JPH02126111U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02126111U JPH02126111U JP3454189U JP3454189U JPH02126111U JP H02126111 U JPH02126111 U JP H02126111U JP 3454189 U JP3454189 U JP 3454189U JP 3454189 U JP3454189 U JP 3454189U JP H02126111 U JPH02126111 U JP H02126111U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- measured
- light receiving
- light beam
- optical path
- Prior art date
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- Granted
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
第１図は本考案に係る顕微鏡のオートフオーカ
ス装置の実施例を示す断面図、第２図は同実施例
におけるフーコープリズム、受光素子及び検出器
を示す一部回路図を含む平面図、第３図は従来の
オートフオーカス装置を示す断面図である。 １０……光ビーム、１２……光源、１４……被
測定物、１４Ａ……被測定表面、１６Ａ〜１６Ｄ
……対物レンズ、１８……フーコープリズム、２
１〜２４……受光素子、２６……検出器、２７…
…レボルバー、２８……モード選択装置。
ス装置の実施例を示す断面図、第２図は同実施例
におけるフーコープリズム、受光素子及び検出器
を示す一部回路図を含む平面図、第３図は従来の
オートフオーカス装置を示す断面図である。 １０……光ビーム、１２……光源、１４……被
測定物、１４Ａ……被測定表面、１６Ａ〜１６Ｄ
……対物レンズ、１８……フーコープリズム、２
１〜２４……受光素子、２６……検出器、２７…
…レボルバー、２８……モード選択装置。
Claims (1)
- 光ビームを放射する光源と；被測定物の被測定
表面に対向して配置され、該被測定表面と略直交
する前記光ビームの光路上に選択的に配置され得
る複数の対物レンズと；該光ビーム光路上の対物
レンズに対して前記被測定物の反対側に配置され
、前記光ビームが前記光路を通つて前記被測定表
面に直進し、且つ、該被測定表面で反射されて形
成され、前記対物レンズを通つた反射光を複数個
所に集光させる多角錐形のフーコープリズムと；
このフーコープリズムの多角形面の各辺に対向し
た位置に配置され、且つ、該位置は前記複数の異
なる対物レンズを介して反射光が集光される複数
の光スポツトの位置に対応して、前記各辺毎に異
なるものとされた複数の受光素子と；これら受光
素子上の前記反射光の光スポツト位置変化に基づ
く出力信号の変化により、合焦点を検出する検出
器と；前記複数の対物レンズを選択する手段に連
動され、選択された１の対物レンズに対応する受
光素子を、前記複数の受光素子から選択して該受
光素子の出力信号を検出器に送るモード選択装置
と；を有してなる顕微鏡のオートフオーカス装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3454189U JPH089697Y2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 顕微鏡のオートフオーカス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3454189U JPH089697Y2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 顕微鏡のオートフオーカス装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02126111U true JPH02126111U (ja) | 1990-10-17 |
| JPH089697Y2 JPH089697Y2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=31539102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3454189U Expired - Fee Related JPH089697Y2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 顕微鏡のオートフオーカス装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH089697Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP3454189U patent/JPH089697Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH089697Y2 (ja) | 1996-03-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |