JPH0295488A - 段差のある部品の表面クリーニング機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）発明の技術分野 この発明は、ＣＣＤ　（チャージ・カップルド・デバイ
ス）などのように、段差のある部品の表面をクリーニン
グする機構についてのものである。

（ｂ）従来技術と問題点 次に、段差のある部品を第１０図と第１１図を参照して
説明する。

第１０［２の２１はＣＣＤなどの段差のある部品、２２
は表面、２３は段差である。

ＣＣＤは、像を明暗信号として取り出す撮像素子であり
、撮像素子部分の表面２２をガラス面にしている。

この表面２２に、ごみなどが付着すると、ごみの像がデ
ータとして検出されてしまうので、ＣＯＤの性能測定を
する場合や、ＣＣＤを使用する場合は、表面２２からご
みなどを取り除かなければならない。

第１０図の表面２１は、段差２３の分だけ他の部分より
引き込んだ形になっている。

第１１図の３１は第１Ｏ図の２１と同じように、ＣＣＤ
などの段差のある部品、３２は表面、３３は段差である
。第１１図の表面３２は、段差３３の分だけ他の部分よ
りとび出した形になっている。

部品２１・３１を使用する場合、簡単な方法としては、
表面２２や表面３２を綿棒などで拭き、ごみ等が付いて
いないかを確認してから部品２１・３１を測定している
。このような方法では、クリニングの度合いにばらつき
が出てくるという問題がある。

また、半導体素子のマスク基板やデスク面をクリーニン
グする装置として、特開昭０１−２０３６４３号公報、
実願昭６２−８１５４３号公報などがあるが、これらは
、回転軸に洗浄対象物を取り付け、洗浄剤を圧接させ、
洗浄対象物を回転させることにより、クリーニングをし
ている。このため、ＣＣＤなどのガラス面をクリーニン
グする場合、ガラス面以外のごみなどが逆にガラス面に
付着したり、ガラス面と表面の段差により、洗浄剤の切
れ端が逆にガラス面に付着してしまうという問題がある
。

（Ｃ）発明の目的 この発明は、ＣＣＤなとのように、段差のある部品の表
面をクリーニングする場合、この部品を複数配列して移
動し、この部品の表面にＪｌｌｉ次エア全エア付け、こ
の部品の表面にアルコールを落とし、クリーニング紙で
段差のある表面だけを拭き取るクリーニング機構により
、この部品の表面から確実にごみを取り除くことを目的
とする。

（ｄ）発明の実施例 次に、この発明による実施例の構成図を第１図に示す。

第１図の１〜４はレール、５は部品、６はクリーング紙
、７と８はローラ、９はアルコールノズル、１０はエア
ーノズル、１１と１２はリールである。

クリーニング紙６の一端は、リール１１に巻かれており
、ローラ８・７を通って、クリーニング紙６の他端は、
リール１２に巻かれている。クリニングをしていくと、
クリーニング紙６は、図示を省略した駆動機構により、
リール１１１！！！Ｉからリール１２側に巻かれていく
。

部品５は、部品５のリードなどを利用して、レール１〜
４にそれぞれ載せられており、レール１〜４は図示を省
略した駆動ｔｉ！椙により第１図の左側から右側に移動
していく。

次に、ローラ７の部分の構成図を第２図〜第５図を参照
して説明する。

ローラ８の部分についても、同じ構成である。

第２図はレール２が移動する前の部品５とローラフの関
係状態図であり、第３図はレール２が移動した後の部品
５とローラ７の関係状態図である。

第４図は、第２図または第３図の側面図であり、第５！
２Ｉは、第２図から第３図になる中間の状態の断面図で
あり、ローラ７は、第５図のように、部品５の表面５１
だけ圧接できる構造となっている。

そのために、ローラ７は図示を省略したばねなどで一定
の圧力を部品５の表面５１に加えている。

次に、第２図と第３図の拡大説明図を第６図に示す。

第６図は、ローラフの移動範囲と部品５の表面５１の関
係を示している。

ローラ７が部品５の表面５１と接触する範囲は、部品５
の端部５２から距離Ｌ１だけ中央寄りの位置と、部品５
の端部５３から距ＭＬ２だけ中央寄りの位置との間であ
る。第６図の範囲で、ローラ７が部品５の表面５１に接
すれば、クリーニング紙６が部品５の端部５２・５３に
は接触しないで移動していくことができる。

次に、部品５の移動機構説明図を第７図に示す。

レールｌは、ガイド棒１３とガイド棒１４に固定されて
おり、ガイド棒１３・１４を図示を省略した駆動機構に
より、同時に第７図の左右に移動させる。これにより、
第７図のレール１を左側から右側に移動させたり、部品
５の表面５１にだけローラ７・８が接するように、レー
ル２・３を移動させたりする。

ガイド棒１３・１４の移動につれて、部品５を次々にレ
ールに載せていけば、部品５をレール１からレール４の
方へ順に送っていくことができる。

次に、第１図の使用方法を説明する。

（ア）レール１上の部品５の表面５１にエアノズル１０
からエアを吹き付け、比較的大きいごみを吹き飛ばす。

（イ）部品５の表面５１にアルコールノズル９からアル
コールを落とす。

（つ）部品５をレール２に移動する。

（１）ローラ７を下げ、クリーニング紙６を部品５の表
面５１に密着させる。

（オ）ローラフの下で、レール２を表面５１の範囲だけ
数回、移動させ、表面５１をアルコールによりクリーニ
ングする。

（力）レール２から部品５をレール３に移動する。

（キ）ローラ８の下で、レール３を表面５１の範囲だけ
数回、移動させ、表面５１をクリーニング紙でから拭き
する。

（り）レール３の部品５をレール４へ移動する。

（ア）から（り）により、部品５の表面５１はクリニン
グされるが、（オ）により、粘着物など比較的汚れのひ
どいごみが落とされ、（キ）により、アルコールと微少
なごみが落とされる。

また、部品５をレール１からレール４へ連続的に載るよ
うにし、ローラ７の下でレール２を動かすとともに、ロ
ーラ８の下でレール３を動かずようにする。これにより
、ローラ７によるクリーニングとローラ８によるクリー
ニングを同時に進行させることができる。

次に、ローラ７・８とクリーニング紙６との関係図を第
８図と第９図に示す。

ローラ７とローラ８の定寸送り距離をＸ、ローラ７とロ
ーラ８の距離をｙとし、クリーニング紙６のローラ７と
ローラ８の間の距駈をＡ〜Ｅとする。

クリーニングが終るごとに、クリーニング紙６を移動さ
せれば、ローラ７・８へは、常に新しいクリーニング紙
６を供給することができる。

ｆｅ）発明の効果 この発明によれば、次のような効果がある。

（ア）ローラ形状のクリーニング紙を段差のある部品の
表面にだけ圧接させることができる。

しかも、部品をクリーニングするときに、移動させるレ
ールが部品の表面の範囲の長さ分だけ移動するため、確
実に表面だけを拭き取ることができる。

（イ）同じクリーニング紙上に、ローラを２箇所で接触
させ、アルコールによるクリーニングと、から拭きをす
るため、クリーニング紙を２個必要としないので、装置
を小型にすることができる。

（つ）エアーの吹き付けで比較的大きいごみを取り、ア
ルコールによるクリーニングで粘着物など汚れのひどい
ごみを取り、さらに、から拭きで、アルコールと微小ご
みを収るので、大きいごみ、粘着物、微小ごみなどを＋
（＋ｒｉ序よく、確実に取り除くことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による実施例の構成図、第２図〜第５
図はローラ７の部分の構成図、第６図は第２図と第３図
の拡大Ｊｊ２明図、第７図は部品５の移動機構説明図、
第８図と第９図はローラ７・８とクリーニング紙６との
関係図、第１０図と第１１図は段差のある部品の説明図
である。 １〜４・・・・・・レール、５・・・・・・部品、６・
・・・・・クリーニング紙、７・８・・・・・・ローラ
、９・・・・・・エアノズル、１０・・・・・・アルコ
ールノズル、１１・１２・・・・・・リール、１３・１
４・・・・・・ガイド棒、５１・・・・・・表面。 代理人　　弁理士　　小　俣　欽　司 第 図 第 図 第 図 第 凹 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、エアノズル（１０）とアルコールノズル（９）を配
   置した第１のレール（１）と、 第１のローラ（７）の下に配置される第２のレール（２
   ）と、 第２のローラ（８）の下に配置される第３のレール（３
   ）と、 第１のレール（１）、第２のレール（２）、第３のレー
   ル（３）を同時に移動させるガイド棒（１３）・（１４
   ）と、 一端を第１のリール（１１）に接続され、第２のローラ
   （８）から第１のローラ（７）をとおり、他端を第２の
   リール（１２）に接続され、第１のリール（１１）から
   第２のリール（１２）に送られるクリーニング紙（６）
   とを備え、 段差のある部品（５）を第１のレール（１）に載せ、エ
   アノズル（１０）からのエアで部品（５）の表面（５１
   ）を吹き、アルコールノズル（９）からアルコールを部
   品（５）の表面（５１）に落とし、第２のレール（２）
   を前後動させ、第１のローラ（７）でクリーニング紙（
   ６）を部品（５）の表面（５１）に接触させ、第３のレ
   ール（３）を前後動させ、第２のローラ（８）でクリー
   ニング紙（６）を部品（５）の表面（５１）に接触させ
   ることを特徴とする段差のある部品の表面クリーニング
   機構。