JPH0295232U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
２図は第１図スピンチヤツク６の下方斜視図、第
３図はこの考案の他の実施例を示すフアンの斜視
図、第４図は従来のレジスト塗布装置の断面図で
ある。 図において、１は下カツプ、２は上カツプ、４
は駆動モータ、５は回転軸、６はスピンチヤツク
、７はスカート、１０はウエハ、１１はフアン、
１２は取付け用ビスである。なお各図中同一符号
は同一又は相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 上端が開口した筒状の下カツプ、この下カツプ
   の開口側を覆い処理液を吐出するノズルが取付ら
   れた上カツプ、上記下カツプを貫通して上記下カ
   ツプ内に突出する回転軸、この回転軸の上端に結
   合され、上面でウエハを支持する皿状のスピンチ
   ヤツク、このスピンチヤツクを筒状で囲んで上記
   下カツプに結合され、上記ウエハの下面に上端が
   対向するスカート、このスカートの内側において
   、上記スピンチヤツク下面に結合され、径方向へ
   風を送出するフアンを備えたレジスト処理装置。