JPH0293182A - シート型の流量制御弁 - Google Patents

シート型の流量制御弁

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JPH0293182A
JPH0293182A JP24346588A JP24346588A JPH0293182A JP H0293182 A JPH0293182 A JP H0293182A JP 24346588 A JP24346588 A JP 24346588A JP 24346588 A JP24346588 A JP 24346588A JP H0293182 A JPH0293182 A JP H0293182A
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勇作 野沢
Masahiko Shimotori
下鳥 正彦
Kazumasa Yuasa
一正 湯浅
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はシート型の流量制御弁に係わり、特にパイロッ
ト弁の変位に応じてシート型主弁の変位を比例制御する
シート型の流量制御弁に関する。
〔従来の技術〕
油圧制御装置を用いた機械、例えば油圧ショベル等の建
設機械では、機器のコンパクト化及びエネルギー伝達効
率の改良のため高圧化を自損している。しかしながら、
高圧化に伴い油圧機器の摺動間隙からの漏れか増加する
ため、従来スプール弁を用いて方向切換弁を構成してい
たのに対し、流量制御弁としてシート弁を複数個用いて
従来のスプール式方向切換弁の代替えとする試みがなさ
れている。例えば特許出願公表昭58−501781号
においては、シート型の主弁の背面側に主弁を閉弁方向
に付勢する制御室を設け、該制御室を主弁の変位に応じ
て開度を変化させる可変絞りを介して主弁入口側に連絡
すると共に、該制御室を主弁出口側にパイロット通路を
介して連絡し、該パイロット通路にパイロット弁を配置
し、パイロット弁の変位に応じて主弁の変位を比例制御
するようにしている。しかしながら方向切換弁を構成す
るためシート弁を複数個用いることは機器の構成が複雑
になるばかりでなく、価格の面でも大きな問題を抱えて
いる。従って、個々のシート弁が単なる流量制御弁とし
ての機能だけでなく、種々の機能が与えられるならば好
都合である。上記出願公表では、このような観点から、
さらにパイロット弁と制御室間のパイロット通路部分に
制御弁を配置し、この制御弁の作用により圧力部M機能
を付与することか提案されている。
〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら上記従来のシート弁を用いた流量制御弁で
は、付加される機能が1つに限定されているため、種々
のa能を与えるという点では要望に十分答えるものでは
なかった。また種々の機能を付与しようとした場合、構
成か複雑となるという問題があった。
本発明の目的は、簡単な構成で種々の機能を付与するこ
とのできるシー1〜型の流量制御弁を提供することであ
る。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、制御弁を主弁と共通の弁ケース内に主弁と
同軸的に収納し、制御弁の一端は制御室内に位置させ、
かつ主弁にはその背面側よりピストンを挿通し、ピスト
ンの一端には主弁内において主弁入口圧力を導くと共に
、ピストンの他端は制御弁の前記一端に当接させ、制御
弁の他端には制御室の圧力を導き、制御弁とピストンと
を一体に動くように構成したシート型の流量制御弁にお
いて、前記弁ケースに制御弁用の少なくとも1つの信号
ポートを設け、制御弁を該信号ポートから導入される信
号圧力により制御するようにすることにより達成される
〔作用〕
このように構成された本発明の流量制御弁においては、
信号ポー1〜より導入される信号圧力を適宜選択するこ
とにより、その信号圧力により制御弁の動作を制御する
ことができる。従って、制御弁の作用により圧力補償機
能だけでなく、選択されな信号圧力に応じたその他の機
能を付与することができる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
まず、本発明の理解を容易にするため、本発明の基礎と
なったシート型の流量制御弁を第3図により説明する。
この流量#J御弁は、前述した特許出願公表昭58−5
01781号に記載の圧力補償機能を付与した流1制御
弁のシート弁と制御弁とを一体化したものである。  
/ 第3図において、弁ケース1内には摺動自在にシート型
の主弁即ちシート弁2が挿入され、シート弁2の背面側
にはシート弁2を閉弁方向に付勢する制御室3が形成さ
れている。制御室3は、シート弁2内に形成された連通
路4及び弁ケース1とシート弁2とにより形成されシー
ト弁2の変位に応じて開度を変化させる可変絞り5を介
してシート弁2の入口ポート6に連絡している。また制
御室3はパイロット通路7を介してパイロット弁8の入
口側に連絡し、パイロット弁8の出口側はパイロット通
路9を介してシート弁2の出口ポート10に連絡してい
る。シート弁2の弁位置Xはパイロット弁8の操作量に
対応した変位yに応じて比例制御される。シート弁2の
出口側にはメインオリフィス2Aが設けられている。
またシート弁制御室3とパイロット通路7間にはスプー
ル型の制御弁11が配置されている。この制御弁11は
、弁ケース1内にシート弁2と同軸的に摺動自在に挿入
され、その一端は制御室3内に位置し、弁ケース1の制
御室3に隣接する部分12と制御弁11の傾斜段部13
とでパイロット流量を制御する可変絞りを構成し、ここ
を通過した流量はパイ四ツ1〜ポート14を経てパイロ
ット通路7へと流れる。また制御弁11は傾斜段部13
の下流側に大径部15を有し、大径部15はパイロット
ポート14に連通ずる第1の受圧室16を画定している
6 一方、シート弁2にはその背面側よりピストン17が挿
通され、ピストン17の一端はシート弁2内において第
2の受圧室18を画定し、この受圧室18は連通路4に
連通ずる連通路19を介して入口ポート6に連絡してい
る。ピストン17の他端は制御室3内において制御弁1
1の上記一端と当接している。また制御弁11の他端は
弁ケース1内において第3の受圧室20を画定し、この
受圧室19は連通路21を介して制御室3に連絡してい
る。制御弁11の他端にはまたばね22が配置され、制
御弁11をピストン17に向けて付勢するばね力か作用
している。
シート弁2と制御弁11及びピストン17は基本的には
次のような面積関係にある。まずシート弁2は入口ポー
ト6側の入口側受圧面積をAs、出口ポート10側の出
口側受圧面積をAa、制御室3側に位置する背面の面積
をAcとする。また、ピストン17の第2の受圧室18
に面する端部の受圧面積をaS、制御弁11の反ピスト
ン側の第3の受圧室20に面する受圧面積をaC1制御
弁11の第1の受圧室16に面する大径部15の受圧面
積をaaとする。ここでシーI・弁2の入口側受圧面積
Asには弁入口圧力Psが作用し、出口側受圧面積Aa
には弁出口圧力Paか作用し、シート弁2の制御室3の
圧力Pcが作用する制御室受圧面積はAC−aSである
。そして面積As。
Aa 、ACには、 AC=AS’ +Aa        −(1)の関係
かある。またピストン17の受圧面積aSには連通路4
.19を介して弁入口圧力aSが作用し、制御弁11の
受圧面積aCには連通路21を介して制御室3の圧力p
cが作用し、受圧面積aaには、パイロット弁8が閉じ
ているときには制御室3の圧力Pcに等しいパイロット
弁8の入口圧力Pzが作用し、開いているときには圧力
PCと異なるパイロット弁8の入口圧力Pzが作用して
いる。そして面積as 、ac 、aaには、aa =
ac −as        −(2)の関係がある。
なお、圧力Pc 、Pz 、PaはPc >Pz >P
aの関係にある。またピストン17と制御弁11の互い
に当接する端部はピストン17の受圧面積aSと同じ面
積にあり、両者離れているときは制御室3の圧力pcが
作用するが、Pc >Pz >Paの関係より当接状態
が維持され、制御弁11とピストン17は一体に移動す
るので、受圧面積としては考慮する必要がない。
次に、以上のように構成された流量制御弁の動作を説明
する。
ます、パイロット弁8を操作したときのシート弁2及び
制御弁11の油圧力の釣り合いは、シート弁2に働く流
体力を近似的に省略できると考えれば、上記(1)式及
び(2)式の面積関係よりシート弁2については、 AS Ps +Aa Pa (Ac −as ) Pc +aS Ps  ・−(3
)ここで(As −as )/ (Ac −aS ) 
−にと置くと、 KPs +(1−K) Pa =Pc   −(4)制
御弁11については、 as ps +aa Pz aCPc 十kZ (zS +z) ここでkZはばね22のはね定数であり、ZSはばね2
2の取付は撓みであり、Zは制御弁11の変位である。
as/ac=Kに設計すると、上記式は以下のように変
形できる。
(KPs 十(1−K) Pa −Pc )+(1−K
) (z −Pa ) kz (zs 十z)/aC ()内は(4)式の関係からOになるので、aa aa この(5)式の左辺pz−paはパイロット弁8の前後
差圧である。即ち、パイロブ1〜弁8の前後差圧はほぼ
一定となる。
一方、シート弁2の可変絞り5を通る流量をqCとする
と、流jtqcは、 qc =Cc Wc xJ−Σi77]Ps −Pc・
・・(6) ここでCcは可変絞り5の流量係数、Wcはオリフィス
幅、gは重力加速度、γは液体の比重である。またパイ
ロット弁8を通る流量をqDとすると、流量qDは、 qD =Cp Wl) yJ 2g/rJ Pz −P
a・・・(7) ここでCpはパイロット弁8の流量係数、Wpは等価オ
リフィス幅である。上記2つの流量qc。
(10はqC=qDの関係にあるから、シート弁2の変
位Xは、 そしてシート弁2のメインオリフィス2Aを通過する流
量をQn+とすると、流量Qn+は、Qra =Crn
 Wn+ xJ 2g/rJ Ps −Pa・・・(9
) ここでC+aはメインオリフィス2Aの流量係数、WI
llは等価オリフィスである。(9)式に(8)式の関
係を代入すると、 (4)式の関係からPs −Pc −(1−K)  (
PsPa )が得られるから、上記式は以下のようにな
る。
x   Pz  −Pa  y      =−(10
)(5)式からパイロット弁8の前後差圧pz −Pa
は一定値に保たれるので、(10)式で示されるシート
弁2のメインオリフィス2Aを通過する流量Q1もほぼ
一定となる。即ち、流量Qn+は圧力補償される。
以上の流量制御弁の圧力補償機能を、シート弁2の前後
差圧ps−paとメインオリフィス2Aを通過する流量
Qn+どの関係で図示すれば第4図に示すようになる。
第4図において、範囲■はばね22の取り付は撓みZS
による制御弁11の非動作領域であり、領域■が圧力補
償機能の領域である。
このように第3図に示したシート型の流量制御弁は、パ
イロット通路に置かれた#御弁11の作用により圧力補
fil!能が付与され、かつ制御弁11はパイロット通
路に置かれているので、シート弁2が制御する流量Qr
aの大小に左右されることがない。
しかしながら、この流量制御弁は付加される機能が1つ
に限定されているため種々の機能を持たせたいという要
求を満たずものではない。本発明は、この流量制御弁に
簡単な変更を加えることにより当該要求を満たそうとす
るものである。以下、本発明の一実施例を第1図及び第
2図により説明する。図中、第3図に示す部材と同等の
部材には同じ符号をイζIしである。
第1図において、本実施例の流量制御弁には、弁ケース
1に制御弁30に対する信号ポート31が新たに付加さ
れており、制御弁30には大径部15より径の大きい第
2の大径部32が設けられ、これは信号ポート31に連
通ずる第4の受圧室33を画定している。
シート弁2内のピストン17の受圧面積は第3図に示す
基本構造のものと同じaSであり、#御弁30の大径部
15の受圧面積はaaからaa/Kに変更され、新たに
付加された大径部32の受圧面槽はaaとなっている。
そして制御弁11の第3の受圧室20に位置する反ピス
トン側端部の受圧面積は、上記3つの受圧面積as、a
a/K。
aaの総和に等しくされている。即ち、その大きさは、
a S + a a / K + a aである。これ
は、第3図に示す基本構造で用いた対応する制御弁端部
の受圧面積aCを用いて変形すると、(2)式よりaS
 +aa =aCであり、またaS/ac=になので、 K            K aC このように構成された流量制御弁において、制御弁30
の油圧力の釣り合いは次のようになる。
なお本実施例においては、制御弁30に対してばねを用
いていない。ばねを用いると、以下に解析する以外のパ
ライティーに富んだ特性が得られるが、以下の解析では
ばねを除外しておく。
as Ps +aa/KPz +aa PLaC/KP
c          ・・・(11)この(1)式を
変形すると、 (as Ps +aa Pa −ac Pc 1+aa
  (pz −Pa ) −Kaa(PS −pt )
()内はaC(KPs + (1−K)Pa −Pc 
)となるから(4)式より0となる。従って(11)式
の関係は、 aa  (Pz −Pa )=Kaa  (Ps −p
c )Pz −Pa =K (Ps −PL )   
 −(12)この(12)式と基本構造の(5)式とを
比べてみると、(5)式の場合Pz−Paがある一定値
しか取れないのに対して、(12)式の場合、PZ−P
aはPs−PLの大小で変化する。即ち、パイロット弁
8の前後差圧Pz−Paは弁入口圧力psと信号ポート
31からの信号圧力PLとの差圧によって変えることが
できる。
そこでこの流量制御弁を用いて第2図に示すような回路
を構成する。この例では、油圧アクチュエータ40,4
1を1つの油圧ポンプ42で駆動するメータイン回路側
に上記制御弁30が組み込まれた流量制御弁43.44
を用いている。そして弁43.44の信号ボー1−31
には、シャトル弁45を介して油圧アクチュエータ40
.41の負荷圧力(弁43.44の出口圧力) Pal
、 Pa2のいずれか高い圧力即ち最大負荷圧力P a
Iaxか信号圧力PLとして誘導されている。また油圧
ポンプ42の吐出量は、吐出圧力を最大負荷圧力Pan
aXよりも所定値だけ高く保持するロードセンシンダレ
ギュレータ46により制御される。
この回路を用いれば、油圧アクチュエータ4041を同
時操作する場合、油圧ポンプ42の最大吐出量の範囲内
においてはロードセンシンダレギュレータ46により差
圧Ps−PLは一定値に保持され、従って制御弁30に
より基本構造のものと同様に圧力補償機能か付与され、
油圧アクチュエータ40.41の要求流量が油圧ポンプ
42の最大吐出量より大きくなり、吐出量が不足する場
合には、差圧ps−ptが変化して小さくなり、それに
応じてパイロット弁8の前後差圧Pz −Pa1. P
za−Pa2もそれぞれ小さくなる。従って、負荷の低
い側の圧力補償機能が差圧Ps −Panaxの大小に
依存して可変化され、油圧ポンプ42の吐出量が限定さ
れていても、複数の油圧アクチュエータ40.41を同
時操作することができる。
即ち、制御弁30によりノンサチュレーション制御機能
が付与される。
本発明の第2の実施例を第5図及び第6図を参照して説
明する。図中、第3図に示す部材と同等の部材には同じ
符号を付しである。
第5図において、本実施例の流量制御弁は、第1図の実
施例と同様、制御弁50用の信号ポート51を有し、制
御弁50には信号ポート51からの信号圧力を受ける受
圧室52を画定する大径部53が設けられているが、制
御弁50はパイロット弁8の入口圧力pzを受ける大径
部15に相当する構成を有しておらず、かつ入口圧力P
zの影響を何ら受ない形状としである。また制御弁40
の反ピストン側の端部にはばね54が装着されている。
シート弁2内のピストン17の受圧面積は第3図に示す
基本構造のものと同じaSであり、制御弁50の大径部
53の受圧面積はaa、反ピストン側端部の受圧面積は
基本構造のものと同じaCである。
本実施例の場合、制御弁50の油圧力の釣り合い間係は
、 as Ps +aa PL =ac Pc +kZ  
(zs +z)・・・(13) ここでZSはばわ54の取付は撓み、kzはばね定数、
Zは制御弁50の変位である。この式を変形すると、 (aS Ps +aa Pa −aCPc ++aa 
(PL −Pa )=kz (zs 十z)()内は(
4)式から0となるから、制御弁50の動作は下記の(
14)式で与えられる。
従って、制御弁50の動作は信号圧力PLの大小に応じ
て制御される6 本流量制御弁を用いた回路例を第6図に示す。
本回路例では負荷60を有する油圧モータ61を駆動す
るものであり、油圧ポンプ62と油圧モータ61間のメ
ータイン回路に第1図に示した流量制御弁63が、油圧
モータ62とタンク64間のメータアウト回路に本実施
例の流量制御弁65か配置されている。そして弁65の
信号ポート51には、弁63の出口圧力即ち油圧モータ
61の負荷圧力Paか信号圧力P[として導かれる。な
お弁63の信号ポート31には第2図に示す回路例と同
様、油圧モータ61の負荷圧力と図示しない同時操作さ
れる油圧アクチュエータの負荷圧力のいずれか高い圧力
が導かれる。
このような回路においては、油圧モータ61の負荷60
が正の負荷として作用する場合は、負荷圧力Paは高く
なり、信号圧力PLも高くなるので、流量制御弁65の
制御弁50はフルストロークで変位し、シート弁2を大
ストロークで変位させることが可能となる。一方、負荷
6oが負の負荷の場合、油圧モータ61はポンプとして
作用し、負荷圧力Pa従って信号圧力P[は低下するの
で、制御弁50の変位は(14)式に従い変化する。即
ち、制御弁50の変位Zは小さくなる。ここで制御弁5
0の変位2とシート弁2の変位Xとの間には、(8)式
でyをZに、(Pz −Pa )を(PC−Pa)に置
き換えた関係にあるから、z O: Xの関係が得られ
る。従って、シート弁2の変位も小さくなり、弁65を
通過する流量は絞られ、油圧モータ61の排出圧力が増
加する6即ち、油圧モータ61にブレーキがかかる。
このように、制御弁50を組込んだ弁65は信号圧力P
[の大小に応じてシート弁2の変位Xが制御されること
から、いわゆるカウンターバランス弁の機能を有するこ
とになる。
なお、本実施例の流量制御弁65で制御弁5゜の前後差
圧をPc−Paとするには、パイロット弁8の開口面積
を0N−OFF的なものにしておけば良い。
本発明のさらに他の実施例を第7図及び第8図により説
明する。図中、第3図に示す部材と同等の部材には同じ
符号を付しである。本実施例は、前記2つの実施例が信
号ポート31.51を1つのみ用いたのに対して、2つ
の信号ポートを用いたものである。
即ち第7図において、本実施例の流量制御弁は弁ケース
1に制御弁70用の第1及び第2の信号ポート71.7
2を有し、制御弁70には大径部15にフランジ73を
設け、このフランジ73を挾んで、第1の信号ポート7
1からの圧力が導入される受圧室74と、第2の信号ポ
ート72からの圧力が導入される受圧室75が設けられ
ており、フランジ73の各受圧室に面する受圧面積はα
aaとする。他の構造及び受圧面積の大きさは、ばね2
2がない点を除いて第1図に示す基本構造と同じである
本実施例において、制御弁70の油圧力の釣り合い関係
は、第1の信号ポート71より導入される信号圧力をP
LI、第2の信号ポート72より導入される信号圧力を
Pt2とすると、第3図に示す基本構造の制御弁11の
釣り合い関係か(5)式で与えられることを考えると、
この式の右辺のはね力kZ zsに代わってaaa  
(Pt2  PLl)を用いれは良いので、次のように
なる。
pz −Pa =a (Pt2−PLl)   −(1
5)従って、パイロット弁8の前後差圧Pz−Paは信
号ポート72からの信号圧力PL2と信号ポート71か
らの信号圧力PLIとの差圧で変えることができる。
本流量制御弁を用いた回路例を第8図に示す。
本回路例では、油圧ポンプ80と油圧アクチュエータ8
1間のメータイン回路に第1図に示した流量制御弁82
が、油圧アクチュエータ81とタンク83間のメータア
ウト回路に本実施例の流量制御弁84が配置されている
。そして流量制御弁84の第1の信号ポート71には流
量制御弁82の出口圧力即ち油圧アクチュエータ81の
負荷圧力Paが、第2の信号ポート72には流量制御弁
82の入口圧力Psがそれぞれ信号圧力PL1. Pt
2として導かれる。なお弁82の信号ポート31には第
2図に示す回路例と同様、油圧アクチュエータ81の負
荷圧力と同時操作される図示しない油圧アクチュエータ
の負荷圧力のいずれか高い圧力が導かれる。
ところで油圧アクチュエータ81に負荷力Fが働いても
、負荷か逸走することなくかつ油圧ポンプ80側のメー
タイン回路にキャビテーションを発生しないためには、
油圧アクチュエータ81のヘッド側受圧面積をA[1、
ロッド側受圧面積をAR5油圧アクチュエータ81の流
入流量をQ流出流量をQoとすると、油圧アクチュエー
タの駆動速度Vが下記の(16)式の関係にあれば良い
v−Qi /All =Qo /AR=・(16)この
(16)式から Qo =Qi AR/AH・・・(17)今、第8図に
示す回路令において、流量制御弁82の信号ボー1−3
1に自分の出口圧力Paが最大負荷圧力として誘導され
ているものとすると、弁82のパイロット弁8の前後差
圧P zl −P aは(12)式から、 Pzl−Pa =K (Ps −Pa )従って、流入
流量Qiは(10)式から、xJ K (Psa−Pa
  )  y  −(18)即ち、油圧アクチュエータ
81の流入流量Q+は弁82の前後差圧Ps−Paとパ
イロット弁8の操作量(変位)yにより決定される。
一方、タンク圧力をPtとすると、流量制御弁84のパ
イロット弁8の前後差圧はP z2− P tは(15
)式から、 PZ2−Pt =a (Ps −Pa )また流出流量
Qoは、流量制御弁84の状態量にOのサフィックスを
付して表わすと、(10)式より、従って(18)式と
(19)式の比敦から、αの値即ちフランジ73の大き
さを適宜選択すれば(17)式の関係、即ちQo =Q
i AR/AHを得ることができる。
従って、2つの信号ポート71.72を設けた流量制御
弁84は、油圧アクチュエータ81に負荷力Fが働いて
も負荷が逸走することなくかつ油圧ポンプ80例のメー
タイン回路にキャビテーションを発生しないカウンター
バランス弁として機能することができる。
なお、以上の実施例では、シート弁と制御弁との間に、
K= (As −as )/ (Ac −aS >=a
s /ac、の関係があるとして説明したが、制御弁に
おいてはこのに値にこだわることはなく、制御べのas
/aCの値を変えることで例えば第4図には線で示すよ
うに、圧力補償領域■において一定の流量Q11に対し
、差圧Ps−Paに応じて変化する流量Q11の特性又
はQII12の特性を得ることができる。また、第1図
及び第7図の実施例では、制御弁に対しはねなしの構成
としているが、ばねを用いて他の特性を持たせることも
できる。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、少な
くとも1つの信号ポートを追加することで、弁本体を大
きく変更することなく、従来の圧力補償機能だけでなく
、例えは、複合操作を可能とするノンサヂュレーション
機能、カウンターバランス弁機能、油圧アクチュエータ
をシリンダとした場合の逸走防止機能等、種々の機能を
付与することかでき、シート弁のコメ1〜高の問題を解
消することかできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例によるシート型の流量制御弁
の断面図であり、第2図はその流量制御弁を応用した回
路例を示す回路図であり、第3図は本発明の基礎となっ
たシート型の流量制御弁の断面図であり、第4図はその
流量制御弁の機能説明図であり、第5図は本発明の他の
実施例によるシート型の流量制御弁の断面図であり、第
6図はその流量制御弁を応用した回路例を示す回路図で
あり、第7図は本発明のさらに実施例によるシート型の
流量制御弁の断面図であり、第8図はその流量制御弁を
応用した回路例を示す回路図である。 符号の説明 1・・・弁ケース     2・・・シート弁(主弁)
3・・・制御室      5・・・可変絞り6・・・
入口ポート(主弁入口側) 7.9・・・パイロット通路 8・・・パイロット弁 10・・・出口ボー1〜(主弁出口側)17・・・ピス
トン 19・・・(主弁入口圧力か導かれる)受圧室20・・
・(制御室圧力が導かれる)受圧室30 ; 50 ;
 70・・・制御弁31 ;51.71.72・・・信
号ポート33 ; 52.74.75・・・(信号圧力
が導かれる)受圧室 2つ 第 図 (Ps −Pa)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)シート型の主弁の背面側に主弁を閉弁方向に付勢
    する制御室を設け、該制御室を主弁の変位に応じて開度
    を変化させる可変絞りを介して主弁入口側に連絡すると
    共に、該制御室を主弁出口側にパイロット通路を介して
    連絡し、該パイロット通路にパイロット弁を配置し、パ
    イロット弁の変位に応じて主弁の変位を比例制御するよ
    うに構成すると共に、パイロット弁と制御室間のパイロ
    ット通路部分に制御弁を配置し、該制御弁を主弁と共通
    の弁ケース内に主弁と同軸的に収納し、制御弁の一端は
    制御室内に位置させ、かつ主弁にはその背面側よりピス
    トンを挿通し、ピストンの一端には主弁内において主弁
    入口圧力を導くと共に、ピストンの他端は制御弁の前記
    一端に当接させ、制御弁の他端には制御室の圧力を導き
    、制御弁とピストンとを一体に動くように構成したシー
    ト型の流量制御弁において、 前記弁ケースに制御弁用の少なくとも1つの信号ポート
    を設け、制御弁を該信号ポートから導入される信号圧力
    により制御するようにしたことを特徴とするシート型の
    流量制御弁。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114063658A (zh) * 2020-08-05 2022-02-18 株式会社堀场Stec 流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN114063658A (zh) * 2020-08-05 2022-02-18 株式会社堀场Stec 流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质

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