JPH029428U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH029428U JPH029428U JP8779388U JP8779388U JPH029428U JP H029428 U JPH029428 U JP H029428U JP 8779388 U JP8779388 U JP 8779388U JP 8779388 U JP8779388 U JP 8779388U JP H029428 U JPH029428 U JP H029428U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- check pattern
- integrated circuit
- view
- single crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
第１図ａ〜ｃは本考案に係るチエツクパターン
の第１の実施例を示し、そのうちａは平面図、ｂ
はａのＡ―Ａ′線に沿つた断面図、ｃはｂのＢ―
Ｂ′線に沿つた断面図、第２図ａ〜ｃは本考案に
係るチエツクパターンの第２の実施例を示し、そ
のうちａは平面図、ｂはａのＡ―Ａ′線に沿つた
断面図、ｃはｂのＢ―Ｂ′線に沿つた断面図、第
３図ａ〜ｂは従来におけるチエツクパターンを示
し、そのうちａは平面図、ｂはａのＡ―Ａ′線に
沿つた断面図、第４図はウエハ上に挿入されたチ
エツクパターンの一実施例を示す図である。 １，１１……研磨チエツクパターンの上面形状
、２……研磨チエツクパターンの底面位置、３…
…ウエハ単結晶面、４……ウエハ単結晶面研磨範
囲、５，１５……研磨チエツクパターン研磨形状
、６……ウエハ、７……チエツクパターン実装位
置、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３……研磨面に表われたチエ
ツクパターン寸法。
の第１の実施例を示し、そのうちａは平面図、ｂ
はａのＡ―Ａ′線に沿つた断面図、ｃはｂのＢ―
Ｂ′線に沿つた断面図、第２図ａ〜ｃは本考案に
係るチエツクパターンの第２の実施例を示し、そ
のうちａは平面図、ｂはａのＡ―Ａ′線に沿つた
断面図、ｃはｂのＢ―Ｂ′線に沿つた断面図、第
３図ａ〜ｂは従来におけるチエツクパターンを示
し、そのうちａは平面図、ｂはａのＡ―Ａ′線に
沿つた断面図、第４図はウエハ上に挿入されたチ
エツクパターンの一実施例を示す図である。 １，１１……研磨チエツクパターンの上面形状
、２……研磨チエツクパターンの底面位置、３…
…ウエハ単結晶面、４……ウエハ単結晶面研磨範
囲、５，１５……研磨チエツクパターン研磨形状
、６……ウエハ、７……チエツクパターン実装位
置、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３……研磨面に表われたチエ
ツクパターン寸法。
Claims (1)
- 誘電体分離構造を有する集積回路の基板作成に
さいし単結晶面の研磨工程において、研磨寸法の
チエツク用としてＶ溝の底面を凸型にした研磨チ
エツクパターンを設けたことを特徴とする集積回
路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8779388U JPH029428U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8779388U JPH029428U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH029428U true JPH029428U (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=31312389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8779388U Pending JPH029428U (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH029428U (ja) |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP8779388U patent/JPH029428U/ja active Pending