JPH0289839U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0289839U JPH0289839U JP17052888U JP17052888U JPH0289839U JP H0289839 U JPH0289839 U JP H0289839U JP 17052888 U JP17052888 U JP 17052888U JP 17052888 U JP17052888 U JP 17052888U JP H0289839 U JPH0289839 U JP H0289839U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- semiconductor
- adsorption means
- semiconductor pellet
- sensor section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置の一実施
例を示す要部縦断面図、第２図は第１図装置にお
いてコレツトと半導体ペレツトとの水平位置ずれ
状態を示す要部縦断面図、第３図と第４図は従来
の半導体製造装置の一具体例を示す斜視図とその
要部であるアーム部とコレツトの縦断面図、第５
図は本考案の課題を示すコレツトと半導体ペレツ
トの縦断面図である。 ３……半導体ペレツト、１２……ペレツト吸着
手段、１３……センサー部。
例を示す要部縦断面図、第２図は第１図装置にお
いてコレツトと半導体ペレツトとの水平位置ずれ
状態を示す要部縦断面図、第３図と第４図は従来
の半導体製造装置の一具体例を示す斜視図とその
要部であるアーム部とコレツトの縦断面図、第５
図は本考案の課題を示すコレツトと半導体ペレツ
トの縦断面図である。 ３……半導体ペレツト、１２……ペレツト吸着
手段、１３……センサー部。
Claims (1)
- 半導体ペレツトの上方に配置されたペレツト吸
着手段と、上記ペレツト吸着手段と半導体ペレツ
トとの間の浮遊電気容量を検知して両者の水平位
置ずれを検出するセンサー部とを具備したことを
特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17052888U JPH0289839U (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17052888U JPH0289839U (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0289839U true JPH0289839U (ja) | 1990-07-17 |
Family
ID=31461557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17052888U Pending JPH0289839U (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0289839U (ja) |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP17052888U patent/JPH0289839U/ja active Pending