JPH0297287U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0297287U JPH0297287U JP613689U JP613689U JPH0297287U JP H0297287 U JPH0297287 U JP H0297287U JP 613689 U JP613689 U JP 613689U JP 613689 U JP613689 U JP 613689U JP H0297287 U JPH0297287 U JP H0297287U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- transport box
- case
- carrier case
- sectional
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例１を示す断面図、第２
図、第３図は第１図のＡ―Ａ′線縦断面図、第４
図は第１図の横断面透視図、第５図は本考案の実
施例２を示す縦断面図、第６図は従来例を示す縦
断面図である。 １……エアーバツグ、２……キヤリアケース、
３……運搬ケース、４……トレー、５……エアー
給排口、６……エアーパイプ、７……ガラスマス
クケース、８……ガラスマスク用キヤリアケース
。
図、第３図は第１図のＡ―Ａ′線縦断面図、第４
図は第１図の横断面透視図、第５図は本考案の実
施例２を示す縦断面図、第６図は従来例を示す縦
断面図である。 １……エアーバツグ、２……キヤリアケース、
３……運搬ケース、４……トレー、５……エアー
給排口、６……エアーパイプ、７……ガラスマス
クケース、８……ガラスマスク用キヤリアケース
。
Claims (1)
- 半導体ウエハー用キヤリアケース、マスクが収
容されたキヤリアケースを運搬するキヤリア運搬
ボツクスにおいて、運搬ボツクス内にキヤリアケ
ースを固定するためのエアーバツグを有すること
を特徴とするキヤリア運搬ボツクス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP613689U JPH0297287U (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP613689U JPH0297287U (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0297287U true JPH0297287U (ja) | 1990-08-02 |
Family
ID=31210114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP613689U Pending JPH0297287U (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0297287U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002018220A1 (en) * | 2000-08-29 | 2002-03-07 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Packaging bag for semiconductor wafer and method of packaging semiconductor wafer using the packaging bag |
-
1989
- 1989-01-23 JP JP613689U patent/JPH0297287U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002018220A1 (en) * | 2000-08-29 | 2002-03-07 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Packaging bag for semiconductor wafer and method of packaging semiconductor wafer using the packaging bag |