JPH0289U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る第１の実施例の断面図お
よび第２図は本考案に係る第２の実施例の断面図
である。 ａ…チヤンバ、ｂ…被搬送物、ｃ…制御手段、
１…浮上体、３…搬送アーム、４…突起、６…つ
ば部、７…支持機構、８…シールパイプ、１２ａ
〜１２ｄ，１３ａ〜１３ｄ…電磁石、１４…位置
センサ、１５…回転機構、１７，１７ａ…永久磁
石。

補正 昭６３．８．２５ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第１０頁第１６行目から第１７行目の「
および」を「、」と補正する。 明細書第１７行目から第１８行目の「断面図で
ある。」を「断面図、第３図は従来装置に係わる
断面斜視図である。」と補正する。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 搬送アームを有する浮上体と、 上記浮上体を浮上させるための電磁石を有し、 かつ該浮上体をシール部材を介在させて磁気浮
   上させる支持機構と、 上記磁気浮上されている前記浮上体を前記シー
   ル部材を介在させて回転させるための回転機構と
   、 前記電磁石の励磁電流を制御して前記浮上体の
   半径方向および軸方向を磁気浮上させる制御手段
   と、 からなることを特徴とする磁気浮上搬送装置。