JPH029570A - 両面ラッピングマシンにおける加工方法 - Google Patents
両面ラッピングマシンにおける加工方法Info
- Publication number
- JPH029570A JPH029570A JP63160532A JP16053288A JPH029570A JP H029570 A JPH029570 A JP H029570A JP 63160532 A JP63160532 A JP 63160532A JP 16053288 A JP16053288 A JP 16053288A JP H029570 A JPH029570 A JP H029570A
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- planetary gear
- gear
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、上下にラップ定盤を備えた両面ラッピング
マシンにおける加工方法に関する。
マシンにおける加工方法に関する。
従来の技術および発明の課題
両面ラッピングマシンとして、下部ラップ定盤、上部ラ
ップ定盤、これらのラップ定盤の中心に配置された太陽
歯車、ラップ定盤の周囲に配置された内歯歯車および太
陽歯車と内歯歯車の間に配置された遊星歯車を備え、遊
星歯車またはこれと一体に回転する部分にワークが取付
けられ、太陽歯車と内歯歯車の相対的な回転による遊星
歯車の自転および公転ならびに上下のラップ定盤の回転
によりワークの両面の加工が行われるものが知られてい
る。
ップ定盤、これらのラップ定盤の中心に配置された太陽
歯車、ラップ定盤の周囲に配置された内歯歯車および太
陽歯車と内歯歯車の間に配置された遊星歯車を備え、遊
星歯車またはこれと一体に回転する部分にワークが取付
けられ、太陽歯車と内歯歯車の相対的な回転による遊星
歯車の自転および公転ならびに上下のラップ定盤の回転
によりワークの両面の加工が行われるものが知られてい
る。
ところが、従来のラッピングマシンでは、上下のラップ
定盤の回転方向が常に逆方向になっており、たとえ下部
ラップ定盤側で理想的な相対回転条件が成立していても
、上部ラップ定盤側では遊星歯車の自転回転速度の分だ
け加工相対速度が異なり、理想条件と離れた加工状態と
なる。したがって、上下両面の理想的な平面加工は不可
能である。
定盤の回転方向が常に逆方向になっており、たとえ下部
ラップ定盤側で理想的な相対回転条件が成立していても
、上部ラップ定盤側では遊星歯車の自転回転速度の分だ
け加工相対速度が異なり、理想条件と離れた加工状態と
なる。したがって、上下両面の理想的な平面加工は不可
能である。
この発明の目的は、上記の問題を解決し、上下両面の理
想的な加工が可能な両面ラッピングマシンにおける加工
方法を提供することにある。
想的な加工が可能な両面ラッピングマシンにおける加工
方法を提供することにある。
課題を解決するための手段
この発明による加工方法は、
下部ラップ定盤、上部ラップ定盤、これらのラップ定盤
の中心に配置された太陽歯車、ラップ定盤の周囲に配置
された内歯歯車および太陽歯車と内歯ｍｒＬの間に配置
された遊星歯車を備え、遊星歯車またはこれと一体に回
転する部分にワークが取付けられ、太陽歯車と内歯歯車
の相対的な回転による遊星歯車の自転および公転ならび
に上下のラップ定盤の回転によりワークの両面の加工が
行われる両面ラッピングマシンにおいて、 上下のラップ定盤を同じ方向にほぼ等しい速度で回転さ
せ、かつ遊星歯車の公転に対するラップ定盤の相対回転
の方向および速度を遊星歯車の自転の方向および速度と
ほぼ等しくして、ワークの両面を加工することを特徴と
するものである。
の中心に配置された太陽歯車、ラップ定盤の周囲に配置
された内歯歯車および太陽歯車と内歯ｍｒＬの間に配置
された遊星歯車を備え、遊星歯車またはこれと一体に回
転する部分にワークが取付けられ、太陽歯車と内歯歯車
の相対的な回転による遊星歯車の自転および公転ならび
に上下のラップ定盤の回転によりワークの両面の加工が
行われる両面ラッピングマシンにおいて、 上下のラップ定盤を同じ方向にほぼ等しい速度で回転さ
せ、かつ遊星歯車の公転に対するラップ定盤の相対回転
の方向および速度を遊星歯車の自転の方向および速度と
ほぼ等しくして、ワークの両面を加工することを特徴と
するものである。
作 用
上下のラップ定盤が同じ方向にほぼ同じ速度で回転する
ので、ワークの上下両面の加工状態がほぼ同じになる。
ので、ワークの上下両面の加工状態がほぼ同じになる。
また、遊星歯車の公転に対する上下のラップ定盤の相対
回転の方向および速度が遊星歯車の自転の方向および速
度とほぼ等しいので、後に詳述するように、遊星歯車と
一体に回転するワークの各部分においてラップ定盤との
相対速度の平均値がほぼ等しくなり、理想的な平面加工
が行われる。
回転の方向および速度が遊星歯車の自転の方向および速
度とほぼ等しいので、後に詳述するように、遊星歯車と
一体に回転するワークの各部分においてラップ定盤との
相対速度の平均値がほぼ等しくなり、理想的な平面加工
が行われる。
実 施 例
以下、図面を参照して、この発明の１実施例を説明する
。
。
第１図は、両面ラッピングマシンの主要部を概略的に示
す。
す。
両面ラッピングマシンは、上下のラップ定盤（１０）（
１１）、太陽歯車（１２）、内歯歯車（１３）および遊
星歯車（１４）を備えている。
１１）、太陽歯車（１２）、内歯歯車（１３）および遊
星歯車（１４）を備えている。
下部ラップ定盤（下部定盤） （１１）は、上向きに配
置されている。
置されている。
上部ラップ定盤（上部定盤） （１０）は、下部定盤（
１１）の上方に下向き対向状に配置されている。
１１）の上方に下向き対向状に配置されている。
太陽歯車（１２）は、上下の定盤（１０）＜１１）の間
の中心に同心状に配置されている。
の中心に同心状に配置されている。
内歯歯車（１３）は、上下の定盤（１０） （１１）の
間の周囲に同心状に配置されている。
間の周囲に同心状に配置されている。
遊星歯車（１４）は、上下の定盤（１０）（１１）の間
で太陽歯車（１２）と内歯歯車（１３）の間に配置され
て、これらとかみ合っている。Ｊ足歯車（１４）には、
ワーク収容ポケット（穴） （１５）が形成され、この
ポケット（１５）にワーク（１６）が入れられて、その
上下両面が遊星歯車（１４）から上下に出ている。
で太陽歯車（１２）と内歯歯車（１３）の間に配置され
て、これらとかみ合っている。Ｊ足歯車（１４）には、
ワーク収容ポケット（穴） （１５）が形成され、この
ポケット（１５）にワーク（１６）が入れられて、その
上下両面が遊星歯車（１４）から上下に出ている。
定盤（１０）（１１）、太陽歯車（１２）および内ｍ歯
車（１３）は、適宜な駆動手段により、互いに独立して
、または相互に関連して回転させられる。
車（１３）は、適宜な駆動手段により、互いに独立して
、または相互に関連して回転させられる。
次に、上記のラッピングマシンによる加工方法すなわち
この発明による方法の１例を説明する。
この発明による方法の１例を説明する。
まず、上下の定盤（１０）（１１）を同じ方向に等しい
速度で回転させる。また、遊星歯車（１４）の公転に対
する定盤（１０）（１１）の相対回転の方向（以下単に
相対回転方向という）および速度（以下単に相対回転速
度という）を遊星歯車（１４）の自転の方向および速度
と等しくする。
速度で回転させる。また、遊星歯車（１４）の公転に対
する定盤（１０）（１１）の相対回転の方向（以下単に
相対回転方向という）および速度（以下単に相対回転速
度という）を遊星歯車（１４）の自転の方向および速度
と等しくする。
このようにすると、上下の定ｆｆｉ ＜１０） （Ｉｔ
）が同じ方向に同じ速度で回転するので、ワーク（１６
）の上下両面の加工状態が同じになる。また、定盤（１
０）（１１）の相対回転方向および相対回転速度がｉ１
里歯車（１４）の自転方向および自転速度と等しいので
、次に説明するように、遊星歯車（１４）と一体に回転
するワーク（１６）の各部分において定盤（１０）（１
１）との相対速度の平均値がほぼ等しくなり、理想的な
平面加工が行われる。
）が同じ方向に同じ速度で回転するので、ワーク（１６
）の上下両面の加工状態が同じになる。また、定盤（１
０）（１１）の相対回転方向および相対回転速度がｉ１
里歯車（１４）の自転方向および自転速度と等しいので
、次に説明するように、遊星歯車（１４）と一体に回転
するワーク（１６）の各部分において定盤（１０）（１
１）との相対速度の平均値がほぼ等しくなり、理想的な
平面加工が行われる。
第２図において、定盤（１０）（１１）の相対回転方向
を反時計方向、相対回転速度をＮ （ｒｐｍ）とし、遊
星歯車（１４）の自転方向を反時計方向、自転速度をｎ
（ｒｐＨ）とする。また、太陽歯車（１２）の中心０
５と遊星歯車（１４）の中心Ｏｃを通る直線上にあって
Ｏｃから外側に「だけ離れたワーク（ＩＢ）上の点をＡ
、Ｏｃから内側に「だけ離れたワーク（１６）上の点を
Ｂとし、０５からＱＣまでの距離をｒ。ＳＯ５からＡま
での距離を「９、Ｏ５からＢまでの距離をｒ９とする。
を反時計方向、相対回転速度をＮ （ｒｐｍ）とし、遊
星歯車（１４）の自転方向を反時計方向、自転速度をｎ
（ｒｐＨ）とする。また、太陽歯車（１２）の中心０
５と遊星歯車（１４）の中心Ｏｃを通る直線上にあって
Ｏｃから外側に「だけ離れたワーク（ＩＢ）上の点をＡ
、Ｏｃから内側に「だけ離れたワーク（１６）上の点を
Ｂとし、０５からＱＣまでの距離をｒ。ＳＯ５からＡま
での距離を「９、Ｏ５からＢまでの距離をｒ９とする。
ラップ加工量Ｗは、次の式（１）で表わされる。
Ｗｏ＝ｐ＊ｙ／ｌ ・・・・・・・・・（１）ここで、
ｐ （ｋｉｔ ／ ｃｉ ）はラップ圧力、ｖ （ｃｍ
／１ｎ）はラップ速度（ワーク（１６）と定盤（１０）
（１１）の相対速度）、ｔ（ｌＩｉｎ）はラップ時間で
ある。
ｐ （ｋｉｔ ／ ｃｉ ）はラップ圧力、ｖ （ｃｍ
／１ｎ）はラップ速度（ワーク（１６）と定盤（１０）
（１１）の相対速度）、ｔ（ｌＩｉｎ）はラップ時間で
ある。
式（１）より、ワークを理想平面に加工するには、加工
平面内でｐと■の積を一定にすればよく、理想平面ラッ
プ定盤ではｐは一定であるから、■の平均値（平均ラッ
プ速度）Ｖｕを一定にすればよい。
平面内でｐと■の積を一定にすればよく、理想平面ラッ
プ定盤ではｐは一定であるから、■の平均値（平均ラッ
プ速度）Ｖｕを一定にすればよい。
遊星歯車（１４）が自転していないと仮定した場合のＯ
ｃ、ＡおよびＢにおけるラップ速度（仮のラップ速度）
をそれぞれｖＣＲＮ Ｖ ＡＲおよびＶ［ｌＲとすると
、これらは次の式（２）〜（４）で表わされる。
ｃ、ＡおよびＢにおけるラップ速度（仮のラップ速度）
をそれぞれｖＣＲＮ Ｖ ＡＲおよびＶ［ｌＲとすると
、これらは次の式（２）〜（４）で表わされる。
Ｖ ＣＲ”” ２ π ｒ（φ Ｎ ・・・
・・・ ・・・ く２）ＶＡＲ””２πｒ＾ ・Ｎ
・・・・・・・・・（３）ｖ ｓＲ＝ ２ ｙｒ ｒ
Ｂ −Ｎ −−−−−−−−・（４）また、遊星歯
車（１４）が速度ｎで自転している場合のｏｃ 、Ａお
よび已におけるラップ速度（Ａのラップ速度）をそれぞ
れＶＣ％ＶＡおよびＶ３とすると、これらは次の式（５
）〜（７）で表わされる。
・・・ ・・・ く２）ＶＡＲ””２πｒ＾ ・Ｎ
・・・・・・・・・（３）ｖ ｓＲ＝ ２ ｙｒ ｒ
Ｂ −Ｎ −−−−−−−−・（４）また、遊星歯
車（１４）が速度ｎで自転している場合のｏｃ 、Ａお
よび已におけるラップ速度（Ａのラップ速度）をそれぞ
れＶＣ％ＶＡおよびＶ３とすると、これらは次の式（５
）〜（７）で表わされる。
Ｏｃにおいては、自転による速度は０であるから、
Ｃ−ＶＣＲ
−２π「ｃ −Ｎ ・・・・・・・・・（５）Ａにおい
ては、自転による速度の減少分が２πｒ’ｎであるから
、 ＶＡ−ＶＡＩ＋−２ｙｒ ｒ ｌＩｎ −２ｙｒ ｒＡｅＮ−２ｙｒ ｒ ＩＩｎ −＝（８
）Ｂにおいては、自転による速度の増加分が２πｒ’ｎ
であるから、 ＶＢ−ｖＢＲ＋２πｒ ・ｎ −２πｒａ −Ｎ＋２πｒ−ｎ ＝・（７）式（６）
および（７）より、ＶＡ−ＶＢとなるときのｎとＮの関
係を求めれば、次の式（８）のようになる。
ては、自転による速度の減少分が２πｒ’ｎであるから
、 ＶＡ−ＶＡＩ＋−２ｙｒ ｒ ｌＩｎ −２ｙｒ ｒＡｅＮ−２ｙｒ ｒ ＩＩｎ −＝（８
）Ｂにおいては、自転による速度の増加分が２πｒ’ｎ
であるから、 ＶＢ−ｖＢＲ＋２πｒ ・ｎ −２πｒａ −Ｎ＋２πｒ−ｎ ＝・（７）式（６）
および（７）より、ＶＡ−ＶＢとなるときのｎとＮの関
係を求めれば、次の式（８）のようになる。
ｎ −（ｒ、 −ｒＢ ） Ｎ／２ ｒ −・・・・
・（８）ここで、ｒａ ｒＢ−２ｒであるから、ｎ−
Ｎ ・・・・・・・・・（９） となる。
・（８）ここで、ｒａ ｒＢ−２ｒであるから、ｎ−
Ｎ ・・・・・・・・・（９） となる。
式（６）に式（９）を代入すると、
ｖＡ−２π（ｒＡ−ｒ） ・Ｎ ＝−＝−４１０）
となり、ｒＡ−ｒａｗｒ。であるから、ｖＡ′″２πｒ
Ｃ−Ｎ ｍｖｃ ・・・・・・・・・（１１）となる
。
となり、ｒＡ−ｒａｗｒ。であるから、ｖＡ′″２πｒ
Ｃ−Ｎ ｍｖｃ ・・・・・・・・・（１１）となる
。
また、式（７）に式（９）を代入すると、ｖ、−２ｘ
（ｒＢ＋ ｒ） ・Ｎ −・−−−（１２）ここで
、ｒＢ＋ｒ−ｒｃであるから、 ｖＢ１２πｒＣＩＩＮ ｍｖｃ ・・・・・・・・・（１３）
したがって、ｎｍＮとすると、 ＶＡ ｓｗｖＢ ｍｖｃとなり、ワーク（１Ｂ）上の全
ての点について、平均ラップ速度ＶＭがほぼ一定になる
。
（ｒＢ＋ ｒ） ・Ｎ −・−−−（１２）ここで
、ｒＢ＋ｒ−ｒｃであるから、 ｖＢ１２πｒＣＩＩＮ ｍｖｃ ・・・・・・・・・（１３）
したがって、ｎｍＮとすると、 ＶＡ ｓｗｖＢ ｍｖｃとなり、ワーク（１Ｂ）上の全
ての点について、平均ラップ速度ＶＭがほぼ一定になる
。
発明の効果
この発明の加工方法によれば、上述のように、上下のラ
ップ定盤が同じ方向にほぼ同じ速度で回転するので、ワ
ークの上下両面の加工状態がほぼ同じになる。また、遊
星歯車の公転に対する上下のラップ定盤の相対回転の方
向および速度が遊星歯車の自転の方向および速度とほぼ
等しいので、遊星歯車と一体に回転するワークの各部分
においてラップ定盤との相対速度の平均値がほぼ等しく
なり、理想的な平面加工が行われる。したがって、ワー
クの上下両面の理想的な加工が可能になる。
ップ定盤が同じ方向にほぼ同じ速度で回転するので、ワ
ークの上下両面の加工状態がほぼ同じになる。また、遊
星歯車の公転に対する上下のラップ定盤の相対回転の方
向および速度が遊星歯車の自転の方向および速度とほぼ
等しいので、遊星歯車と一体に回転するワークの各部分
においてラップ定盤との相対速度の平均値がほぼ等しく
なり、理想的な平面加工が行われる。したがって、ワー
クの上下両面の理想的な加工が可能になる。
第１図はこの発明の１実施例を示す両面ラッピングマシ
ン主要部の斜視図、第２図は加工の原理を説明する説明
図である。 ＜１０）・・・上部ラップ定盤、（１１）・・・下部ラ
ップ定盤、（１２）・・・太陽歯車、（１３）・・・内
歯歯車、（１４）−゛遊星歯車、（ｌＢ）・・・ワーク
。 以 特許出願人 日立造船株式会社
ン主要部の斜視図、第２図は加工の原理を説明する説明
図である。 ＜１０）・・・上部ラップ定盤、（１１）・・・下部ラ
ップ定盤、（１２）・・・太陽歯車、（１３）・・・内
歯歯車、（１４）−゛遊星歯車、（ｌＢ）・・・ワーク
。 以 特許出願人 日立造船株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 下部ラップ定盤、上部ラップ定盤、これらのラップ定盤
の中心に配置された太陽歯車、ラップ定盤の周囲に配置
された内歯歯車および太陽歯車と内歯歯車の間に配置さ
れた遊星歯車を備え、遊星歯車またはこれと一体に回転
する部分にワークが取付けられ、太陽歯車と内歯歯車の
相対的な回転による遊星歯車の自転および公転ならびに
上下のラップ定盤の回転によりワークの両面の加工が行
われる両面ラッピングマシンにおいて、 上下のラップ定盤を同じ方向にほぼ等しい速度で回転さ
せ、かつ遊星歯車の公転に対するラップ定盤の相対回転
の方向および速度を遊星歯車の自転の方向および速度と
ほぼ等しくして、ワークの両面を加工することを特徴と
する両面ラッピングマシンにおける加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63160532A JPH0661698B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 両面ラッピングマシンにおける加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63160532A JPH0661698B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 両面ラッピングマシンにおける加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH029570A true JPH029570A (ja) | 1990-01-12 |
| JPH0661698B2 JPH0661698B2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=15717006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63160532A Expired - Fee Related JPH0661698B2 (ja) | 1988-06-28 | 1988-06-28 | 両面ラッピングマシンにおける加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0661698B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5349794A (en) * | 1992-03-27 | 1994-09-27 | Shimizu Construction Co., Ltd. | Wall for damping vibration |
| US5462141A (en) * | 1993-05-07 | 1995-10-31 | Tayco Developments, Inc. | Seismic isolator and method for strengthening structures against damage from seismic forces |
| JP2010139588A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及びマスクの製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4036479Y1 (ja) * | 1965-07-03 | 1965-12-25 | ||
| JPS5847459U (ja) * | 1981-09-29 | 1983-03-30 | 株式会社リコー | ラツプ盤 |
-
1988
- 1988-06-28 JP JP63160532A patent/JPH0661698B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4036479Y1 (ja) * | 1965-07-03 | 1965-12-25 | ||
| JPS5847459U (ja) * | 1981-09-29 | 1983-03-30 | 株式会社リコー | ラツプ盤 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5349794A (en) * | 1992-03-27 | 1994-09-27 | Shimizu Construction Co., Ltd. | Wall for damping vibration |
| US5462141A (en) * | 1993-05-07 | 1995-10-31 | Tayco Developments, Inc. | Seismic isolator and method for strengthening structures against damage from seismic forces |
| US5727663A (en) * | 1993-05-07 | 1998-03-17 | Tayco Developments, Inc. | Method for strengthening structures against damage from seismic forces |
| JP2010139588A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及びマスクの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0661698B2 (ja) | 1994-08-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |