JPH0310124A - 真空装置形成方法及び赤外線検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空空間を保持する室を有する赤外線検出器
及び化学反応ゲッタを設は抽気した室から放出されるガ
スを捕集する真空装置（特に限定はしないが赤外線検出
器）の形成方法に関するものである。

〔従来の技術〕

イギリス国特許出願第２，１７９，７８５号には、真空
装置（例えば、リングレーザジャイロスコープのような
エレクトロン放電装置）の室内に真空空間を形成及び維
持するため、前記室の出口をなす抽気管に多孔性ゲッタ
を設けるステップ（ａ）と、前記抽気管に接続した真空
ポンプ手段により前記室を抽気して前記真空空間を形成
するステップ（ｂ）と、前記抽気管内のゲッタを加熱し
て前記ゲッタ材料を化学反応させるステップ（ｃ）と、
抽気した室から放出されるガスを捕集するよう化学反応
ゲッタを前記室の真空空間に連通させた状態にして前記
真空ポンプを分離し、室の抽気管出口をシールするステ
ップ（ｄ）とよりなる既知の真空装置形成方法について
記載している。この場合、装置を抽気するのに使用する
管状体内にゲッタを配置し、装置室内にゲッタを収納す
る試みを回避している。本明細書中にはイギリス国特許
出願第２，１７９，７８５号の全内容を参考として記載
する。

このイギリス国特許出願第２．１７９，７８５号におい
ては、管状体内にゲッタを配置するのにゲッタ装置に支
持素子を設けなければならない。個別の支持素子を設け
る必要をなくすため、イギリス国特許出願第２．１７９
．７８５号には、ゲッタとして抽気管の内面に選択的に
多孔性焼結不揮発性ゲッタ材料を電着堆積層を設けるこ
とが記載されている。ゲッタのない区域は管の内面の各
端部に存在する。

このようなゲッタは、更に、個別に支持したゲッタが衝
撃又は振動の際に必要位置から剥がれたり、破片を生じ
たりする問題をも回避することができる。

赤外線検出器については上記イギリス国特許出願第２，
１７９．７８５号には記載されていない。しかし、赤外
線検出器はデユーアニンへロープの内壁と外壁との間に
真空空間を設けることがよくある。通常内壁と外壁との
間の真空室内で内壁の端部に少なくとも１個の赤外線検
出器素子を取付ける。デリケートで小さい検出器素子は
損傷を受けないよう保護する必要があり、検出すべき赤
外線の入射を遮るものがあってはならない。内壁はクリ
オジエニック冷却素子を収納する内側室を画定し、検出
器の動作中この冷却素子により内壁端部を冷却し、従っ
て、検出器素子を冷却する。冷却された内壁は「冷却フ
ィンガ」と称されることがよくある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、赤外線検出器の故障の主な原因は、真空に晒さ
れる検出器の種々の構成部材の内部ガス放出によた内壁
と外壁との間の空間の真空状態が徐々に劣化することに
ある。内部ガス放出を少なくするため、この空間から放
出されるガス分子を捕集するよう少なくとも１個のゲッ
タを真空空間に設けることが知られている。米国特許明
細書筒３．８５１，１７３号には、デューア内に真空を
維持するためゲッタを内蔵した赤外線検出器の一例が記
載されている。不揮発性化学反応５ＡＥＳゲンタを外壁
と冷却フィンガとの間の真空空間内で外壁に取付ける。

このような化学ゲッタは抽気し、デューアエンベロープ
をシールした後高温に加熱することにより反応する。こ
のことは、デューア内の真空密シールに通過する電気接
続リード線（米国特許明細書筒３，８５１，１７３号に
は記載されていない）を有するユニットとして形成した
ゲッタ材料に埋設した電熱素子により得られる。米国特
許明細書筒４．２０６．３５４号にはこのような接続リ
ード線を有するデユーアゲツタの例が記載されている。

このタイプのゲッタと内壁との間、検出器素子と内壁に
出入りする接続部との間には何らかの保護手段が必要で
あり、さもないと反応温度によりすべての部分がダメー
ジを受けてしまう。このことは米国特許明細書筒４　、
２０６　、３５４号に記載のように、内壁の大部分を包
囲する過熱シールド部材を使用して、冷却フィンガをゲ
ッタの反応から保護するようにしている。しかし、この
ことは赤外線検出器のコストを増加させ、デューアエン
ベロープの寸法を増加させ、また通常とは異なるデュー
アエンベロープの外観となる場合もある。更に、加熱は
デューアの加熱される部分からのガス放出を含む中間生
成物を生じ、真空空間にガスを追加することにもなる。

従って、本発明の目的は、上述の問題点を解決する真空
装置形成方法及び赤外線検出器を得るにある。

〔課題を解決するための手段］ この目的を達成するため、本発明は、装置の室内に真空
空間を存する真空装置、特に限定はしないが赤外線検出
器を形成するため、前記室の出口をなす抽気管に多孔性
ゲッタを設けるステップ（ａ）と、前記抽気管に接続し
た真空ポンプ手段により前記室を抽気して前記真空空間
を形成するステップ（ｂ）と、前記抽気管内のゲッタを
加熱して前記ゲッタ材料を化学反応させるステップ（ｃ
）と、抽気した室から放出されるガスを捕集するよう化
学反応ゲッタを前記室の真空空間に連通させた状態にし
て前記真空ポンプを分離し、室の抽気管出口をシールす
るステップ（ｄ）とよりなる真空装置形成方法において
、前記ステップ（ａ）は前記ゲッタをゲッタ材料の少な
くとも１個の可動物体として前記抽気管に設けるステッ
プを有するものとし、前記反応ステップ（ｃ）は前記室
から離れた位置で前記抽気管内のゲッタ物体を加熱する
ステップを有するものとし、この後、前記可動のゲッタ
物体を前記室に近接する位置に移動させてから前記抽気
管出口をシールし、また前記抽気管出口は前記ゲッタ材
料が前記室に進入するのを防止する真空透過スクリーン
を有するものとして構成したことを特徴とする。

本発明によれば、装置内の化学反応ゲッタを少なくとも
１個の可動物体として抽気管内に比較的安価に配置する
ことができ、（支持素子又は電気接続部を有する）ゲッ
タユニットを設ける又は抽気管の内面にゲッタ材料を選
択的に堆積させる必要がない。抽気管の長さは室から離
れた位置でゲッタ物体を加熱できれば充分であり、離れ
た位置で高温反応温度を使用するため、室（及びこの室
内の検出器素子）がダメージを受けるのを防止するよう
室壁の寸法を大きくする必要はない。概してゲッタ材料
のゲッタリング能力は反応温度が高ければ高い程増加す
るため、高温を使用することが望ましい。このため、超
高温材料（例えば、溶融シリカ又はセラミック）をゲッ
タを反応させる管部分に使用する及び／又は遠く離れた
位置を使用し、反応に使用する管部分はばらのゲッタを
室に向けて移動した後には除去する。このことにより高
温反応温度を使用しかつ最終装置構体において短い（又
は突出部分のない）抽気管出口を得ることができるよう
になる。

これら特徴は種々の異なる真空装置にとって有利である
が、赤外線検出器にとって極めてコンパクトな寸法、標
準アウトライン及び低いコストを維持するのに特に有益
である。本発明によれば、ゲッタ材料を反応させ、真空
空間に晒してから抽気管を分離及びシールすることがで
きるため、反応の中間生成物を抜き取ることができる。

更に、抽気管出口におけるスクリーンによりゲッタ材料
が室に進入するのを防止する。この特徴は、検出器素子
を粒子による障害物及びダメージから保護する注意が必
要なコンパクトな赤外線検出器にとって特に有利である
。

更に、本発明によれば、検出器内に真空空間を保持する
室を具え、前記室はこの室を抽気する抽気管出口を有し
、この抽気管出口の一端を室の真空空間に連通させ、他
端をシールし、抽気した室から放出されるガスを捕集す
るよう化学反応多孔性ゲッタを前記室の真空空間に連通
させた赤外線検出器において、前記ゲッタを前記抽気管
出口に設けた化学反応ゲッタ材料の少なくとも１個の可
動物体とし、また前記抽気管出口は、前記ばらのゲッタ
物体と前記室との間に存在し、前記ゲッタ材料が前記室
に進入するのを防止する真空透過スクリーンを有するも
のとして構成したことを特徴とする。

装置を接続するにあたり、前記分離及びシールステップ
（ｄ）は、ゲッタ物体を前記反応ステップ（ｃ）で加熱
する位置よりも前記室に近い位置で前記抽気管を短縮す
るステップを有するものとして構成する。この方法によ
れば、高温反応温度に加熱するのに室から極めて離れた
位置を使用する場合でも、最終装置の管の突出長さを長
くしておくことを回避することができる。しかし、所要
に応じ、最終装置において保持される抽気管出口は室か
ら適度に離れた位置まで突出させ、また装置を傾けたと
きゲッタ物体が管に沿って移動する長さを有するものと
して構成することができ、この場合、装置の動作寿命中
この位置でそれ程高い温度ではない温度に加熱すること
によりゲッタ材料を化学的に反応又は再反応させること
ができる。

〔実施例］ 次に、図面につき本発明の好適な実施例を説明する。

図面は線図的に描いており、正確な縮尺で現してはいな
い。これら図面のいくつかの部分の相対寸法および比率
は図面を分かりやすくするため誇張したり、縮小したり
している。一方の実施例に使用した参照符号は他の実施
例の対応部分又は類似部分にも使用する。

第１図の実施例においては、ヨーロッパ特許出願ＥＰ−
Ａ−０００６２７７およびＥＰ−Ａ−００８７８２７に
記載したものと同様の赤外線検出器デューアの変更例と
して示し、このデユー７の記載を本明細書に参考として
説明する。同様に米国特許箱３，８５１，１７３号およ
び同第４，２０６，３５４号の記載についても参考資料
として本明細書中に説明する。

以下に本発明を動作させるかを理解するためには必ずし
も必要でない第１図の赤外線検出器のい（つかの部分は
図面に示さないが、既知のようにして設けるものである
。

第１図の赤外線検出器は、デユー７（二重）エンベロー
プ即ち、内壁１および外壁２を有する。

内壁１はデューアエンベロープの内側室１１を画定する
。真空空間を保持する外側室１２は内壁１と外壁２との
間に設ける。少なくとも１個の赤外線検出器素子３を、
真空空間で内壁１の端面に取付ける。検出器素子３は既
知のタイプとし、既知の方法で内壁１の端面側にサブス
トレート５例えば、サファイアに取付けることができる
。

デューアエンベロープ１．２は既知のタイプとすること
ができる。内壁１は例えば、０．５＋ｎｍの厚さのガラ
スとし、外壁２は例えば、金属とすることができる。図
面には示さないが、ガラスの内壁ｌには既知のように電
気導体を設け、この導体はガラス内壁の外面に設けるか
、又はガラス内壁内に埋設する。これら導体は電気的に
内壁１の端面に隣接する検出器素子３の電極に接続し、
内壁１の長さに沿ってまたデューアエンベローブＩ、２
の外側面に沿って延在させ、検出器との外部接続部に既
知の方法で電気的に接続する。デユー７の外壁２は端部
部分６．７を有し、この端部部分は検出器素子３の取付
けおよび接続が完了するまではデューアエンベロープ１
．２の部分にシールしない。外壁２の端面７は検出すべ
き赤外線を透過する窓を構成好く。環状の放射線シール
ド８を検出器素子３の周りに既知のようにして設ける。

検出器の動作中真空空間内の検出器の構成部材のガス放
出を減少するため、これら構成部材を既知のようにして
真空内でプリベイクしてから組立て、また組立体全体の
ベイクアウトを行ってから検出器素子３を取付ける。デ
ユー子端部部分６．７を外壁２の残りの部分にシールし
た後、内壁１と外壁２との間の室１２を抽気し、所要の
真空空間を発生させ、本発明により維持する。真空空間
を発生するのに使用するステップを以下に第３Ａおよび
３Ｂ図につき説明する。

赤外線検出器の故障の主な原因は、真空に晒される検出
器の種々の構成部材の内部ガス放出により内壁１と外壁
２との間の空間１２の真空状態が劣化することである。

赤外線検出器において生ずる過剰のガス放出は、（他の
真空装置では一般的な方法の）ポンピング中に装置全体
をベイクすることによってはガスを追い出すことはでき
ないという事実に関係する。即ち、赤外線検出器素子３
は高温では損傷を受けるためである。この真空劣化は、
冷却素子２０が（少なくとも充分に又は充分迅速に）赤
外線の充分な検出を行うのに必要な所要温度にまで検出
器素子３を冷却できない状況を引き起こすことになる。

このようにして、検出器の寿命は短縮され、特に制限さ
れた冷却パワーしか赤外線検出器に利用できないことに
なる。更に、真空空間へのガス放出はコールドフィンガ
１と検出器の外側部分２．７との間の熱経路を生じ、例
えば、常圧雰囲気における検出器の赤外線透過窓７に結
露を生ずることになる。内部ガス放出作用を減少するた
め、少なくとも１個のゲッタ３０を真空空間１２に設け
、この空間１２から発生するガス分子を捕集する。

第１図は最終製品の一実施例を示し、室１２は抽気を行
う抽気管の出口３１を有し、化学反応不揮発性ゲッタ３
０を室１２の真空空間に連通ずる管３５に配置し、抽気
した室１２から発生するガスを捕集する。

この出口３１の一端を室１２の真空空間に連通し、反対
側の端部をシールして室１２からの真空漏れを防止する
（即ち、出口３１から室１２内に外気が進入するのを防
止する）。本発明によれば、化学反応ゲツタは抽気管の
出口３１に配置した多孔性材料の少なくとも１個のばら
のゲッタ物体３０とし、出口３１にはゲッタ物体３０と
室１２との間で真空透過スクリーン３２を設け、ゲッタ
材料（物体３０又はそのかけら）が室１２に通過するの
を防止する。この構成はコンパクトであり、しかも赤外
線検出器に化学反応ゲッタ３０を組み込むのに充分なも
のである。この場合、ゲッタ３０との電気的接続のため
に真空密シールを必要とせず、またゲッタ３０に取付け
る支持素子も必要とせず、また抽気管３５の内面にゲッ
タ材料を電着堆積させる必要もない。

デューアエンベロープの内壁１は内側室１１を画定し、
この内側室１１に細長の冷却素子２０を挿入し、またこ
の内室１１に沿ってこの冷却素子２０を内壁１の端面に
向けて突出させ、既知のように検出器の動作中に検出器
素子３を冷却する。第１図の実施例の放射線シールド８
を内壁１にも取付け、冷却素子２０により冷却するよう
にする。所要に応じ、ＥＰ−Ａ−００８７８２７号の開
示技術に従って、冷却された放射線シールド８又は冷却
フィンガの任意の部分に冷却された分子シーブとして少
なくとも１個のゼオライト整形体１０を設けることによ
り真空室１２に他の（非化学的）ゲッタリング作用を付
加することもできる。

冷却素子２０は既知のタイプのタライオスタット（ｃｒ
ｙｏｓ　ｔａ　ｔ）とすることができ、例えば、ジュー
ルトンプソン効果の冷却力を利用できるように設計する
。このためには、バルブ又は他のオリフィスから加圧流
体を低圧領域に流出させることが必要になる。流体が膨
張するとき低圧領域で熱を吸収し、これにより冷却効果
を発生する。端面に隣接するデューアエンベロープ１．
２の内側室１１が低圧領域を構成する。冷却剤としての
流体は例えば、乾燥した空気、窒素、又はアルゴンとす
ることでき、この流体をマウント２１に設けた入口２２
から冷却索子２０に供給する。このマウント２１はヨー
ロッパ特許出願第ＨＰ−Ａ−０００６２９７号に記載の
ように、弾性接続部として構成し、内壁１および検出器
素子３に対する冷却素子２０の移動を制御することがで
きるようにする。

第１図のエンベロープ構成には、デユーアマラント１３
を設け、このマウント１３内にデューアエンベロープ１
．２を部分的に収納する。マウント１３には、部分的に
、特にデューアエンベロープの内壁１および外壁２の連
結部４１および検出器素子３のだめの電気的接続部の周
りに例えば、シリコンラバー１４を充填する。デューア
エンベローブ１．２をマウン目３に取付け、冷却マウン
ト２１を例えば、デユーアマラン目３にボルトで連結し
、冷却素子２０をデューア室ｌｌ内に保持する。マウン
ト構成全体は検出器の光学系のビューフィールドにおけ
る検出器素子３の好ましくない移動（特に不規則振動）
を抑制するよう設計する。第１図（および第３＾および
３Ｂ図）の実施例では、化学的ゲ・ツタは複数個のばら
の物体３０とし、検出器の移動とともに抽気管の出口３
１内で自由に動き回るものとする。しかし、ゲッタ物体
３０を有する出口３１はデユー７の外壁２に存在し、検
出器素子３を内壁１と外壁２との連結部４１から離れた
内壁１の端部に取付ける。この構成を使用したことによ
り、抽気管の出口３１におけるゲッタ物体３０の不規則
振動および他の運動があっても検出器素子３には大きな
マイクロッオニツク雑音は伝達されない。

種々の既知の化学反応ゲッタ材料をゲッタ物体３０に使
用することができる。特に好適な不揮発性ゲッタリング
材料としては、例えば、イギリス国りロイドンのサエズ
　ゲッターズ社（ＳＡＥＳ　ＧｅｔｔｅｒｓＬｉｍｉｔ
ｅｄ）および米国コロラド州スプリングのサエズ　ゲッ
ターズ／ＵＳＡから５ＡＥＳの商標名Ｓｔ　１７２　　
の下で市販されているものがある。これは、Ｚｒおよび
Ｚｒ−Ｖ−Ｐｅ合金の混合物をヘースにした多孔性焼結
構体である。Ｓｔ　１７２は機械的強度に優れ、コヒー
レントであり、吸収したガス分子の拡散性が高い。２乃
至１０分間４００″Ｃ乃至５００″Ｃの範囲の低温動作
でも良好なゲッタリング効率を有する。このゲッタ材料
Ｓｔ　１７２は種々の形式にすることができ、例えば、
ジュール加熱のための加熱素子を埋設したユニット又は
誘導加熱のための金属リング容器とすることができる。

更に、何ら支持素子又は作動のための加熱補助を必要と
しない構成簡単かつ安価な平面ペレット形式とすること
もできる。本発明によれば、この構成簡単かつ安価な平
面ベレット形式のゲッタ材料を使用することができ、し
かもコンパクトなデューアエンベロープ１．２および高
性能赤外線検出器としても両立することができる。材料
Ｓｔ　１７２は、（第１．３Ａおよび３Ｂ図に示すよう
に）焼結球形ベレット３０として、また（第２図に示す
ように）大型の焼結円筒形ペレット３０として形成する
ことができる。ゲッタ材料３０は、室１２内の捕集すべ
き残留ガスの量に従って選択することができる。小さい
室１２では、１個の大きなペレット３０で充分であり、
この状況を第２図に示す。しかじ、第１．３Ａおよび３
Ｂ図は複数個のベレット３０を使用した実施例を示す。

第３八および３Ｂ図は、ゲッタ３０を反応させる異なる
ステップを含む第１図の検出器のデューア室１２にどの
ようにして真空空間を形成するかを示す。

抽気管の出口３１は別として、第１図の検出器の構造上
の特徴を便宜上第３Ａおよび３Ｂ図において簡略化して
示す。第３八図の段階において、検出器デユー７１．２
（シール端部部分６．７を含む）を標準真空ポンプに抽
気管３５．を介して接続し、このポンプの入口管５０の
一部のみを第３Ａ図に示す。

この方法は、抽気管３５を介してポンピングすることに
より室１２を抽気して真空空間を形成するステップと、
抽気管３５を加熱してゲッタ３０を化学的に反応させる
ステップと、ポンピング後に真空ポンプを分離して抽気
管３５をシールし、室１２の抽気管出口３１から真空が
漏れるのを防止するステップとよりなる。本発明によれ
ば、ゲッタはポンピング前に抽気管３５内で移動可能な
少なくとも１個のばらの物体３０として設ける。このゲ
ッタ物体３０は、ポンピングにより室１２を抽気した後
、管３５内の室１２から離れた安全な加熱位置３６で加
熱してゲッタ材料３０を化学的に反応させる。少なくと
も１個の曲げ部３４を管３５の縦方向軸線沿って設け（
第３Ａ図参照）、管３５に沿って異なるレベルの離れた
加熱位置３６を生ずるようにする。その後、検出器デュ
ーア１．２を単に傾けるだけでゲッタ物体３０は室１２
に近接した出口部分３１に移動することができる。

第１．３Ａおよび３Ｂ図に示す出口３１の特別な構成に
おいては、真空透過スクリーン３２が、室１２から延び
る抽気管の出口３１を形成し、また真空空間にゲッタ物
体を収納する小室３３の少なくとも１個の壁である。こ
の小室３３は真空室１２における少なくとも１個の有孔
壁を有するケージの形式とすることができる。

サエズ　ゲッターズ社（英国）から供給されているＳｔ
　１７２ゲッタ物体３０は保護雰囲気のもとで缶内にシ
ールされている。室温で通常の外気に晒されると、ゲッ
タ材料の表面に薄い（保護）層が形成され、ゲッタを反
応させるためにはこの層は少なくとも部分的に除去しな
ければならない。このゲッタの反応は、第３Ａ図に示す
構成において真空状態で加熱することにより生ずる。ゲ
ッタ物体３０は管３５の部分３６に収納し、この位置は
室１２の出口部分３１よりも低いレベルに位置すること
により確実に側方に保持される。部分３６の周囲に切換
え電源■に接続した電熱コイル５３を配置する。ポンピ
ングにより室１２を抽気した後、Ｓｔ　１７２ゲッタ物
体を、例えば、コイル５３に加熱電流を通電することに
よって１０分間４５０　’Ｃの温度で加熱する。この段
階では依然として管３５は真空ポンプに接続しであるた
め、この反応の中間生成物（例えば、管３５のガス放出
、反応ゲッタ材料の薄い表面層の蒸発物）は室の出口３
１をシールする前に真空空間から抜き取ることができる
。加熱位置３６は室１２から離れているため、熱伝導又
は熱放射により検出器の構成部材（特に内壁１、検出器
素子３および電気接続部）がダメージを受ける危険性が
極めて少ない。

短い抽気管出口３１を有する第１図の検出器を形成する
場合、分離およびシールステップ（ｃ）は、ゲッタ物体
を反応ステップ（ｅ）で加熱する室位置３６（ＢとＣと
の管）よりも１２からそれ程離れていない位置Ａで抽気
管を切断するステップが含まれる。

室１２内に物体３０が進入するのはケージ３３の壁をな
す真空透過スクリーン３２により防止する。好適には、
真空ポツプと抽気管３１の離れた加熱位置３６との間に
可曲部分５１を設け、真空ポンプに対して装置を傾ける
ことができるようにするとよい。可曲部分５１は真空ポ
ンプとデューア抽気管３５との間のコネクタとして設け
るか、又はデューア抽気管３５の一部として設ける。例
えば、第３Ａ図は可曲部分としてベローズ管を示す。ポ
ンプは分離し、位置Ａで既知のように例えば、ピンチ溶
接により出口３１をシールする。従って、管３５は銅又
はステンレス鋼のような圧縮接合可能な金属により構成
することができる。

小さいデューアエンベロープ１．２を有する赤外線検出
器の一つの典型的な実施例においては、抽気管３５は直
径が例えば、約２．５ｍｍ　、デューア壁２から位置Ｂ
までの長さが例えば、約４０ｍｍのものとする。位置Ａ
およびＣは、デューア壁２からの距離が例えば、それぞ
れ約５ｍｍおよび２５ｍｍとする。

ゲッタ物体３０は直径が例えば、１．５ｍｍおよび２ｍ
ｍの球形で１個又はそれ以上の円筒形物体３０の場合、
直径例えば、約１　、５ｍｍおよび長さ例えば、約５ｍ
ｍのものを使用することができる。真空透過スクリーン
３２をなす有孔フォイルの開孔は例えば、約５乃至１０
マイクロメーターの直径又は大きさとする。

このような小さな開孔は既知のフォトリソグラフィック
およびエツチング技術により金属フォイルに形成するこ
とができる。フォイル３２は例えば、厚さ約５０マイク
ロメーターの銅とすることができる。ポンプ速度が高速
な場合、フォイル３２の厚さ（従って、開孔の貫通長さ
）は、開孔の最大横方向寸法よりも小さくするとよい。

このことは開孔を、幅約２５マイクロメーター又はそれ
よりも小さい値、高さ約１５０マイクロメーターの溝孔
として形成することにより得られる。

本発明の範囲内で種々の変更例が可能である。

例えば、ベローズ管５１又は他の特別な管を設ける代わ
りに、可曲部分５１は、抽気管３５の内部に弾性中空マ
ンドレル（例えば、螺旋ばね）を設け、管３５をこの部
分で曲げるときも管としての無欠性を保つようにする。

他の実施例では、金属ベローズ管の代わりに可曲部分５
１を真直ぐなガラス管により形成し、抽気管３５を２段
階に分けてシールする。

即ち、先ずガラス部分でシールし、次いで上述のように
（傾けによりベレット３０をケージ３３に転入した後）
位置Ａで銅管を挟み締めることによりシールする。加熱
位置３６から室の出口３１まで管３５の全体を銅のよう
な金属で形成する代わりに、管３５の加熱位置３６の部
分を超高温材料（例えば、溶融シリカ又はセラミック）
とし、ゲッタ物体３０の反応加熱をより高温にすること
ができるようにする。

しかし、位置３６を導電管とする場合、加熱は加熱コイ
ル５３を使用する代わりにＨＦ誘導電流により行うこと
ができる。

位置Ａで管３５をシールする代わりに、ゲッタ物体３０
を空間１３内のケージ３３に収納した後、デューアの外
壁２に近接する位置でシールすることができる。この場
合、出口３１はデューア１．２の外側面から突出するこ
とはない。しかし、所要に応じ、例えば、位置Ｃでシー
ルして長く突出させることもできる。この場合、ゲッタ
物体３０は適度に離れた位置に逆行することができ、検
出器の動作寿命中ゲッタ３０を再反応させたいときも加
熱することができる。出口３１において管３５の長さを
適度に保持する場合、ケージ３３は省略することができ
、出口３１におけるゲッタ３０は、第２図に示すように
室１２の管出口３１に溶着した有孔板３２により簡単に
室１２から隔離することができる。

図示の特別な実施例は、デューアを有する赤外線検出器
に関するものであるが、化学反応ゲッタ３０を設ける場
合に占有空間又は費用を少なくしたい、あるいは装置の
真空空間において真空密シールを必要とする電極接続を
有するゲッタユニットを使用する不便さを回避したいと
きの他の（デューア装置ま赤外線検出器でない）抽気装
置にも有利に適用することができる。従って、例えば、
いくつかの赤外線検出器は簡単な真空エンベロープ（即
ち、デューアでない）を有し、このエンベロープ内に検
出器素子を真空空間内のベルティエ（熱電）クーラーに
取付けるものもある。本発明により設け、また反応させ
るゲッタ３０は非デューア赤外線検出器の真空エンベロ
ープの封鎖抽気管出口に収納することができる。本発明
は、他の装置例えば、小型半導体装置、Ｘ線管、電子バ
ルブ、小型真空フラスコ等所要に応じた他の装置のため
る真空空間形成および維持を行うのに使用することがで
きる。しかし、特に赤外線検出器に有利である。

本明細書の記載から、当業者であれば他の変更例も可能
である。例えば、デザイン、製造、ゲッタおよび赤外線
検出器の使用、他の真空装置、システムおよび構成部材
において既知の他の特徴、並びに上述の特徴に代わる又
はそれに付加して使用する特徴のものも可能である。上
述したところは、本発明の好適な実施例を説明したに過
ぎず、請求の範囲において種々の変更を加えることがで
きること勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による方法により形成した真空空間を
有する本発明による赤外線検出器の一部断面とする部分
側面図、 第２図は、本発明による赤外線検出器の変更例の部分縦
断面図、 第３Ａおよび３Ｂ図は、それぞれ第１図の赤外線検出器
の真空空間を形成する２段階での部分縦断面図である。 １・・・内壁（コールドフィンガ） ２・・・外壁　　　　　　　３・・・赤外線５・・・サ
ブストレート　　６．７・・・外壁の端部部分８・・・
放射線シールド　　１０・・・ゼオライト整形体１１・
・・内壁室　　　　　　１２・・・真空空間（室）１３
・・・デユーアマラント　１４・・・シリコンラバー２
０・・・冷却素子　　　　　２１・・・マウント２２・
・・入口　　　　　　　３０・・・ゲッタ物体３１・・
・抽気管出口　　　　３２・・・スクリーン３３・・・
小室（ケージ）３４・・・曲げ部３５・・・抽気管　　
　　　　３６・・・加熱位置４１・・・連結部 ５１・・・可曲部 ５０・・・入口管 ＦＩＧ、３Ａ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、装置の室内に真空空間を有する真空装置、特に限定
   はしないが赤外線検出器を形成するため、前記室の出口
   をなす抽気管に多孔性ゲッタを設けるステップ（ａ）と
   、前記抽気管に接続した真空ポンプ手段により前記室を
   抽気して前記真空空間を形成するステップ（ｂ）と、前
   記抽気管内のゲッタを加熱して前記ゲッタ材料を化学反
   応させるステップ（ｃ）と、抽気した室から放出される
   ガスを捕集するよう化学反応ゲッタを前記室の真空空間
   に連通させた状態にして前記真空ポンプを分離し、室の
   抽気管出口をシールするステップ（ｄ）とよりなる真空
   装置形成方法において、前記ステップ（ａ）は前記ゲッ
   タをゲッタ材料の少なくとも１個の可動物体として前記
   抽気管に設けるステップを有するものとし、前記反応ス
   テップ（ｃ）は前記室から離れた位置で前記抽気管内の
   ゲッタ物体を加熱するステップを有するものとし、この
   後前記可動ゲッタ物体を前記室に近接する位置に移動さ
   せてから前記抽気管出口をシールし、また前記抽気管出
   口は前記ゲッタ材料が前記室に進入するのを防止する真
   空透過スクリーンを有するものとして構成したことを特
   徴とする真空装置形成方法。 ２、前記分離及びシールステップ（ｄ）は、ゲッタ物体
   を前記反応ステップ（ｃ）で加熱する位置よりも前記室
   に近い位置で前記抽気管を短縮するステップを有するも
   のとして構成した請求項１記載の真空装置形成方法。 ３、前記ゲッタ物体は、真空ポンプに対して前記装置を
   傾けることにより前記室に近接する位置に移動させ、前
   記真空ポンプと前記室から離れた抽気管位置との間の接
   続部に可曲管部分を設けて抽気管を傾けることができる
   ようにした請求項１又は２記載の真空装置形成方法。 ４、可曲部を前記抽気管の縦方向軸線に沿って設け、前
   記抽気管に沿うレベルとは異なるレベルに前記離れた加
   熱位置を形成する請求項１乃至３のうちのいずれか一項
   に記載の真空装置形成方法。 ５、前記真空透過スクリーンを、前記真空空間室からの
   前記抽気管出口をなす小室の少なくとも１個の壁とし、
   またステップ（ｃ）後に前記ゲッタ物体を前記小室に移
   動させて前記真空空間にゲッタ物体を収納する請求項１
   乃至４のうちのいずれか一項に記載の真空装置形成方法
   。 ６、前記装置を、装置の室を形成する内壁及び外壁を有
   するデューアを具える赤外線検出器とし、デューアをシ
   ールする前に少なくとも１個の赤外線検出器素子を、デ
   ューアの内壁と外壁との連結部分から離れた内壁の端部
   に取付け、この後前記ステップ（ｂ）を行ってデューア
   の外壁に存在する抽気管出口を介してポンピングにより
   内壁と外壁との間の真空空間を形成し、この抽策ステッ
   プ（ｂ）中は前記可動ゲッタ物体を前記抽気管に配置す
   る請求項１乃至５のうちのいずれか一項に記載の真空装
   置形成方法。 ７、検出器内に真空空間を保持する室を具え、前記室は
   この室を抽気する抽気管出口を有し、この抽気管出口の
   一端を室の真空空間に連通させ、他端をシールし、抽気
   した室から放出されるガスを捕集するよう化学反応多孔
   性ゲッタを前記室の真空空間に連通させた赤外線検出器
   において、前記ゲッタを前記抽気管出口に設けた化学反
   応ゲッタ材料の少なくとも１個の可動物体とし、また前
   記抽気管出口は、前記ばらのゲッタ物体と前記室との間
   に存在して前記ゲッタ材料が前記室に進入するのを防止
   する真空透過スクリーンを有するものとして構成したこ
   とを特徴とする赤外線検出器。 ８、前記真空透過スクリーンを、前記室からの前記管の
   出口に設けた有孔板とした請求項７記載の赤外線検出器
   。 ９、前記真空透過スクリーンを、前記真空空間室からの
   抽気管出口をなし、前記ゲッタ物体を前記真空空間内に
   収納する小室の少なくとも１個の壁とした請求項７記載
   の赤外線検出器。 １０、前記スクリーンは、このスクリーンの厚さにわた
   り貫通する開孔を有するものとして構成し、このスクリ
   ーンの厚さは前記開孔の最大横方向寸法よりも小さいも
   のとした請求項７乃至９のうちのいずれか一項に記載の
   赤外線検出器。