上記のように構成した装置の動作を説明する。先
ず、水平駆動用モータ４４によって支持体４８をストッ
カ２１Ａの下方に位置させる。その状態でシリンダ５５
によりタブレット受２３を上限位置まで上動させる。そ
の後、タブレット受２３を下限位置まで下動させる。そ
の下動の途中において、ストッパ３３Ａ，３３Ｂが開閉
動作して、タブレット受２３上にタブレット２２が１つ
載った状態で下限位置に達する。この後、タブレット受
２２をタブレットチャック２４の下方に移動させる。そ
のタブレットチャック２４はタブレット受２３上のタブ
レット２２をアーム２４ａ，２４ａで挾んで次工程の装
置に運び、これを繰り返し、タブレットストッカ２１Ａ
のタブレット２２が全てなくなったら、ストッカ２１Ｂ
タブレット２２について上記の動作を繰り返す。
ず、水平駆動用モータ４４によって支持体４８をストッ
カ２１Ａの下方に位置させる。その状態でシリンダ５５
によりタブレット受２３を上限位置まで上動させる。そ
の後、タブレット受２３を下限位置まで下動させる。そ
の下動の途中において、ストッパ３３Ａ，３３Ｂが開閉
動作して、タブレット受２３上にタブレット２２が１つ
載った状態で下限位置に達する。この後、タブレット受
２２をタブレットチャック２４の下方に移動させる。そ
のタブレットチャック２４はタブレット受２３上のタブ
レット２２をアーム２４ａ，２４ａで挾んで次工程の装
置に運び、これを繰り返し、タブレットストッカ２１Ａ
のタブレット２２が全てなくなったら、ストッカ２１Ｂ
タブレット２２について上記の動作を繰り返す。
次に、ストッカ２１Ａ（２１Ｂ）からタブレット２２を
タブレットチャック２４まで運ぶ動作について第３図Ａ
〜第３図Ｅを参照して詳細に説明する。
タブレットチャック２４まで運ぶ動作について第３図Ａ
〜第３図Ｅを参照して詳細に説明する。
第３図Ａは、タブレット受２３がタブレットをタブレッ
トチャック２４に与え、ストッカ２１Ａに戻る直前の状
態を示している。センサ４３によりタブレット２２の喪
失が検出され、タブレット受２３は、図面上右方に水平
移動し、ストッカ２１Ａの下方の第２の位置に至ったら
上動し、上限位置に達する（第３図Ｂ）。
トチャック２４に与え、ストッカ２１Ａに戻る直前の状
態を示している。センサ４３によりタブレット２２の喪
失が検出され、タブレット受２３は、図面上右方に水平
移動し、ストッカ２１Ａの下方の第２の位置に至ったら
上動し、上限位置に達する（第３図Ｂ）。
この状態においては、タブレット受２３の溝２３ａ内に
最下端のタブレット２２の下面が接し、検出片４３ａが
水平となりセンサ４３が動作する。即ち、センサ４３に
よりタブレット２２の存在が検出される。センサ４３か
らの信号が制御装置５０に伝えられる。これにより、ス
トッパ３５がピン３６のまわりに反時計回り方向に回転
させられ開放する。これにより、上記最下端のタブレッ
ト２２の支持が解かれ、全てのタブレット２２，２２…
が降下の許された状態となる（第３図Ｃ）。
最下端のタブレット２２の下面が接し、検出片４３ａが
水平となりセンサ４３が動作する。即ち、センサ４３に
よりタブレット２２の存在が検出される。センサ４３か
らの信号が制御装置５０に伝えられる。これにより、ス
トッパ３５がピン３６のまわりに反時計回り方向に回転
させられ開放する。これにより、上記最下端のタブレッ
ト２２の支持が解かれ、全てのタブレット２２，２２…
が降下の許された状態となる（第３図Ｃ）。
この状態において、タブレット受２３は降下を開始す
る。タブレット受２３と共に全てのタブレット２２，２
２…が降下する。下から２番目のタブレットが、第３図
Ａの最下端のタブレット２２の位置まで降下すると（第
３図Ｄ）、センサ５９が作動してストッパ３５が時計回
り方向に回転させられて閉じる。これにより、下から２
番目のタブレット２２はストッパ３５で支えられ、それ
よりも上のタブレット２２が降下阻止状態となる。この
後もタブレット受２３は降下し、下限位置に達する（第
３図Ｅ）。この後、タブレット受２３は図面上左方へ移
動し、第３図Ａの状態に戻る。タブレット受２３上のタ
ブレット２２はタブレットチャック２４に与えられる。
以上の動作が繰り返される。
る。タブレット受２３と共に全てのタブレット２２，２
２…が降下する。下から２番目のタブレットが、第３図
Ａの最下端のタブレット２２の位置まで降下すると（第
３図Ｄ）、センサ５９が作動してストッパ３５が時計回
り方向に回転させられて閉じる。これにより、下から２
番目のタブレット２２はストッパ３５で支えられ、それ
よりも上のタブレット２２が降下阻止状態となる。この
後もタブレット受２３は降下し、下限位置に達する（第
３図Ｅ）。この後、タブレット受２３は図面上左方へ移
動し、第３図Ａの状態に戻る。タブレット受２３上のタ
ブレット２２はタブレットチャック２４に与えられる。
以上の動作が繰り返される。
本発明の実施例によれば、以下の効果が得られる。即
ち、タブレット２２をタブレットストッカ２１Ａ，２１
Ｂの底部からタブレット受２３に取り出し、そのタブレ
ット受２３でタブレット２２をタブレットチャック２４
へ搬送する機構としたので、タブレットストッカ２１
Ａ，２１Ｂを移動する必要がなく、その移動のための機
構も領域（スペース）も不要にすることができる。さら
に、上記のようにしたことから、タブレットストッカ２
１Ａ，２１Ｂを効率的に設置できるようになり、大幅に
装置の小型化及び機構の簡略化さらには低コスト化を図
ることができる。また、タブレット受２３が移動するた
め、チャック位置による制限が少なくなり、装置領域の
効率利用が図れ、装置の小型化が図れる。さらに、タブ
レット受２３の構造をタブレット２２のサイズに対して
フレキシブルにしたので、タブレット２２のサイズが変
更しても、それに伴ってタブレット受２３やタブレット
チャック２４の部品や部材の調整、交換の必要がなく、
効率的である。
ち、タブレット２２をタブレットストッカ２１Ａ，２１
Ｂの底部からタブレット受２３に取り出し、そのタブレ
ット受２３でタブレット２２をタブレットチャック２４
へ搬送する機構としたので、タブレットストッカ２１
Ａ，２１Ｂを移動する必要がなく、その移動のための機
構も領域（スペース）も不要にすることができる。さら
に、上記のようにしたことから、タブレットストッカ２
１Ａ，２１Ｂを効率的に設置できるようになり、大幅に
装置の小型化及び機構の簡略化さらには低コスト化を図
ることができる。また、タブレット受２３が移動するた
め、チャック位置による制限が少なくなり、装置領域の
効率利用が図れ、装置の小型化が図れる。さらに、タブ
レット受２３の構造をタブレット２２のサイズに対して
フレキシブルにしたので、タブレット２２のサイズが変
更しても、それに伴ってタブレット受２３やタブレット
チャック２４の部品や部材の調整、交換の必要がなく、
効率的である。
〔発明の効果〕 本発明によれば、複数のタブレットストッカを固定状態
のプレートに対いて固定状態に設け、タブレットストッ
カの下端のタブレット取出口からタブレットをタブレッ
ト受で受け取り、そのタブレット受を、固定状態のプレ
ート及びストッカに代えて、ガイドに沿って移動可能と
したので、プレートやタブレットストッカを移動、例え
ば、回転可能とした場合に比して、タブレット供給機構
ひいては装置全体を小形で機構の簡単な安価なものとで
きる。さらに、タブレット受をタブレットの大きさに拘
わりなく受け取るようにしたので、用いるタブレットの
大きさが変った場合においても、装置の動作を止めて各
部分を調整したりすることなく動作させることができ
る。即ち、複数のタブレットを最下端のタブレットがタ
ブレット取出口より下方向に突出した状態に支持してお
き、横断面が略Ｖ字状のタブレット載置面を有するタブ
レット受を下方から上動させ、タブレット受で最下端の
タブレットの下面を支持させて最下端のタブレットをタ
ブレット受で受け取るようにしたので、タブレットの大
きさ、即ち、径に拘わりなくタブレット受で受け取るこ
とができる。さらに、最下端のタブレットをタブレット
取出口から下方へ突出した状態に支持するようにしたの
で、横断面が略Ｖ字状のタブレット載置面を有するとい
う単純な形状のタブレット受で、タブレットをその径に
直接的に拘わりなく、受け取ることができ、しかも、タ
ブレット受はその構造上タブレットの径に対しての融通
性があることから、タブレットの径が変化しても、装置
としての改変を施すことなく、そのままでタブレットを
受け取ることができる。また、タブレットストッカから
のタブレットの取り出しは、最下端のタブレットを支え
た状態でのタブレット受の下動との関係において、スト
ッパ本体を阻止位置、解放位置、阻止位置と切り換える
ことにより行うようにしたので、極めて簡単な機構によ
り且つ確実にタブレットをタブレット受に受け取ること
ができる。さらに、最下端のタブレットをタブレット受
に渡す場合にあっても、最下端のタブレット及びその上
のタブレットのいずれにも衝撃が加わることはなく、タ
ブレットの破損は極力回避される。
のプレートに対いて固定状態に設け、タブレットストッ
カの下端のタブレット取出口からタブレットをタブレッ
ト受で受け取り、そのタブレット受を、固定状態のプレ
ート及びストッカに代えて、ガイドに沿って移動可能と
したので、プレートやタブレットストッカを移動、例え
ば、回転可能とした場合に比して、タブレット供給機構
ひいては装置全体を小形で機構の簡単な安価なものとで
きる。さらに、タブレット受をタブレットの大きさに拘
わりなく受け取るようにしたので、用いるタブレットの
大きさが変った場合においても、装置の動作を止めて各
部分を調整したりすることなく動作させることができ
る。即ち、複数のタブレットを最下端のタブレットがタ
ブレット取出口より下方向に突出した状態に支持してお
き、横断面が略Ｖ字状のタブレット載置面を有するタブ
レット受を下方から上動させ、タブレット受で最下端の
タブレットの下面を支持させて最下端のタブレットをタ
ブレット受で受け取るようにしたので、タブレットの大
きさ、即ち、径に拘わりなくタブレット受で受け取るこ
とができる。さらに、最下端のタブレットをタブレット
取出口から下方へ突出した状態に支持するようにしたの
で、横断面が略Ｖ字状のタブレット載置面を有するとい
う単純な形状のタブレット受で、タブレットをその径に
直接的に拘わりなく、受け取ることができ、しかも、タ
ブレット受はその構造上タブレットの径に対しての融通
性があることから、タブレットの径が変化しても、装置
としての改変を施すことなく、そのままでタブレットを
受け取ることができる。また、タブレットストッカから
のタブレットの取り出しは、最下端のタブレットを支え
た状態でのタブレット受の下動との関係において、スト
ッパ本体を阻止位置、解放位置、阻止位置と切り換える
ことにより行うようにしたので、極めて簡単な機構によ
り且つ確実にタブレットをタブレット受に受け取ること
ができる。さらに、最下端のタブレットをタブレット受
に渡す場合にあっても、最下端のタブレット及びその上
のタブレットのいずれにも衝撃が加わることはなく、タ
ブレットの破損は極力回避される。
第１図及び第２図は本発明の一実施例の正面図及び平面
図、第１図Ａはその垂直方向位置決めセンサの一部切断
説明図、第３図Ａ〜第３図Ｅは上記実施例の動作を説明
するための部分正面図、第４図及び第５図は従来例の正
面図及び平面図である。 ２１Ａ，２１Ｂ……タブレットストッカ、２２……タブ
レット、２３……タブレット受、２４……タブレットチ
ャック、３２Ａ，３２Ｂ……タブレット取出機構。
図、第１図Ａはその垂直方向位置決めセンサの一部切断
説明図、第３図Ａ〜第３図Ｅは上記実施例の動作を説明
するための部分正面図、第４図及び第５図は従来例の正
面図及び平面図である。 ２１Ａ，２１Ｂ……タブレットストッカ、２２……タブ
レット、２３……タブレット受、２４……タブレットチ
ャック、３２Ａ，３２Ｂ……タブレット取出機構。
Claims (1)
- 【請求項１】固定状態としたプレート上に立設状態に固
定された複数のタブレットストッカであり、前記各タブ
レットストッカは、その内部に、半導体装置の樹脂封止
に使用するほぼ円筒状の樹脂タブレットの複数を横向き
にして上下に積み重ねた状態で収納可能であり、下端に
外部に開口したタブレット取出口を有する、複数のタブ
レットストッカと、 前記各タブレットストッカに対応して設けられ、前記各
タブレットストッカ中の前記タブレットを下動させて１
つ宛外部に取り出すタブレット取出機構であって、最下
端の前記タブレットをそれが前記取出口より下方に突出
した状態にその下方から下側側面を支えて最下端のタブ
レット及びそれに重った他のタブレットの落下を防止す
る阻止位置と、前記最下端のタブレットを解放して最下
端のタブレット及びそれに重った他のタブレットの下方
への移動を許容する解放位置とを、駆動装置によって切
り換え可能に採り得るストッパ本体を備えた、タブレッ
ト取出機構と、 前記タブレット取出機構の任意のものとタブレットチャ
ックとの間の往復可能に設けられ、且つ前記タブレット
機構の任意のものの下方においてそのタブレット機構に
対して接離すべく上下動可能に設けられ、前記タブレッ
ト取出機構のあるものによって１つ宛取り出した前記タ
ブレットを大きさに拘わりなく載置するための、横断面
が略Ｖ字状の上方が開放したタブレット載置面を有し、
そのタブレット載置面に載置したタブレットをガイドに
そって前記タブレットチャックに向けて搬送し、その載
置及び搬送を前記タブレットストッカのあるものについ
て繰り返した後他のものについて順次繰り返す搬送駆動
機構を有するタブレット受であって、前記ストッパ本体
によって前記取出口から下方に突出した状態に支持され
た最下端のタブレットの下面を、下方から上動して支持
し、前記ストッパ本体の解放位置への切り換わりに伴っ
て下動し、前記ストッパ本体が下から２番目のタブレッ
トに当接してそのタブレット及びそれよりも上方のタブ
レットの下動を阻止する阻止位置への切り換わりに伴っ
て最下端のタブレットのみを前記タブレット取出機構か
ら受け取る、タブレット受と、 を備えたことを特徴とする半導体装置の樹脂封止用樹脂
タブレット供給装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63242032A JPH0618219B2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 半導体装置の樹脂封止用樹脂タブレット供給装置 |
| US07/415,558 US5080552A (en) | 1988-09-27 | 1989-09-26 | Apparatus for supplying resin tablets for use in encapsulating semiconductor device |
| KR1019890013913A KR960009981B1 (ko) | 1988-09-27 | 1989-09-27 | 반도체장치의 수지밀봉용 수지태블릿 공급장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63242032A JPH0618219B2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 半導体装置の樹脂封止用樹脂タブレット供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0289328A JPH0289328A (ja) | 1990-03-29 |
| JPH0618219B2 true JPH0618219B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=17083257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63242032A Expired - Lifetime JPH0618219B2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 半導体装置の樹脂封止用樹脂タブレット供給装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5080552A (ja) |
| JP (1) | JPH0618219B2 (ja) |
| KR (1) | KR960009981B1 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1237307B (it) * | 1989-11-30 | 1993-05-27 | Prima Ind Spa | Dispositivo trasferitore di materiali in foglio. |
| JP3293004B2 (ja) * | 1993-08-31 | 2002-06-17 | コニカ株式会社 | 感光材料処理装置 |
| US5634764A (en) * | 1994-08-12 | 1997-06-03 | Replogle; Charles R. | Workpiece placement system and method having a vacuum holding the workpiece |
| US5925384A (en) * | 1997-04-25 | 1999-07-20 | Micron Technology, Inc. | Manual pellet loader for Boschman automolds |
| TW509615B (en) * | 2000-04-21 | 2002-11-11 | Apic Yamada Corp | Resin molding machine and resin tablet feeding machine |
| ES2742148T3 (es) * | 2015-07-18 | 2020-02-13 | Hoefliger Harro Verpackung | Procedimiento y dispositivo para la separación y la transferencia de gránulos |
| EP3205601A1 (en) * | 2016-02-11 | 2017-08-16 | The Procter and Gamble Company | Packaged product |
| JOP20190030A1 (ar) * | 2017-06-14 | 2019-02-26 | Grow Solutions Tech Llc | رؤوس وسيلة وضع بذور دقيقة ومكونات وسيلة وضع بذور والتي تتضمن رؤوس وسيلة وضع بذور دقيقة |
| JP6861776B1 (ja) * | 2019-10-24 | 2021-04-21 | Ｔｏｗａ株式会社 | 樹脂供給機構、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法 |
| US12272201B2 (en) * | 2020-10-14 | 2025-04-08 | Barbara Coatney | Medication dispensing systems and methods |
| JP7135186B1 (ja) * | 2021-09-15 | 2022-09-12 | Ｔｏｗａ株式会社 | 樹脂供給装置、樹脂成形システム、及び、樹脂成形品の製造方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1278771B (de) * | 1963-02-06 | 1968-09-26 | Seitz Automaten Ges Mit Beschr | Muenzausloesevorrichtung fuer Warenselbstverkaeufer |
| US3300090A (en) * | 1965-03-24 | 1967-01-24 | Carden Columbus Heard | Tablet and capsule dispenser |
| BE758569A (fr) * | 1969-11-06 | 1971-05-06 | Westinghouse Electric Corp | Portillon de distribution pour distributeurs automatiques a tablette inclinee |
| GB2111033B (en) * | 1981-10-31 | 1985-09-11 | Tdk Electronics Co Ltd | Electronic component selection and supply apparatus |
| US4623293A (en) * | 1985-02-08 | 1986-11-18 | Amp Incorporated | Apparatus for orientating elongate bodies |
| JPS6288703A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-23 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | アンロ−ダのマガジン検出装置 |
| JPS6351216A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-03-04 | Nippei Toyama Corp | 搬送用の中間ストツク装置 |
| US4739872A (en) * | 1987-03-05 | 1988-04-26 | Amsted Industries Incorporated | Automated parts handling apparatus |
| US4809881A (en) * | 1987-04-16 | 1989-03-07 | Total Tote, Inc. | Bin dispensing machine |
-
1988
- 1988-09-27 JP JP63242032A patent/JPH0618219B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-09-26 US US07/415,558 patent/US5080552A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-27 KR KR1019890013913A patent/KR960009981B1/ko not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5080552A (en) | 1992-01-14 |
| KR960009981B1 (ko) | 1996-07-25 |
| KR900005581A (ko) | 1990-04-14 |
| JPH0289328A (ja) | 1990-03-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN113526110B (zh) | 用于处理容器的设备 | |
| US3730595A (en) | Linear carrier sender and receiver | |
| JPH0618219B2 (ja) | 半導体装置の樹脂封止用樹脂タブレット供給装置 | |
| US6099230A (en) | Automated labware storage system | |
| US6186723B1 (en) | Load port | |
| EP0398044B1 (en) | Pivoting workpiece removal device | |
| CN1223499C (zh) | 薄膜袋的转运装置和方法 | |
| JPH03148423A (ja) | 自動飲料製造装置のカップ分配装置 | |
| US4236851A (en) | Disc handling system and method | |
| JP2016096192A (ja) | 物品搬送設備 | |
| CN113955206B (zh) | 一种立式/卧式一体口服液装盒机 | |
| US3998320A (en) | Plastic bottle escapement device and method | |
| JP2652480B2 (ja) | 物品の姿勢制御方法及び装置 | |
| JPH1167863A (ja) | 基板収納容器搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 | |
| JPH1187460A (ja) | 基板収納容器供給装置 | |
| KR102338408B1 (ko) | 자동 피킹 시스템 | |
| CN116417377B (zh) | 一种半导体自动封装系统的黑胶上料装置 | |
| US2371077A (en) | Operation check and control system for molding machines | |
| JPH1131729A (ja) | 基板収納容器供給装置 | |
| CN109159988B (zh) | 一种微动开关包装设备 | |
| JP2004067297A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH0350113Y2 (ja) | ||
| EP4458699A1 (en) | A packaging machine and a method for handling a container in a packaging machine | |
| JPH0776302A (ja) | 包装物の箱詰め装置 | |
| JPH09202308A (ja) | 集積物品の供給装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080309 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090309 Year of fee payment: 15 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090309 Year of fee payment: 15 |